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專利名稱：硅片水平清洗設備
專利類型：實用新型
申請號：CN201620910410.4
公開(公告)號：CN205959961U
申請日：20160819
公開(公告)日：20170215
申請人：西安隆基硅材料股份有限公司
發明人：郭江濤,趙可武,鄧浩,李定武
申請人地址：710100 陜西省西安市長安區航天中路388號
申請人區域代碼：CN610116
專利權人：西安隆基硅材料股份有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：H01L21/67,H01L31/18
優先權：無
專利代理機構：西安弘理專利事務所 61214
代理人：燕肇琪
審查員：無
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞

硅片,超聲機構,傳輸機構,毛刷機構,噴淋機構,烘干機構,本實用新型,超聲清洗,清洗設備,噴淋,干燥處理,硅片表面,硅片清洗,化學試劑,機械物理,清洗效率,水平刷洗,上游,清洗液,超聲,能耗,自動化,消耗,輸出,引入

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