一、探針的種類有哪些

在晶圓(yuan)或芯(xin)(xin)片測(ce)試(shi)的(de)過程中，通常會使(shi)用探針來準(zhun)確連接(jie)晶圓(yuan)或芯(xin)(xin)片的(de)引(yin)腳(jiao)或錫球(qiu)與(yu)測(ce)試(shi)機，以便(bian)檢測(ce)產品的(de)導通性(xing)、電流(liu)性(xing)、功能性(xing)和老化(hua)性(xing)等性(xing)能指標(biao)。那么你知道探針的(de)種類(lei)有哪些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈(dan)(dan)性探(tan)針(zhen)是一(yi)個由螺旋彈(dan)(dan)簧(huang)組成(cheng)的(de)(de)探(tan)針(zhen)，其兩端(duan)連接(jie)在(zai)上下柱(zhu)栓上。螺旋彈(dan)(dan)簧(huang)的(de)(de)中間部分緊密纏(chan)繞在(zai)一(yi)起，以防(fang)止產生額外的(de)(de)電(dian)感和附(fu)件(jian)電(dian)阻。而彈(dan)(dan)簧(huang)的(de)(de)兩端(duan)部分則被稀疏纏(chan)繞，以降(jiang)低探(tan)針(zhen)對被測試(shi)物體(ti)的(de)(de)壓力。在(zai)檢測集成(cheng)電(dian)路時，信號會從下柱(zhu)栓流向(xiang)上方，形成(cheng)導電(dian)路徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探(tan)針(zhen)(zhen)為探(tan)針(zhen)(zhen)部提供適(shi)當(dang)的(de)(de)縱向(xiang)位移(yi)，用于(yu)通過橫向(xiang)懸臂接觸待測(ce)半(ban)導(dao)體產(chan)品(pin)，以避免探(tan)針(zhen)(zhen)部對(dui)待測(ce)半(ban)導(dao)體產(chan)品(pin)施加(jia)過大的(de)(de)針(zhen)(zhen)壓。

（3）垂直式探針

垂(chui)直探針(zhen)可以對(dui)應高密度信號觸點(dian)的待測半(ban)導體產品(pin)的細間距(ju)排列(lie)，針(zhen)尖接觸待測半(ban)導體產品(pin)所需的縱向位移可以通過針(zhen)體本身(shen)的彈性變形來提供(gong)。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁合金探(tan)(tan)針具有穩定的(de)接觸(chu)電阻，兼顧硬度和柔韌性，不易發生探(tan)(tan)針偏差(cha)。因此，鎢髁合金探(tan)(tan)針是(shi)目前性能良好的(de)一種常見探(tan)(tan)針。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探(tan)針(zhen)用(yong)于對測(ce)(ce)試頻率(lv)比較敏(min)(min)感的測(ce)(ce)試環境；普通探(tan)針(zhen)用(yong)于對信號(hao)衰減不(bu)敏(min)(min)感的測(ce)(ce)試環境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)(cai)料：選擇(ze)材(cai)(cai)質通常為316不銹鋼、金屬玻璃(li)、石英玻璃(li)、硅、玻璃(li)鋼等(deng)。不同材(cai)(cai)料的探針具有不同的化學(xue)惰(duo)性(xing)和機械性(xing)能(neng)，對探測的液(ye)體和氣體有不同的適應性(xing)。

（2）形(xing)狀(zhuang)：選(xuan)擇探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)的形(xing)狀(zhuang)應該根據(ju)實(shi)驗(yan)(yan)需求進(jin)行選(xuan)擇，通常探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)的形(xing)狀(zhuang)為(wei)直棒(bang)狀(zhuang)、U形(xing)、Z形(xing)等(deng)。考慮到(dao)實(shi)驗(yan)(yan)的靈敏度問題(ti)，在(zai)選(xuan)用探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)時必須與被(bei)測物相匹配(pei)。

（3）長(chang)度(du)：探(tan)針的(de)長(chang)度(du)是下(xia)降液面幅度(du)的(de)關鍵因素(su)。為獲得準(zhun)確的(de)下(xia)降水平(ping)，要(yao)根據實際(ji)測(ce)量需求選(xuan)擇合適的(de)長(chang)度(du)。

（4）直徑：探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)的粗細通常采用0.5mm至5mm之間(jian)。過(guo)粗的探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)會影響(xiang)測(ce)量的靈(ling)敏度，過(guo)細的探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)則可能會導致探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)的折(zhe)斷。

（5）表(biao)面(mian)處理：在(zai)實驗中，探(tan)針(zhen)處于(yu)探(tan)測的(de)介(jie)質(zhi)中，探(tan)針(zhen)的(de)表(biao)面(mian)形(xing)態和性質(zhi)會(hui)直(zhi)接影響到測量結果。因(yin)此，探(tan)針(zhen)的(de)表(biao)面(mian)要求(qiu)經(jing)過光潔處理和表(biao)面(mian)處理。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量問題：在使用過程中應定期進(jin)行質(zhi)量檢查(cha)。探針的質(zhi)量差會導致測量誤差增大，嚴重時可能會損壞(huai)實驗設備。

（2）加工工藝問題：在探針的制(zhi)作過程(cheng)中(zhong)，要(yao)保證探針的形狀、尺寸的精確(que)與穩定。

（3）使(shi)用注(zhu)意事項：避(bi)免(mian)在(zai)測量(liang)過程中引入(ru)空氣，勿使(shi)用有陷進、連續的探針以免(mian)擾動測量(liang)，對(dui)于使(shi)用多個探針進行測量(liang)的情況要確保探針之間的長度(du)和(he)間距足夠(gou)。

（4）存儲和保養(yang)問題：盡(jin)可能(neng)地保證存儲環境(jing)無除塵、避光性好；探針(zhen)表(biao)面(mian)不能(neng)有刮傷(shang)等損壞，使用前應清洗(xi)干凈且消毒處理。