著錄信息
- 專利名稱：硅片清洗脫膠夾具
- 專利類型：實用新型
- 申請號：CN201220334481.6
- 公開(公告)號：CN202762707U
- 申請日：20120711
- 公開(公告)日：20130306
- 申請人：西安隆基硅材料股份有限公司,無錫隆基硅材料有限公司,寧夏隆基硅材料有限公司,銀川隆基硅材料有限公司
- 發明人：鄭軍鋒,申朝鋒
- 申請人地址：710100 陜西省西安市長安區航天中路388號
- 申請人區域代碼：CN610116
- 專利權人：西安隆基硅材料股份有限公司,無錫隆基硅材料有限公司,寧夏隆基硅材料有限公司,銀川隆基硅材料有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：B08B13/00
- 優先權：無
- 專利代理機構：西安弘理專利事務所 61214
- 代理人：羅笛
- 審查員：無
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關鍵詞
固定塊,側板,硅片,脫膠,支承,相對面的,支撐機構,支撐桿,橫桿,兩側,夾持,夾具,硅片清洗,安裝槽,良品率,扭簧,上段,下段,平行,連接,固定
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