北京華(hua)卓精科科技股(gu)份有限(xian)公司(si)成立于2012年5月9日,主(zhu)(zhu)營(ying)業務為集(ji)成電路制(zhi)造(zao)裝(zhuang)備及關鍵零(ling)部件的(de)研(yan)發(fa)和(he)產(chan)(chan)業化。目前(qian)產(chan)(chan)品包括超精密(mi)運動平臺、激光(guang)退火設備、晶(jing)圓鍵合(he)設備、晶(jing)圓傳輸系(xi)統、主(zhu)(zhu)被動隔(ge)振器、靜(jing)電卡盤(pan)、精密(mi)測(ce)量系(xi)統等(deng)整(zheng)機設備及半(ban)導體關鍵零(ling)部件,主(zhu)(zhu)要應(ying)(ying)用(yong)于集(ji)成電路芯片制(zhi)造(zao)、先進封(feng)裝(zhuang)、功率器件制(zhi)造(zao)等(deng)產(chan)(chan)線(xian),并在電子制(zhi)造(zao)、激光(guang)加工等(deng)技術(shu)領域實現廣泛(fan)應(ying)(ying)用(yong)。
公司注冊資金9600萬, 成立時間為2012年5月9日,正式營業時間為2012年8月15日。公司現有團隊200人左右。2015年8月10日,有限公(gong)司整(zheng)體變更為股份有限公(gong)司。華卓精(jing)(jing)科(ke)面向國(guo)內外(wai)的IC制(zhi)(zhi)造、光學、超精(jing)(jing)密制(zhi)(zhi)造等(deng)行業,致力于為(wei)行業提供(gong)整機裝備、核心子系(xi)統(tong)、關鍵零部(bu)件和定制(zhi)(zhi)服務,主營(ying)產品包含整機、超精(jing)(jing)密運(yun)動系(xi)統(tong)、精(jing)(jing)密儀器設(she)備和特種(zhong)制(zhi)(zhi)造等(deng)方面。
華卓精(jing)科以國(guo)內(nei)高校的(de)原(yuan)發(fa)技(ji)(ji)術(shu)為基礎,經(jing)過多年技(ji)(ji)術(shu)攻關和客戶實(shi)(shi)用,形成了(le)堅實(shi)(shi)規(gui)范(fan)的(de)技(ji)(ji)術(shu)研發(fa)體系(xi)(xi),現在已經(jing)成功推出(chu)了(le)光刻機雙(shuang)工件(jian)臺、精(jing)密隔振、超精(jing)密運動系(xi)(xi)統、關鍵零部件(jian)等系(xi)(xi)列化產品。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL200910172949.9 | 采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統 | 第二十屆中國專利銀獎(2018年) |