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著錄信息(xi)

專利名稱：TFT基板的制作方法及其結構
專利類型：發明
申請號：CN201410415799.0
公開(公告)號：CN104157608B
申請日：20140820
公開(公告)日：20170215
申請人：深圳市華星光電技術有限公司
發明人：王俊
申請人地址：518132 廣東省深圳市光明新區塘明大道9—2號
申請人區域代碼：CN440306
專利權人：深圳市華星光電技術有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：H01L21/77,H01L27/12
優先權：無
專利代理機構：深圳市德力知識產權代理事務所 44265
代理人：林才桂
審查員：周文龍
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞

光阻層,移除,沉積,絕緣層,第一金屬層,灰化處理,保護層,灰階,氧化物半導體層,透明導電薄膜,光阻間隔物,像素定義層,部分透明,導電薄膜,曝光,源/漏極,基板,制作

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