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專利名稱：用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置
專利類型：發明
申請號：CN201210516126.5
公開(公告)號：CN103014641B
申請日：20121205
公開(公告)日：20151104
申請人：廣東志成冠軍集團有限公司
發明人：陳宇
申請人地址：523000 廣東省東莞市塘廈鎮田心工業區廣東志成冠軍集團有限公司
申請人區域代碼：CN441900
專利權人：廣東志成冠軍集團有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：C23C14/35,C23C14/56
優先權：無
專利代理機構：北京品源專利代理有限公司 11332
代理人：胡彬
審查員：王姍
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關(guan)鍵詞

柔性線材,磁控濺射鍍膜,第二轉軸,鍍膜,收卷,第一轉軸,均勻轉動,室內設置,濺射靶,裝載室,室內,膜層,磁控濺射裝置,輸出端連接,表面鍍膜,動力裝置,環形均布,均勻設置,均勻移動,提高生產,一端設置,可連續,收卷室,一種,轉軸,均勻,裝載,可靠,相連,完整,公開,穩定,工作,進行

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