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著錄信息

專利名稱：一種用于調節硅片制絨槽內減薄量均勻性的系統
專利類型：實用新型
申請號：CN201420790611.6
公開(公告)號：CN204230280U
申請日：20141211
公開(公告)日：20150325
申請人：東方日升新能源股份有限公司
發明人：陳波,崔紅星,張文鋒,胡應全,林海峰
申請人地址：315609 浙江省寧波市寧海縣梅林塔山工業園區東方日升新能源股份有限公司
申請人區域代碼：CN330226
專利權人：東方日升新能源股份有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：H01L31/18,H01L21/67,C30B33/10
優先權：無
專利代理機構：無
代理人：無
審查員：無
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞

絨槽,儲液,熱交換,輸液管,硅片,滾輪,壓輪,硅片減薄,噴淋裝置,溫度均勻,顏色分布,成品率,回流管,均勻性,毛細管,冰機,噴孔,液位,溢流

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