一、探針的種類有哪些

在(zai)晶(jing)圓(yuan)或芯片測試的過程中，通常會使(shi)用探針(zhen)來(lai)準確連接(jie)晶(jing)圓(yuan)或芯片的引腳或錫球與(yu)測試機，以便檢測產品的導(dao)通性(xing)(xing)、電流性(xing)(xing)、功能(neng)性(xing)(xing)和老化(hua)性(xing)(xing)等性(xing)(xing)能(neng)指標。那么你知(zhi)道探針(zhen)的種(zhong)類有哪(na)些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性(xing)探針是一(yi)個由螺旋(xuan)彈簧(huang)組成的(de)(de)探針，其(qi)兩(liang)端連接在(zai)上下柱栓上。螺旋(xuan)彈簧(huang)的(de)(de)中間部(bu)(bu)分緊密纏(chan)繞(rao)在(zai)一(yi)起(qi)，以防(fang)止產生額外的(de)(de)電(dian)感和(he)附(fu)件電(dian)阻。而彈簧(huang)的(de)(de)兩(liang)端部(bu)(bu)分則被(bei)稀疏纏(chan)繞(rao)，以降低探針對(dui)被(bei)測試物體(ti)的(de)(de)壓力。在(zai)檢測集成電(dian)路(lu)時，信號會(hui)從下柱栓流向(xiang)上方(fang)，形成導(dao)電(dian)路(lu)徑。

（2）懸臂式探針

懸(xuan)臂探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)為探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)部(bu)提供適(shi)當的縱向(xiang)位移，用于通過(guo)(guo)橫向(xiang)懸(xuan)臂接觸待測半(ban)導(dao)體產品，以避免探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)部(bu)對(dui)待測半(ban)導(dao)體產品施加過(guo)(guo)大的針(zhen)(zhen)(zhen)壓。

（3）垂直式探針

垂直(zhi)探針可(ke)以對(dui)應高密度信號觸(chu)點的(de)(de)待(dai)(dai)測半導體產品的(de)(de)細間距排列，針尖接觸(chu)待(dai)(dai)測半導體產品所需的(de)(de)縱向位移可(ke)以通過(guo)針體本身的(de)(de)彈性變(bian)形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其(qi)中，鎢(wu)髁合(he)金探(tan)(tan)(tan)針(zhen)具有穩定的接觸電阻，兼顧硬度和柔韌性，不易發生(sheng)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)偏差。因此(ci)，鎢(wu)髁合(he)金探(tan)(tan)(tan)針(zhen)是目前性能良好的一種常(chang)見探(tan)(tan)(tan)針(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探(tan)針(zhen)用于(yu)對(dui)測(ce)試(shi)(shi)頻率比(bi)較(jiao)敏(min)感的測(ce)試(shi)(shi)環境；普通(tong)探(tan)針(zhen)用于(yu)對(dui)信號衰(shuai)減不敏(min)感的測(ce)試(shi)(shi)環境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料：選擇材質通(tong)常(chang)為(wei)316不銹鋼、金(jin)屬(shu)玻璃、石(shi)英(ying)玻璃、硅、玻璃鋼等。不同材料的探針具有(you)不同的化(hua)學惰性(xing)(xing)和機械性(xing)(xing)能，對探測的液體和氣體有(you)不同的適應性(xing)(xing)。

（2）形(xing)狀(zhuang)：選(xuan)擇(ze)探(tan)(tan)針的(de)(de)形(xing)狀(zhuang)應該根據實驗需求進行(xing)選(xuan)擇(ze)，通常探(tan)(tan)針的(de)(de)形(xing)狀(zhuang)為直棒狀(zhuang)、U形(xing)、Z形(xing)等。考慮到(dao)實驗的(de)(de)靈(ling)敏度問(wen)題，在選(xuan)用探(tan)(tan)針時必須與被(bei)測物相匹配。

（3）長(chang)度：探針(zhen)的長(chang)度是下(xia)(xia)降液面幅度的關鍵因(yin)素。為獲得準確(que)的下(xia)(xia)降水平，要根據實際(ji)測量需(xu)求選擇合適(shi)的長(chang)度。

（4）直徑：探(tan)針(zhen)的(de)粗(cu)細(xi)通常(chang)采(cai)用0.5mm至5mm之間。過(guo)粗(cu)的(de)探(tan)針(zhen)會影響測(ce)量的(de)靈(ling)敏(min)度，過(guo)細(xi)的(de)探(tan)針(zhen)則可(ke)能會導(dao)致(zhi)探(tan)針(zhen)的(de)折斷。

（5）表(biao)面處(chu)理(li)：在實(shi)驗(yan)中，探針(zhen)處(chu)于探測的介質中，探針(zhen)的表(biao)面形態和性(xing)質會(hui)直接影響(xiang)到(dao)測量結果(guo)。因此(ci)，探針(zhen)的表(biao)面要求經過(guo)光潔處(chu)理(li)和表(biao)面處(chu)理(li)。

2、探針的要求

（1）質量問題：在使(shi)用過程中(zhong)應定期進行(xing)質量檢查。探針的質量差會導(dao)致(zhi)測量誤差增大，嚴重時(shi)可能(neng)會損壞實驗(yan)設備。

（2）加(jia)工工藝(yi)問題(ti)：在(zai)探針的制作過程(cheng)中(zhong)，要保證探針的形狀(zhuang)、尺寸的精確與穩定。

（3）使(shi)用(yong)(yong)注意事項：避免(mian)在測量(liang)過程中引入空氣，勿(wu)使(shi)用(yong)(yong)有陷進(jin)、連續的探針(zhen)(zhen)以免(mian)擾動測量(liang)，對于使(shi)用(yong)(yong)多個探針(zhen)(zhen)進(jin)行測量(liang)的情況要確保探針(zhen)(zhen)之間(jian)的長(chang)度和(he)間(jian)距(ju)足夠。

（4）存(cun)儲(chu)和(he)保養問題：盡可能地保證存(cun)儲(chu)環境無除塵(chen)、避光性好；探針表面不(bu)能有刮傷(shang)等損壞，使用前應清(qing)洗(xi)干凈且消毒處(chu)理。