一、半導體設備檢修工具有哪些

半導體設備(bei)是一(yi)種高精度的(de)機器，在現代化工業發展(zhan)過(guo)程中，流(liu)水(shui)線(xian)的(de)生(sheng)(sheng)產操作對(dui)(dui)于半導體設備(bei)要求(qiu)較(jiao)高，一(yi)旦出現故障會直接影響整個企(qi)業的(de)生(sheng)(sheng)產進(jin)程，因此(ci)需要定期進(jin)行維修(xiu)保養，防止出現故障發生(sheng)(sheng)導致停產，對(dui)(dui)企(qi)業造成較(jiao)為嚴重(zhong)的(de)經濟(ji)損失，半導體設備(bei)檢修(xiu)可(ke)以用(yong)到(dao)哪些(xie)工具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受(shou)到振動和沖擊，同時保(bao)護地面不受(shou)損傷，可以實(shi)現(xian)精確的位置控(kong)制，保(bao)質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪式千斤頂可(ke)以(yi)實(shi)現(xian)前后(hou)100mm水平(ping)移(yi)動，頂升平(ping)穩無晃動，可(ke)以(yi)實(shi)現(xian)高精度的升降和定位控制(zhi)(zhi)，可(ke)定制(zhi)(zhi)無塵(chen)型。

3、楔形千斤頂

楔(xie)形千斤頂只(zhi)需5mm的縫隙，楔(xie)頭即可(ke)插入起升至34mm的高度(du)，手柄可(ke)以360度(du)旋轉，能用于狹窄(zhai)空間。

4、滑動紙

滑(hua)(hua)動(dong)紙人力即可(ke)推動(dong)1至(zhi)9噸的(de)重物(wu)，調整范(fan)圍(wei)為1cm-5cm，半導體(ti)設(she)備檢修結束后(hou)抬(tai)起(qi)約1mm的(de)高度即可(ke)拉出滑(hua)(hua)動(dong)紙，操作簡單(dan)，輕松便攜(xie)。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導(dao)體(ti)設備出(chu)現(xian)故障后，先做好總體(ti)分析，然后仔(zi)細檢查故障問題。

1、首先，檢(jian)查半導體(ti)(ti)設備(bei)周圍的冷凍機(ji)、真空(kong)壓縮機(ji)、變壓器等(deng)是否運行正(zheng)常(chang)，如果這(zhe)些(xie)設備(bei)都正(zheng)常(chang)，再排查和檢(jian)查半導體(ti)(ti)設備(bei)主體(ti)(ti)，檢(jian)修人員貿然拆解半導體(ti)(ti)設備(bei)會損壞(huai)元器件，重復的返工會浪(lang)費大(da)量物力、人力和財(cai)力。

2、其次，全面(mian)了解半(ban)導(dao)體(ti)設備情況(kuang)，確定半(ban)導(dao)體(ti)設備故(gu)(gu)障范圍，有(you)針對(dui)(dui)性地采用檢修方法，半(ban)導(dao)體(ti)設備包括附加部(bu)分(fen)、傳送部(bu)分(fen)、動力部(bu)分(fen)、控制部(bu)分(fen)等(deng)，控制部(bu)分(fen)是半(ban)導(dao)體(ti)設備中最(zui)精密(mi)的部(bu)分(fen)，應重點(dian)檢查這個(ge)部(bu)分(fen)，逐一排查電路板模塊(kuai)，反(fan)復進行對(dui)(dui)比分(fen)析，仔細檢查半(ban)導(dao)體(ti)設備故(gu)(gu)障位置。

3、最后，仔細(xi)清理半導體(ti)設(she)(she)備灰塵，檢(jian)查各(ge)個板件的焊(han)接和(he)線(xian)路連接，很多半導體(ti)設(she)(she)備在長時間使(shi)用(yong)過(guo)程中接口和(he)插頭容易堆積大量灰塵導致漏電(dian)事故(gu)，線(xian)路板發生氧化形成虛焊(han)，對于(yu)這(zhe)些問題，檢(jian)修人(ren)員應(ying)積極進行檢(jian)修維護。