北京華卓精科(ke)科(ke)技股份有限公司成(cheng)立于2012年5月9日,主營業務為集成(cheng)電(dian)(dian)路制(zhi)(zhi)造裝備(bei)及(ji)關鍵零部件的研(yan)發和產業化。目前(qian)產品包括(kuo)超精密運動平臺、激光退火設(she)備(bei)、晶(jing)圓鍵合設(she)備(bei)、晶(jing)圓傳(chuan)輸(shu)系統(tong)(tong)、主被動隔振器、靜(jing)電(dian)(dian)卡(ka)盤、精密測量系統(tong)(tong)等(deng)整機(ji)設(she)備(bei)及(ji)半導體(ti)關鍵零部件,主要應用于集成(cheng)電(dian)(dian)路芯片(pian)制(zhi)(zhi)造、先進封(feng)裝、功率器件制(zhi)(zhi)造等(deng)產線(xian),并在電(dian)(dian)子制(zhi)(zhi)造、激光加工等(deng)技術領(ling)域實現廣泛(fan)應用。
公司注冊資金9600萬, 成立時間為2012年5月9日,正式營業時間為2012年8月15日。公司現有團隊200人左右。2015年8月10日,有限(xian)公司(si)整體變更為股份有限(xian)公司(si)。華卓精科面向國(guo)內外的IC制(zhi)(zhi)造(zao)、光(guang)學、超(chao)精密(mi)(mi)制(zhi)(zhi)造(zao)等行業(ye),致(zhi)力(li)于為行業(ye)提供整(zheng)機裝備、核心子(zi)系(xi)統(tong)、關(guan)鍵零部件和(he)定制(zhi)(zhi)服務,主營產品包含整(zheng)機、超(chao)精密(mi)(mi)運動系(xi)統(tong)、精密(mi)(mi)儀器設備和(he)特種(zhong)制(zhi)(zhi)造(zao)等方面。
華卓(zhuo)精科以國內高校的原(yuan)發技(ji)(ji)(ji)術為基礎,經過多年技(ji)(ji)(ji)術攻關和(he)客戶實(shi)用,形成(cheng)了堅實(shi)規范的技(ji)(ji)(ji)術研(yan)發體系(xi)(xi),現在(zai)已(yi)經成(cheng)功推出了光刻機雙工件臺、精密隔振、超(chao)精密運動系(xi)(xi)統、關鍵零(ling)部(bu)件等系(xi)(xi)列化產(chan)品。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL200910172949.9 | 采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統 | 第二十屆中國專利銀獎(2018年) |