一、半導體設備檢修工具有哪些

半導(dao)體設備(bei)是一種高精度(du)的(de)機器，在現代化工業發展過程(cheng)中，流水線的(de)生產操作(zuo)對(dui)于半導(dao)體設備(bei)要(yao)求(qiu)較高，一旦(dan)出現故(gu)障會(hui)直接影響整(zheng)個企業的(de)生產進(jin)程(cheng)，因(yin)此需要(yao)定期進(jin)行維(wei)修保養，防止出現故(gu)障發生導(dao)致停(ting)產，對(dui)企業造(zao)成較為嚴重的(de)經(jing)濟損失，半導(dao)體設備(bei)檢修可(ke)以用到哪些工具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受到振動(dong)和(he)沖擊(ji)，同(tong)時保護地(di)面不受損傷，可以實(shi)現精確的位置控制，保質期四年(nian)。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪式千斤頂(ding)可以(yi)實現(xian)前后100mm水平(ping)移動(dong)，頂(ding)升(sheng)(sheng)平(ping)穩無晃動(dong)，可以(yi)實現(xian)高精(jing)度的升(sheng)(sheng)降和定(ding)位(wei)控制(zhi)(zhi)，可定(ding)制(zhi)(zhi)無塵型。

3、楔形千斤頂

楔(xie)形(xing)千(qian)斤頂只需5mm的縫隙，楔(xie)頭即可(ke)插(cha)入起升(sheng)至34mm的高(gao)度，手柄可(ke)以360度旋轉，能(neng)用于狹(xia)窄空間。

4、滑動紙

滑動紙(zhi)人力即(ji)可(ke)推動1至9噸的重(zhong)物，調(diao)整(zheng)范(fan)圍為1cm-5cm，半導體設備(bei)檢修結束后抬起約1mm的高度即(ji)可(ke)拉出滑動紙(zhi)，操(cao)作簡單，輕松(song)便(bian)攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導(dao)體(ti)設備出現故障后(hou)，先做好總體(ti)分析，然后(hou)仔細檢查故障問題。

1、首(shou)先，檢(jian)(jian)查半導體設備(bei)周圍的(de)冷凍機(ji)、真空壓縮機(ji)、變(bian)壓器等是(shi)否運(yun)行正常(chang)，如(ru)果(guo)這些(xie)設備(bei)都正常(chang)，再排(pai)查和檢(jian)(jian)查半導體設備(bei)主(zhu)體，檢(jian)(jian)修(xiu)人(ren)員(yuan)貿然(ran)拆解半導體設備(bei)會(hui)損壞元(yuan)器件，重復的(de)返工會(hui)浪費大量物力(li)、人(ren)力(li)和財(cai)力(li)。

2、其(qi)次，全(quan)面了解半(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)備(bei)(bei)情況，確(que)定半(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)備(bei)(bei)故(gu)障(zhang)范圍，有針對性地(di)采用(yong)檢修(xiu)方(fang)法(fa)，半(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)備(bei)(bei)包(bao)括附加部(bu)(bu)分(fen)(fen)、傳送部(bu)(bu)分(fen)(fen)、動(dong)力部(bu)(bu)分(fen)(fen)、控(kong)制(zhi)部(bu)(bu)分(fen)(fen)等，控(kong)制(zhi)部(bu)(bu)分(fen)(fen)是(shi)半(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)備(bei)(bei)中最精密的(de)部(bu)(bu)分(fen)(fen)，應重點(dian)檢查(cha)這個部(bu)(bu)分(fen)(fen)，逐一排(pai)查(cha)電路板模塊，反復(fu)進行對比分(fen)(fen)析，仔細檢查(cha)半(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)備(bei)(bei)故(gu)障(zhang)位置。

3、最后，仔細清理半導體設(she)備灰(hui)塵，檢查各個板件的焊(han)接和線(xian)路(lu)連接，很(hen)多半導體設(she)備在長時間(jian)使用過程中接口和插頭(tou)容易堆積(ji)大量灰(hui)塵導致漏電事故(gu)，線(xian)路(lu)板發生氧化(hua)形成(cheng)虛焊(han)，對于這些問題，檢修人員應積(ji)極進行(xing)檢修維護。