一、探針的種類有哪些

在(zai)晶圓或(huo)芯(xin)片測(ce)試(shi)(shi)的過程(cheng)中，通常(chang)會使用探針來準確連接晶圓或(huo)芯(xin)片的引(yin)腳(jiao)或(huo)錫球與(yu)測(ce)試(shi)(shi)機，以便檢測(ce)產(chan)品的導通性(xing)(xing)、電流性(xing)(xing)、功(gong)能性(xing)(xing)和老(lao)化性(xing)(xing)等性(xing)(xing)能指標。那么(me)你知道(dao)探針的種類有(you)哪些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探針是一個由螺旋(xuan)彈簧(huang)組(zu)成(cheng)(cheng)的探針，其(qi)兩(liang)端連接在上下柱栓(shuan)上。螺旋(xuan)彈簧(huang)的中間部分緊密纏繞在一起，以防(fang)止產生(sheng)額外的電感(gan)和附件電阻。而(er)彈簧(huang)的兩(liang)端部分則被稀疏纏繞，以降低探針對被測試物體的壓力。在檢測集成(cheng)(cheng)電路時，信號會從下柱栓(shuan)流向上方，形成(cheng)(cheng)導(dao)電路徑。

（2）懸臂式探針

懸(xuan)臂(bei)探針為探針部提供適當的(de)縱(zong)向(xiang)位移，用于通(tong)過橫向(xiang)懸(xuan)臂(bei)接(jie)觸待測(ce)半導體產(chan)品，以(yi)避免探針部對待測(ce)半導體產(chan)品施加過大的(de)針壓。

（3）垂直式探針

垂(chui)直探針可以對應(ying)高密(mi)度(du)信號觸點(dian)的(de)待測半導體產品的(de)細間距(ju)排列，針尖接(jie)觸待測半導體產品所需的(de)縱(zong)向位移(yi)可以通(tong)過針體本身的(de)彈性變(bian)形來提(ti)供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中(zhong)，鎢(wu)髁合金(jin)探(tan)(tan)針具有(you)穩定的(de)接觸電阻，兼顧硬度和柔(rou)韌性，不易發生探(tan)(tan)針偏差。因此，鎢(wu)髁合金(jin)探(tan)(tan)針是目前性能良(liang)好的(de)一種常見(jian)探(tan)(tan)針。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針(zhen)(zhen)用(yong)于對測(ce)試(shi)(shi)頻率比較敏感的(de)測(ce)試(shi)(shi)環境；普通探針(zhen)(zhen)用(yong)于對信號(hao)衰(shuai)減不敏感的(de)測(ce)試(shi)(shi)環境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)料(liao)：選擇材(cai)質(zhi)通常為(wei)316不(bu)銹(xiu)鋼、金屬玻(bo)璃(li)、石英玻(bo)璃(li)、硅、玻(bo)璃(li)鋼等。不(bu)同(tong)材(cai)料(liao)的探(tan)針具(ju)有(you)不(bu)同(tong)的化(hua)學惰(duo)性(xing)和(he)機械性(xing)能，對探(tan)測的液(ye)體和(he)氣體有(you)不(bu)同(tong)的適應性(xing)。

（2）形(xing)(xing)狀：選擇(ze)探(tan)(tan)針的(de)(de)形(xing)(xing)狀應該根據實驗需求(qiu)進行選擇(ze)，通(tong)常探(tan)(tan)針的(de)(de)形(xing)(xing)狀為直棒狀、U形(xing)(xing)、Z形(xing)(xing)等。考慮到實驗的(de)(de)靈敏度問題，在選用(yong)探(tan)(tan)針時必須(xu)與(yu)被測物相匹(pi)配。

（3）長度：探針的長度是(shi)下降液面幅度的關鍵因素。為獲得準確的下降水平，要根據實際測量(liang)需求(qiu)選擇合適的長度。

（4）直徑：探(tan)(tan)針的粗細通常采用0.5mm至5mm之間。過(guo)粗的探(tan)(tan)針會影響測(ce)量(liang)的靈敏度，過(guo)細的探(tan)(tan)針則(ze)可能會導致探(tan)(tan)針的折斷。

（5）表面(mian)處理(li)：在實(shi)驗(yan)中(zhong)，探(tan)針(zhen)(zhen)處于探(tan)測(ce)的介質中(zhong)，探(tan)針(zhen)(zhen)的表面(mian)形(xing)態和性質會直接影響(xiang)到測(ce)量(liang)結(jie)果。因此，探(tan)針(zhen)(zhen)的表面(mian)要求經過光潔處理(li)和表面(mian)處理(li)。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量(liang)問題：在使用過程中(zhong)應定期進(jin)行質(zhi)量(liang)檢(jian)查(cha)。探針的質(zhi)量(liang)差(cha)會導致(zhi)測量(liang)誤差(cha)增大，嚴重時可能會損壞實驗設(she)備(bei)。

（2）加工工藝(yi)問題：在探針(zhen)的制作過程(cheng)中，要保證探針(zhen)的形狀、尺(chi)寸的精確與穩(wen)定。

（3）使用注意事項：避免在測(ce)(ce)量(liang)過程中引入空氣，勿(wu)使用有陷進、連續的探針以免擾動測(ce)(ce)量(liang)，對于使用多個探針進行(xing)測(ce)(ce)量(liang)的情況要確保探針之間的長度和間距足夠。

（4）存(cun)儲和保養問(wen)題：盡(jin)可能地保證存(cun)儲環境(jing)無除塵、避光性好；探針表(biao)面不(bu)能有刮(gua)傷等損壞(huai)，使用前應清洗干凈且消(xiao)毒(du)處理。