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專利名稱：一種氮化鋁的制備方法
專利類型：發明
申請號：CN201110348481.1
公開(公告)號：CN102412123B
申請日：20111107
公開(公告)日：20130619
申請人：中山市格蘭特實業有限公司火炬分公司
發明人：范亞軍
申請人地址：528400 廣東省中山市火炬開發區火炬大道13號
申請人區域代碼：CN442000
專利權人：中山市格蘭特實業有限公司火炬分公司
洛迦諾分類：無
IPC：H01L21/203
優先權：無
專利代理機構：中山市科創專利代理有限公司 44211
代理人：謝自安
審查員：季茂源
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞(ci)

氮化鋁,襯底,制備方法,外延層生長,環保節能,成核層,種工藝,除氣,生長,污染

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