北(bei)京華卓(zhuo)精(jing)(jing)科(ke)科(ke)技股份有限公司成(cheng)立(li)于(yu)2012年5月9日,主營業務(wu)為集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)制造裝(zhuang)備(bei)及(ji)關(guan)鍵(jian)零部件(jian)的研發和產(chan)業化。目前產(chan)品包括超精(jing)(jing)密(mi)運(yun)動平臺、激(ji)光(guang)退火設備(bei)、晶圓鍵(jian)合(he)設備(bei)、晶圓傳輸系統、主被動隔(ge)振器、靜電(dian)卡盤、精(jing)(jing)密(mi)測量系統等(deng)整機設備(bei)及(ji)半導體關(guan)鍵(jian)零部件(jian),主要應用于(yu)集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)芯片制造、先(xian)進封裝(zhuang)、功率器件(jian)制造等(deng)產(chan)線(xian),并在電(dian)子制造、激(ji)光(guang)加工等(deng)技術領(ling)域實現廣泛(fan)應用。
公司注冊資金9600萬, 成立時間為2012年5月9日,正式營業時間為2012年8月15日。公司現有團隊200人左右。2015年8月10日,有限(xian)(xian)公司(si)(si)整體變更為股份有限(xian)(xian)公司(si)(si)。華卓精科面(mian)向國內(nei)外的IC制造(zao)、光學、超精密(mi)制造(zao)等行業(ye),致力(li)于為行業(ye)提供(gong)整(zheng)機裝備(bei)、核心子系統、關鍵零部件和定制服務(wu),主營產(chan)品包含整(zheng)機、超精密(mi)運動系統、精密(mi)儀器設備(bei)和特種制造(zao)等方面(mian)。
華卓精科以國內高校的(de)原(yuan)發技術為基礎,經(jing)過多(duo)年技術攻關和客(ke)戶(hu)實(shi)(shi)用,形成了(le)堅實(shi)(shi)規范的(de)技術研(yan)發體系(xi),現在(zai)已經(jing)成功推(tui)出(chu)了(le)光刻機雙(shuang)工件臺、精密隔(ge)振、超精密運動系(xi)統(tong)、關鍵(jian)零部(bu)件等系(xi)列化產品。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL200910172949.9 | 采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統 | 第二十屆中國專利銀獎(2018年) |