1981年，考入(ru)合(he)肥(fei)工業大(da)學(xue)，先(xian)后獲(huo)得(de)學(xue)士、碩士學(xue)位。
1998年(nian)，獲(huo)得北京航空航天(tian)大(da)學博士學位。
2000年(nian)，被(bei)聘為中國科學院微(wei)電子研(yan)(yan)究(jiu)所研(yan)(yan)究(jiu)員和(he)納(na)米加工與新器件(jian)集成(cheng)技術研(yan)(yan)究(jiu)室(shi)主任。
2018年(nian)，出(chu)任中國科(ke)學技術大學國家示范(fan)性微電子學院院長。
2022年08月11日，擔任(ren)中芯國際董(dong)事會(hui)審計委員會(hui)成(cheng)員。
2015年(nian)，當選(xuan)中(zhong)國科學院院士。
2017年03月08日(ri)，榮獲中(zhong)國科學院第五(wu)屆“十大杰出婦女”榮譽稱(cheng)號。
2018年(nian)，當選為發展中國家科學(xue)院院士。
2007年，項目《中高頻(pin)聲表面(mian)波關鍵材料及技(ji)術研究》榮獲“國家技(ji)術發明二等獎”。
2009年，項目(mu)《移動通(tong)訊用濾波器關鍵(jian)技術及產業(ye)化》榮獲“國家(jia)科技進步二等獎”。
2010年，項目《微納結構(gou)‘自上(shang)而下’制備核心(xin)技術與集成應用》榮獲(huo)“北(bei)京(jing)市科學技術一等獎”。
2013年，項目《高精度(du)微納結構(gou)掩模制造核心(xin)技術(shu)》榮獲“國家技術(shu)發明二等獎”。
2014年，項目《阻變存儲器及集(ji)成(cheng)的基礎研究(jiu)》榮獲“北京市科學技術二等(deng)獎”。
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