著錄信息
- 專利名稱:硅片清洗脫膠夾具
- 專利類型:實用新型
- 申請號:CN201220334481.6
- 公開(公告)號:CN202762707U
- 申請日:20120711
- 公開(公告)日:20130306
- 申請人:西安隆基硅材料股份有限公司,無錫隆基硅材料有限公司,寧夏隆基硅材料有限公司,銀川隆基硅材料有限公司
- 發明人:鄭軍鋒,申朝鋒
- 申請人地址:710100 陜西省西安市長安區航天中路388號
- 申請人區域代碼:CN610116
- 專利權人:西安隆基硅材料股份有限公司,無錫隆基硅材料有限公司,寧夏隆基硅材料有限公司,銀川隆基硅材料有限公司
- 洛迦諾分類:無
- IPC:B08B13/00
- 優先權:無
- 專利代理機構:西安弘理專利事務所 61214
- 代理人:羅笛
- 審查員:無
- 國際申請:無
- 國際公開(公告):無
- 進入國家日期:無
- 分案申請:無
關鍵詞
固定塊,側板,硅片,脫膠,支承,相對面的,支撐機構,支撐桿,橫桿,兩側,夾持,夾具,硅片清洗,安裝槽,良品率,扭簧,上段,下段,平行,連接,固定
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