著錄信息
- 專利名稱：晶圓清洗機
- 專利類型：實用新型
- 申請號：CN201420146111.9
- 公開(公告)號：CN203760441U
- 申請日：20140328
- 公開(公告)日：20140806
- 申請人：沈陽儀表科學研究院有限公司
- 發明人：馬巖,白雪峰,榮宇,郝鑫
- 申請人地址：110043 遼寧省沈陽市大東區北海街242號
- 申請人區域代碼：CN210104
- 專利權人：沈陽儀表科學研究院有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：H01L21/67
- 優先權：無
- 專利代理機構：沈陽科威專利代理有限責任公司 21101
- 代理人：楊濱
- 審查員：無
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關鍵詞
真空軸,殼體,步進電機,伺服電機,擺桿,噴頭,吸盤,伺服系統控制,真空發生器,硅片清洗,技術要點,伺服系統,維護成本,清洗機,輸出端,輸出軸,晶圓,固定
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