1981年,考入(ru)合肥工(gong)業大學,先后獲得學士(shi)(shi)、碩士(shi)(shi)學位。
1998年,獲得北京航(hang)空航(hang)天大(da)學博(bo)士學位(wei)。
2000年,被聘為(wei)中(zhong)國科(ke)學(xue)院微電(dian)子研(yan)(yan)究(jiu)所(suo)研(yan)(yan)究(jiu)員和納米加工與新器(qi)件集成技術(shu)研(yan)(yan)究(jiu)室主任。
2018年,出(chu)任中國科學技術大學國家示范性微(wei)電子學院院長。
2022年08月11日,擔(dan)任(ren)中芯國際董事會審計委員會成員。
2015年,當選中國科學院院士(shi)。
2017年03月08日,榮獲(huo)中(zhong)國科學院第(di)五屆“十大(da)杰出婦女”榮譽稱號。
2018年,當選為(wei)發展中國家科學院院士。
2007年(nian),項目《中高頻聲(sheng)表面波關鍵材料及技術研(yan)究》榮獲“國(guo)家技術發明二等獎”。
2009年,項目《移(yi)動通訊(xun)用濾波器關鍵(jian)技術及產業(ye)化》榮獲“國(guo)家科技進步二等獎”。
2010年,項目《微納(na)結構‘自上而下’制備核(he)心技(ji)(ji)術(shu)與集成應用》榮獲(huo)“北京市科學技(ji)(ji)術(shu)一(yi)等獎(jiang)”。
2013年(nian),項(xiang)目《高精度(du)微(wei)納結構掩模制造核(he)心技術》榮(rong)獲“國家技術發明二(er)等獎”。
2014年(nian),項(xiang)目《阻(zu)變存儲器(qi)及集成的(de)基礎研究(jiu)》榮獲“北(bei)京(jing)市科(ke)學技術二等獎”。