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專利名稱:
一種調節裝置
專利類型:
實用新型
申請號:
CN201020565127.5
公開(公告)號:
CN201842888U
申請日:
20101016
公開(公告)日:
20110525
申請人:
中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
發明人:
許亮
申請人地址:
201203 上海市浦東新區張江路18號
申請人區域代碼:
CN310115
專利權人:
中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
C23C16/455
優先權:
無
專利代理機構:
上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
代理人:
屈蘅;李時云
審查員:
無
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵詞
噴管,調節裝置,垂直距離,斜臺,底座,吸盤,化學氣相沉積,反應腔,吸盤表面,有刻度,底面,頂面,緊貼,大于
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