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專利名稱：仿真方法以及仿真系統
專利類型：發明
申請號：CN201310438680.0
公開(公告)號：CN104460334B
申請日：20130923
公開(公告)日：20170405
申請人：中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
發明人：趙晨,譚小兵,于婷婷
申請人地址：201203 上海市浦東新區張江路18號
申請人區域代碼：CN310115
專利權人：中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：G05B17/02
優先權：無
專利代理機構：上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
代理人：屈蘅;李時云
審查員：劉佳妮
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞(ci)

虛擬,機臺,在制品,仿真系統,上線,站點,預測,應用

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