著錄信息
- 專利名稱：一種新型擴散爐
- 專利類型：實用新型
- 申請號：CN201420418703.1
- 公開(公告)號：CN203976978U
- 申請日：20140728
- 公開(公告)日：20141203
- 申請人：浙江德西瑞光電科技有限公司
- 發明人：侯飛
- 申請人地址：314415 浙江省嘉興市海寧市尖山新區仙俠路116號
- 申請人區域代碼：CN330481
- 專利權人：浙江德西瑞光電科技有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：C30B31/16,C30B31/12
- 優先權：無
- 專利代理機構：寧波市鄞州盛飛專利代理事務所(普通合伙) 33243
- 代理人：張向飛
- 審查員：無
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關鍵詞
排氣管,進氣裝置,螺旋管,爐門,波紋管,均勻性,石英舟,側壁,儲氣,進氣,爐體,出氣孔處,尾氣管道,出氣孔,擴散爐,排風管,排氣孔,上端,硅片,方阻,纏繞,擴散,出口
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