一、什么是探針臺

探針(zhen)臺(tai)（Probe Station）是一種用(yong)于對半導(dao)體器(qi)件(jian)進(jin)行電性能測試(shi)(shi)的重要設(she)備。它通常(chang)由精密(mi)的機械結構、高性能的探針(zhen)針(zhen)頭(tou)和電性能測試(shi)(shi)儀器(qi)組成(cheng)。探針(zhen)臺(tai)可以(yi)對半導(dao)體芯(xin)片(pian)、集成(cheng)電路和其他微電子器(qi)件(jian)進(jin)行直(zhi)接的電性能測試(shi)(shi)，從而為研究和生產提供有(you)價(jia)值的信息。

二、探針臺的分類有哪些

一般(ban)根(gen)據用戶測(ce)試(shi)樣(yang)品、測(ce)試(shi)環(huan)境、應用類別、產品級別以及(ji)操作方式分類，如下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶(jing)圓測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、LED測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、功(gong)率器件(jian)測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、MEMS測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、PCB測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、液(ye)晶(jing)面板測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、太陽能電池片測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、材料表面電阻率測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、納米器件(jian)測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)頻(pin)、射頻(pin)及微(wei)波測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、高(gao)/低溫環境測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、高(gao)/低溫真空環境測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、低電(dian)流（fA級）測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、高(gao)壓、大電(dian)流測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、特(te)殊氣體(ti)環境測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、磁場環境測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、雙(shuang)面點針(zhen)(zhen)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、全封(feng)閉式探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)（非真空環境）。

3、按級別分類可分為：簡易型探針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、標準型探針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、分析型探針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、高端型探針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)。

4、按操作方式可分為：手(shou)動(dong)型(xing)、半(ban)自動(dong)型(xing)、全自動(dong)型(xing)。

5、按特殊應用測試分為：非標準類結(jie)構測(ce)試探針臺。