盛(sheng)美成立于2005年(nian),是一(yi)家注冊在(zai)上海浦東新區張江高科技(ji)(ji)園區、具備(bei)(bei)世界先(xian)進(jin)技(ji)(ji)術(shu)的(de)半導(dao)(dao)體設(she)(she)(she)備(bei)(bei)制造(zao)商。公司集研(yan)發、設(she)(she)(she)計、制造(zao)、銷(xiao)售于一(yi)體,主(zhu)要產(chan)(chan)品包(bao)括半導(dao)(dao)體清(qing)洗設(she)(she)(she)備(bei)(bei)、半導(dao)(dao)體電(dian)鍍設(she)(she)(she)備(bei)(bei)和先(xian)進(jin)封裝濕法(fa)設(she)(she)(she)備(bei)(bei)等。公司堅持差異(yi)化(hua)競(jing)爭和創新的(de)發展(zhan)戰略,通過自主(zhu)研(yan)發的(de)單(dan)片(pian)兆(zhao)聲波清(qing)洗技(ji)(ji)術(shu)、單(dan)片(pian)槽式(shi)組(zu)合清(qing)洗技(ji)(ji)術(shu)、電(dian)鍍技(ji)(ji)術(shu)、無應力(li)拋光技(ji)(ji)術(shu)和立式(shi)爐管技(ji)(ji)術(shu)等,向全球晶圓制造(zao)、先(xian)進(jin)封裝及其他客(ke)戶提(ti)(ti)供定制化(hua)的(de)設(she)(she)(she)備(bei)(bei)及工藝解決方案,有效(xiao)提(ti)(ti)升客(ke)戶的(de)生產(chan)(chan)效(xiao)率、提(ti)(ti)升產(chan)(chan)品良(liang)率并降低(di)生產(chan)(chan)成本。
盛美具(ju)有(you)高新技術(shu)企業資(zi)質,承擔十一五國家科(ke)技重大(da)專項課題“65-45nm銅互(hu)連無應力(li)拋光設備研發項目”的(de)(de)研發和(he)十二五國家科(ke)技重大(da)專項課題“20-14nm銅互(hu)連鍍銅設備研發與(yu)應用”和(he)“45-22納米單片晶(jing)圓(yuan)(yuan)清(qing)洗(xi)裝(zhuang)備研發與(yu)應用”的(de)(de)研發。公司立足(zu)自主創新,通過多年的(de)(de)技術(shu)研發和(he)工藝積累(lei),成(cheng)(cheng)功(gong)研發出(chu)全(quan)球首創的(de)(de) SAPS/TEBO 兆(zhao)聲波清(qing)洗(xi)技術(shu)和(he) Tahoe 單片槽式(shi)組合清(qing)洗(xi)技術(shu),可(ke)應用于 28nm及(ji)以下技術(shu)節點的(de)(de)晶(jing)圓(yuan)(yuan)清(qing)洗(xi)領域,可(ke)有(you)效解決刻蝕(shi)后有(you)機(ji)沾污和(he)顆粒的(de)(de)清(qing)洗(xi)難(nan)題,并大(da)幅(fu)減(jian)少濃硫酸等(deng)化學試劑的(de)(de)使用量,在幫助客戶降(jiang)低生產成(cheng)(cheng)本(ben)的(de)(de)同時,滿足(zu)節能減(jian)排的(de)(de)要求。
盛美(mei)憑借(jie)先進的技術和豐(feng)富(fu)的產(chan)品線,已發展成為中國大陸少(shao)數(shu)具有(you)一定國際競爭力(li)的半(ban)導體專(zhuan)用設備提供商,產(chan)品得(de)到眾多(duo)國內外主流半(ban)導體廠商的認可,并取得(de)良好的市場(chang)口(kou)碑。