1981年,考入合肥工業大學,先后獲得學士、碩士學位。
1998年,獲(huo)得北京航空航天大學(xue)(xue)博士學(xue)(xue)位。
2000年(nian),被聘為中國科學院(yuan)微電(dian)子研(yan)(yan)究(jiu)所(suo)研(yan)(yan)究(jiu)員和納(na)米(mi)加(jia)工(gong)與新器件集(ji)成技術研(yan)(yan)究(jiu)室主任(ren)。
2018年,出任中國科學(xue)(xue)技術大(da)學(xue)(xue)國家示范性微電子學(xue)(xue)院(yuan)院(yuan)長。
2022年(nian)08月(yue)11日,擔任中芯(xin)國際董事會審計(ji)委(wei)員會成員。
2015年,當(dang)選中(zhong)國科學院院士。
2017年(nian)03月08日(ri),榮獲(huo)中國科(ke)學院第五屆“十(shi)大杰出(chu)婦(fu)女”榮譽稱(cheng)號。
2018年,當選(xuan)為發展中(zhong)國家科學院(yuan)院(yuan)士。
2007年,項目《中(zhong)高頻聲表面波關鍵材料及技術(shu)研究(jiu)》榮獲“國(guo)家(jia)技術(shu)發明二(er)等獎”。
2009年(nian),項目《移動通訊用濾波(bo)器關鍵技術及(ji)產業化》榮獲“國(guo)家科技進步二等獎”。
2010年,項目(mu)《微納結構‘自上(shang)而下’制備核心技術與集成應用》榮獲“北(bei)京市科學(xue)技術一等獎”。
2013年,項目《高精度微納結(jie)構掩(yan)模制造核心技術》榮(rong)獲“國家(jia)技術發明二(er)等獎”。
2014年,項目(mu)《阻變存儲器及(ji)集成的(de)基礎研究》榮獲“北(bei)京市科學技術二(er)等獎”。