北京(jing)華卓精科(ke)科(ke)技(ji)股份有限公司成(cheng)立于(yu)2012年5月9日,主(zhu)營業務為集成(cheng)電路制(zhi)(zhi)造(zao)裝(zhuang)備(bei)及(ji)關鍵零(ling)部(bu)件的研發和產(chan)業化。目(mu)前產(chan)品包括超(chao)精密(mi)運(yun)動平臺、激光退火(huo)設備(bei)、晶圓鍵合(he)設備(bei)、晶圓傳輸(shu)系統、主(zhu)被動隔振(zhen)器(qi)、靜電卡盤(pan)、精密(mi)測量系統等整機(ji)設備(bei)及(ji)半導體關鍵零(ling)部(bu)件,主(zhu)要應用于(yu)集成(cheng)電路芯片制(zhi)(zhi)造(zao)、先進封(feng)裝(zhuang)、功率器(qi)件制(zhi)(zhi)造(zao)等產(chan)線,并在(zai)電子制(zhi)(zhi)造(zao)、激光加(jia)工等技(ji)術領域實現廣泛應用。
公司注冊資金9600萬, 成立時間為2012年5月9日,正式營業時間為2012年8月15日。公司現有團隊200人左右。2015年8月10日(ri),有(you)(you)限公司整體變更為股份(fen)有(you)(you)限公司。華卓精科(ke)面向國內外的IC制造(zao)(zao)、光學、超精密制造(zao)(zao)等(deng)行(xing)業,致力于為(wei)行(xing)業提(ti)供整(zheng)機裝備(bei)、核心(xin)子系(xi)統、關鍵零部件和定制服務(wu),主營產品包含整(zheng)機、超精密運動系(xi)統、精密儀器設備(bei)和特種制造(zao)(zao)等(deng)方面。
華卓精(jing)(jing)科以國內(nei)高校的原發技術(shu)為基礎(chu),經過多年技術(shu)攻關(guan)和客(ke)戶實用,形成(cheng)了堅實規范的技術(shu)研(yan)發體系,現在已經成(cheng)功推出了光刻(ke)機雙工件臺、精(jing)(jing)密(mi)隔振(zhen)、超精(jing)(jing)密(mi)運(yun)動系統(tong)、關(guan)鍵零部(bu)件等系列化產品。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL200910172949.9 | 采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統 | 第二十屆中國專利銀獎(2018年) |