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著錄(lu)信息(xi)

專利名稱：一種濕式刻蝕機的噴淋裝置
專利類型：實用新型
申請號：CN201420418404.8
公開(公告)號：CN204102920U
申請日：20140728
公開(公告)日：20150114
申請人：浙江德西瑞光電科技有限公司
發明人：侯飛
申請人地址：314415 浙江省嘉興市海寧市尖山新區仙俠路116號
申請人區域代碼：CN330481
專利權人：浙江德西瑞光電科技有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：H01L31/18
優先權：無
專利代理機構：寧波市鄞州盛飛專利代理事務所(普通合伙) 33243
代理人：張向飛
審查員：無
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞(ci)

滾輪,噴淋裝置,槽體,刻蝕機,濕式,噴淋頭,輪軸,硅片表面,機械設備,均勻覆蓋,刻蝕溶液,輪軸高度,升降結構,腐蝕量,刻蝕槽,硅片,側壁,盛放,水膜,水管,電機,連接

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