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專利名稱:
固體金屬有機化合物封裝容器串聯系統
專利類型:
實用新型
申請號:
CN201420117857.7
公開(公告)號:
CN203782229U
申請日:
20140317
公開(公告)日:
20140820
申請人:
江蘇南大光電材料股份有限公司
發明人:
呂寶源,沈斌,韋錦昊,單一菁,陸平,王萍,高磊
申請人地址:
215123 江蘇省蘇州市翠薇街9號月亮灣國際中心7樓
申請人區域代碼:
CN320503
專利權人:
江蘇南大光電材料股份有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
C23C16/455,C23C16/448,C23C16/18
優先權:
無
專利代理機構:
南京天華專利代理有限責任公司 32218
代理人:
徐冬濤
審查員:
無
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵(jian)詞
有機化合物,固體金屬,出氣管,進氣管,串聯,連接,連接管,復數,金屬有機化學氣相沉積,串聯系統,封裝容器,容置空間,蒸氣氣壓,制程設備,出氣閥,進氣閥,套件,接管,浪費
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