北京(jing)華卓(zhuo)精科科技股份有限公司成立(li)于2012年5月(yue)9日,主(zhu)營業(ye)務為(wei)集(ji)成電路(lu)制(zhi)(zhi)造(zao)(zao)(zao)裝備及關(guan)鍵零部件(jian)的研發和產業(ye)化。目前產品包括超精密運動平臺(tai)、激光退(tui)火設(she)(she)(she)備、晶(jing)圓鍵合設(she)(she)(she)備、晶(jing)圓傳輸系(xi)統(tong)、主(zhu)被動隔(ge)振器、靜電卡盤、精密測量系(xi)統(tong)等(deng)整機設(she)(she)(she)備及半導(dao)體關(guan)鍵零部件(jian),主(zhu)要應(ying)(ying)用于集(ji)成電路(lu)芯片制(zhi)(zhi)造(zao)(zao)(zao)、先進封裝、功(gong)率器件(jian)制(zhi)(zhi)造(zao)(zao)(zao)等(deng)產線(xian),并在電子制(zhi)(zhi)造(zao)(zao)(zao)、激光加工等(deng)技術(shu)領域實現廣泛(fan)應(ying)(ying)用。
公司注冊資金9600萬, 成立時間為2012年5月9日,正式營業時間為2012年8月15日。公司現有團隊200人左右。2015年(nian)8月10日,有限(xian)公司(si)整(zheng)體變(bian)更為(wei)股份有限(xian)公司(si)。華卓精(jing)科面向國內外的(de)IC制(zhi)造(zao)、光學、超精(jing)密(mi)制(zhi)造(zao)等行(xing)業(ye)(ye),致力于為行(xing)業(ye)(ye)提供整機(ji)(ji)裝備(bei)、核心子(zi)系統、關(guan)鍵零(ling)部件和定制(zhi)服務,主(zhu)營產(chan)品包含整機(ji)(ji)、超精(jing)密(mi)運動系統、精(jing)密(mi)儀器設備(bei)和特種制(zhi)造(zao)等方面。
華卓精(jing)科以國內高(gao)校的(de)原發技術為(wei)基礎,經過(guo)多(duo)年(nian)技術攻(gong)關和客戶(hu)實用,形成了(le)堅實規范(fan)的(de)技術研發體系(xi),現在已(yi)經成功(gong)推出了(le)光刻機雙工件(jian)臺、精(jing)密隔振、超精(jing)密運動系(xi)統、關鍵零部件(jian)等系(xi)列化產品。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL200910172949.9 | 采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統 | 第二十屆中國專利銀獎(2018年) |