1981年,考(kao)入合肥(fei)工業大學(xue),先(xian)后獲得學(xue)士(shi)、碩士(shi)學(xue)位。
1998年,獲(huo)得北(bei)京航空航天大學博士學位。
2000年(nian),被聘為(wei)中(zhong)國科學院微電子研究所研究員(yuan)和(he)納米(mi)加工(gong)與新器件集(ji)成(cheng)技(ji)術研究室(shi)主任。
2018年(nian),出(chu)任中國(guo)科學技術大學國(guo)家示范性(xing)微電子學院院長(chang)。
2022年08月11日,擔任中芯國際董事會審計委員(yuan)會成員(yuan)。
2015年,當選中國科(ke)學(xue)院院士(shi)。
2017年03月08日,榮獲中(zhong)國科學院(yuan)第(di)五屆“十(shi)大杰(jie)出婦(fu)女”榮譽稱(cheng)號。
2018年,當選為發展中國家科(ke)學院院士。
2007年(nian),項目《中高(gao)頻聲表面波關鍵材料及(ji)技術研究(jiu)》榮獲“國家(jia)技術發(fa)明二等獎”。
2009年,項目(mu)《移動通訊用濾波器關鍵技術及(ji)產業(ye)化》榮獲“國家科技進步二(er)等獎”。
2010年,項目《微納結構‘自上而下’制備核心(xin)技術(shu)與集成(cheng)應用》榮(rong)獲“北(bei)京市科學技術(shu)一等獎”。
2013年,項目(mu)《高精度微納結(jie)構掩模制造核心技(ji)術》榮(rong)獲“國(guo)家技(ji)術發明二等獎”。
2014年,項目(mu)《阻變(bian)存(cun)儲器及集(ji)成的(de)基礎(chu)研究(jiu)》榮獲“北京市科學技術二等獎”。