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盛美成(cheng)立(li)(li)于2005年，是一(yi)家注冊(ce)在上海浦(pu)東新區張江高科技(ji)(ji)園區、具備(bei)世界先(xian)進技(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)半(ban)導(dao)(dao)體(ti)設備(bei)制(zhi)(zhi)造商。公司集研發、設計、制(zhi)(zhi)造、銷售(shou)于一(yi)體(ti)，主要產(chan)品包括半(ban)導(dao)(dao)體(ti)清洗設備(bei)、半(ban)導(dao)(dao)體(ti)電(dian)鍍設備(bei)和先(xian)進封裝濕(shi)法設備(bei)等。公司堅持差異化(hua)競爭和創新的(de)發展戰(zhan)略(lve)，通過(guo)自主研發的(de)單(dan)片(pian)兆聲波清洗技(ji)(ji)術(shu)(shu)、單(dan)片(pian)槽式組合清洗技(ji)(ji)術(shu)(shu)、電(dian)鍍技(ji)(ji)術(shu)(shu)、無應力拋光技(ji)(ji)術(shu)(shu)和立(li)(li)式爐管技(ji)(ji)術(shu)(shu)等，向全球晶圓制(zhi)(zhi)造、先(xian)進封裝及其他客(ke)戶提(ti)(ti)供定制(zhi)(zhi)化(hua)的(de)設備(bei)及工藝解決方(fang)案，有效(xiao)提(ti)(ti)升(sheng)客(ke)戶的(de)生產(chan)效(xiao)率、提(ti)(ti)升(sheng)產(chan)品良(liang)率并降低生產(chan)成(cheng)本。

盛美具有高新技(ji)術(shu)(shu)企業資質(zhi)，承擔十(shi)一五國家科(ke)技(ji)重(zhong)大專(zhuan)(zhuan)項(xiang)課題“65-45nm銅(tong)互連無應力拋光設備(bei)(bei)研(yan)發(fa)項(xiang)目”的(de)(de)研(yan)發(fa)和十(shi)二五國家科(ke)技(ji)重(zhong)大專(zhuan)(zhuan)項(xiang)課題“20-14nm銅(tong)互連鍍銅(tong)設備(bei)(bei)研(yan)發(fa)與應用”和“45-22納米單(dan)片晶圓清洗(xi)(xi)裝備(bei)(bei)研(yan)發(fa)與應用”的(de)(de)研(yan)發(fa)。公司立足自主創(chuang)新，通過多年的(de)(de)技(ji)術(shu)(shu)研(yan)發(fa)和工藝積累，成(cheng)功(gong)研(yan)發(fa)出全(quan)球首(shou)創(chuang)的(de)(de) SAPS/TEBO 兆(zhao)聲波清洗(xi)(xi)技(ji)術(shu)(shu)和 Tahoe 單(dan)片槽式(shi)組合清洗(xi)(xi)技(ji)術(shu)(shu)，可應用于 28nm及以下(xia)技(ji)術(shu)(shu)節點的(de)(de)晶圓清洗(xi)(xi)領域，可有效解決刻蝕后有機沾污和顆粒的(de)(de)清洗(xi)(xi)難題，并大幅減少濃硫(liu)酸(suan)等化學試劑的(de)(de)使用量，在幫助客戶(hu)降(jiang)低生產成(cheng)本的(de)(de)同時，滿足節能減排的(de)(de)要求。

盛美憑借先進的技術(shu)和(he)豐富的產品線，已發展成為中國大陸少數具有一定國際競(jing)爭力的半導(dao)體專用設備提供商，產品得(de)到(dao)眾多國內外主流(liu)半導(dao)體廠商的認可，并取得(de)良好(hao)的市場口碑。