北京華(hua)卓(zhuo)精(jing)科(ke)(ke)科(ke)(ke)技股份有限公司成(cheng)立(li)于2012年5月9日,主營業務為集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)制造(zao)裝(zhuang)備及關鍵(jian)零部件的研(yan)發和產業化(hua)。目(mu)前(qian)產品包括(kuo)超(chao)精(jing)密運動平臺、激(ji)光(guang)退火(huo)設(she)備、晶圓鍵(jian)合設(she)備、晶圓傳輸系統、主被動隔振器、靜電(dian)卡盤、精(jing)密測量(liang)系統等(deng)整機(ji)設(she)備及半導體關鍵(jian)零部件,主要應用(yong)于集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)芯片制造(zao)、先進封裝(zhuang)、功率器件制造(zao)等(deng)產線(xian),并在(zai)電(dian)子制造(zao)、激(ji)光(guang)加(jia)工(gong)等(deng)技術領域實現廣泛應用(yong)。
公司注冊資金9600萬, 成立時間為2012年5月9日,正式營業時間為2012年8月15日。公司現有團隊200人左右。2015年8月(yue)10日,有(you)限公司(si)整體變更(geng)為股(gu)份(fen)有(you)限公司(si)。華卓精科(ke)面向國內外(wai)的(de)IC制(zhi)造、光學(xue)、超(chao)(chao)精密制(zhi)造等行業(ye)(ye),致(zhi)力于為行業(ye)(ye)提供整(zheng)機裝備、核(he)心子系統(tong)、關鍵零(ling)部(bu)件(jian)和(he)定制(zhi)服務,主營產品包含整(zheng)機、超(chao)(chao)精密運動系統(tong)、精密儀器設(she)備和(he)特(te)種制(zhi)造等方面。
華卓精(jing)科以國(guo)內高校的(de)(de)原發(fa)技(ji)術(shu)為基礎,經(jing)過多年(nian)技(ji)術(shu)攻關和客戶實用,形成(cheng)了堅實規范的(de)(de)技(ji)術(shu)研發(fa)體系,現在已經(jing)成(cheng)功推(tui)出了光刻機雙工件(jian)臺、精(jing)密隔振、超(chao)精(jing)密運動系統、關鍵零部(bu)件(jian)等系列化產品。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL200910172949.9 | 采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統 | 第二十屆中國專利銀獎(2018年) |