1960年,畢業(ye)于吉林工業(ye)大學機械制造(zao)專業(ye)。
1960年(nian)至1998年(nian),在中科院長春光(guang)學精密機械研(yan)究所從事(shi)超精密齒輪制造研(yan)究工作。
20世紀80年代和(he)90年代,開(kai)展(zhan)激(ji)光光盤刻錄母機和(he)微型機械研究工作。
1991年,當選中國科學院院士。
1992年,組(zu)建(jian)中國(guo)第(di)一(yi)個(ge)微型機械研(yan)究室。
1996年,負責撰寫“十五”863 MEMS發展(zhan)規劃。同年被聘為(wei)大連理工大學教授,兼任機械工程系(xi)學術委員會主(zhu)任。
1998年12月(yue),正(zheng)式調(diao)轉至大(da)連理工(gong)大(da)學(xue)工(gong)作(zuo),先后擔任(ren)大(da)連理工(gong)大(da)學(xue)機械工(gong)程學(xue)院學(xue)術(shu)委員(yuan)會主任(ren)、校學(xue)位委員(yuan)會副主任(ren),微(wei)機電系統研究(jiu)中心主任(ren)。
1999年,組建(jian)大連(lian)理工大學跨(kua)院系、跨(kua)學科(ke)的微(wei)系統研究中心。
2003年,參與(yu)(yu)撰(zhuan)寫國家(jia)中長期科學與(yu)(yu)技術(shu)發展規(gui)劃中的納米技術(shu)與(yu)(yu)微(wei)系統分專(zhuan)題。
2004年,組(zu)建遼寧省微(wei)納米技(ji)術及系統(tong)重(zhong)點實(shi)(shi)驗(yan)(yan)室(shi)/微(wei)系統(tong)與微(wei)制造遼寧省高(gao)校重(zhong)點實(shi)(shi)驗(yan)(yan)室(shi)。
2014年,擔(dan)任2011高端(duan)制造(zao)裝備協(xie)同創(chuang)新中心工藝(yi)首席科學家(jia)。
2018年8月29日(ri),當選中國儀(yi)器儀(yi)表學會(hui)會(hui)士。
1985,獲“吉林省有突(tu)出貢獻的中青年科(ke)技人才”稱號。
1991,獲“中國科學院先進(jin)工作者”。
2003,獲“大(da)連市特等勞動模范”稱(cheng)號(hao)。
2004,獲“遼寧省五一勞(lao)動獎(jiang)章”。
1978年,《高精度小模(mo)數(shu)標準齒輪(lun)》獲“全國科學大會獎”。
1985年,《超精密齒輪工藝技術》獲“國家科技進步二等獎”。
1992年,《光盤伺(si)服槽(cao)及(ji)預制格式刻劃(hua)機》獲(huo)“國家科技(ji)進步二等獎(jiang)”。
1999年,《高精(jing)度(du)漸開線樣(yang)板》獲(huo)“國(guo)家科技進(jin)步三等獎”。