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著錄信息

專利名稱：一種單晶爐副室抽真空裝置
專利類型：實用新型
申請號：CN201120226116.9
公開(公告)號：CN202164377U
申請日：20110630
公開(公告)日：20120314
申請人：常州天合光能有限公司
發明人：韓曙波
申請人地址：213031 江蘇省常州市新北區電子產業園天合路2號
申請人區域代碼：CN320411
專利權人：常州天合光能有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：C30B15/00,C30B35/00
優先權：無
專利代理機構：常州市維益專利事務所 32211
代理人：王凌霄
審查員：無
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞

手動閥,單晶爐,抽真空裝置,人員操作,抽真空,連接

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