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著錄信息

  • 專利名稱：一種多步物理氣相沉積設備
  • 專利類型：發明
  • 申請號：CN201010520834.7
  • 公開(公告)號：CN101962751B
  • 申請日：20101027
  • 公開(公告)日：20120222
  • 申請人：普尼太陽能（杭州）有限公司
  • 發明人：王東,李學耕,于平榮
  • 申請人地址：310051 浙江省杭州市濱江區江陵路88號5幢1-2層
  • 申請人區域代碼：CN330108
  • 專利權人：普尼太陽能（杭州）有限公司
  • 洛迦諾分類：無
  • IPC：C23C14/24
  • 優先權：無
  • 專利代理機構：杭州天勤知識產權代理有限公司 33224
  • 代理人：胡紅娟
  • 審查員：周倩
  • 國際申請：無
  • 國際公開(公告)：無
  • 進入國家日期：無
  • 分案申請：無

關鍵詞

裝載,扇形分區,沉積區,沉積,襯底固定件,隔離板,真空腔,單室,豎直,卸載,柱狀,旋轉,產品質量可靠性,物理氣相沉積,技術難度,設備成本,水平隔板,相鄰扇形,鐘形外罩,帶通孔,加熱區,襯底,底面,氣相,通孔,生產成本,平行,降溫,分區,連接,內部
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