1981年,考入合肥工業大學,先后獲得學士(shi)(shi)、碩士(shi)(shi)學位(wei)。
1998年(nian),獲得北(bei)京航空航天大學(xue)博士學(xue)位(wei)。
2000年(nian),被聘為中國科學院微電子研(yan)究(jiu)所研(yan)究(jiu)員和納(na)米加(jia)工(gong)與新器(qi)件集成技(ji)術研(yan)究(jiu)室主任。
2018年,出任中國科(ke)學技術(shu)大學國家(jia)示范性(xing)微電子學院(yuan)院(yuan)長。
2022年08月11日,擔任中芯國際董事會(hui)審計委員會(hui)成員。
2015年,當選中(zhong)國科學院院士。
2017年03月08日,榮(rong)(rong)獲(huo)中(zhong)國(guo)科學院第五屆“十大杰(jie)出(chu)婦女”榮(rong)(rong)譽稱號。
2018年,當選為(wei)發(fa)展(zhan)中國家科學院院士。
2007年,項目《中高頻聲(sheng)表面波(bo)關(guan)鍵材料及技(ji)術(shu)研(yan)究(jiu)》榮獲“國家技(ji)術(shu)發明二(er)等獎”。
2009年,項目(mu)《移動通訊用濾波(bo)器(qi)關(guan)鍵技術及產業化》榮獲“國(guo)家科技進步(bu)二等獎”。
2010年,項(xiang)目(mu)《微納結(jie)構‘自上而(er)下’制備核(he)心技術與集(ji)成(cheng)應(ying)用》榮獲“北京市科學技術一等獎”。
2013年(nian),項(xiang)目(mu)《高精度微納(na)結構掩模(mo)制造核心技術(shu)》榮(rong)獲(huo)“國家技術(shu)發明二等獎”。
2014年,項目(mu)《阻(zu)變存儲器及集成的基(ji)礎研究(jiu)》榮(rong)獲“北京(jing)市科學(xue)技(ji)術二(er)等獎”。