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專利名稱：一種氧化物陶瓷濺射靶的制備方法
專利類型：發明
申請號：CN201110262874.0
公開(公告)號：CN102409299B
申請日：20110907
公開(公告)日：20140806
申請人：三峽大學,孫宜華,湖北三峽新型建材股份有限公司
發明人：孫宜華,呂鑫
申請人地址：443002 湖北省宜昌市大學路8號
申請人區域代碼：CN420502
專利權人：三峽大學,孫宜華,湖北三峽新型建材股份有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：C23C14/34,C23C14/08,B23K1/19,B23K35/26,C22C13/00
優先權：無
專利代理機構：宜昌市三峽專利事務所 42103
代理人：成鋼
審查員：張占江
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關(guan)鍵詞

背板,連接,陶瓷靶材,濺射靶,氧化物陶瓷,功率密度,釬焊合金,靶材,合金,釬料潤濕性,抗剪強度,連接材料,特定含量,穩定濺射,真空濺射,制備方法,低成本,高效率,過渡層,極薄

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