上海集成(cheng)(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)(lu)(lu)研(yan)(yan)發中心(xin)有限公(gong)司(ICRD)成(cheng)(cheng)(cheng)立于2002年,是國家支持組建(jian)、產學研(yan)(yan)合(he)作的(de)集成(cheng)(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)(lu)(lu)研(yan)(yan)發中心(xin)。ICRD由中國集成(cheng)(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)(lu)(lu)相關企(qi)業集團和(he)高(gao)校(xiao)聯合(he)投資組建(jian)而成(cheng)(cheng)(cheng),是一個(ge)獨立的(de)面向全行(xing)業集成(cheng)(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)(lu)(lu)企(qi)業、大學及(ji)研(yan)(yan)究(jiu)所開放的(de)公(gong)共研(yan)(yan)發機構。
上海集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)(lu)(lu)研發(fa)中心聚(ju)焦(jiao)集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)(lu)(lu)主流技(ji)術路(lu)(lu)(lu)線(xian),致(zhi)力于解決重大共(gong)性技(ji)術的(de)(de)研發(fa)及服(fu)務支撐問(wen)題,并為(wei)(wei)自主可控(kong)產業鏈建設(she)提供(gong)公共(gong)的(de)(de)裝(zhuang)備(bei)和(he)材(cai)料驗證(zheng)平臺(tai)。ICRD的(de)(de)主要功能包(bao)括:為(wei)(wei)集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)(lu)(lu)企(qi)業和(he)研發(fa)單位提供(gong)前端器件及工藝(yi)技(ji)術的(de)(de)前期研發(fa)和(he)產品級(ji)驗證(zheng);為(wei)(wei)集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)(lu)(lu)裝(zhuang)備(bei)和(he)材(cai)料提供(gong)研制到(dao)上線(xian)的(de)(de)驗證(zheng)和(he)工藝(yi)配套;為(wei)(wei)集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)(lu)(lu)生產線(xian)升級(ji)提供(gong)知識產權和(he)技(ji)術轉移(yi);為(wei)(wei)國內設(she)計企(qi)業研制芯片提供(gong)特色(se)工藝(yi)和(he)共(gong)享IP核服(fu)務;為(wei)(wei)企(qi)業及高校提供(gong)培養集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)(lu)(lu)技(ji)術人才和(he)高技(ji)能人才的(de)(de)實(shi)訓基(ji)地。
上(shang)(shang)海集成電(dian)路研(yan)(yan)發(fa)(fa)中(zhong)心位于上(shang)(shang)海市張江高(gao)科技(ji)園(yuan)區(qu),地理位置毗鄰華力(li)(li)微(wei)電(dian)子和(he)中(zhong)芯國際。ICRD建(jian)有12英(ying)寸開放式集成電(dian)路工(gong)藝(yi)研(yan)(yan)發(fa)(fa)和(he)裝(zhuang)備(bei)材料(liao)試(shi)驗(yan)平臺(tai),凈化面積超(chao)過3000平方米,研(yan)(yan)發(fa)(fa)環境及(ji)(ji)管理系(xi)統和(he)大生(sheng)產線匹配,可實現硅(gui)片無沾(zhan)污進(jin)出和(he)工(gong)藝(yi)流程無縫(feng)銜接,加快了技(ji)術研(yan)(yan)發(fa)(fa)和(he)驗(yan)證(zheng)速度。ICRD擁有浸沒式193nm光刻機、硅(gui)刻蝕機、原子層薄膜生(sheng)長(ALD)、高(gao)能離子注(zhu)入機以(yi)及(ji)(ji)全套(tao)銅互連(lian)和(he)Low-K等(deng)工(gong)藝(yi)設(she)備(bei),工(gong)藝(yi)研(yan)(yan)發(fa)(fa)能力(li)(li)可達14納米以(yi)下(xia)。
上(shang)海(hai)集成電路研發(fa)中(zhong)心擁(yong)有(you)一(yi)批(pi)來(lai)自國際(ji)研發(fa)機構和(he)跨國公(gong)司(si)的(de)研究人員,并通過國內外產(chan)業(ye)合作持續培(pei)養(yang)和(he)鍛煉了(le)一(yi)支擁(yong)有(you)自主工(gong)藝技術提升(sheng)能力的(de)研發(fa)隊伍,為中(zhong)國集成電路產(chan)業(ye)的(de)自主可控(kong)持續發(fa)展提供了(le)中(zhong)堅(jian)力量。ICRD掌(zhang)握了(le)多個技(ji)術代的工(gong)(gong)(gong)藝技(ji)術和(he)(he)知識產(chan)(chan)權,為中(zhong)國(guo)集成(cheng)電路(lu)生產(chan)(chan)線的建設提供了(le)多套技(ji)術轉移和(he)(he)服務;通過設立產(chan)(chan)業界共(gong)性技(ji)術研(yan)發(fa)項目,進行(xing)FinFET器件及工(gong)(gong)(gong)藝、FDSOI關鍵工(gong)(gong)(gong)藝、5nm以(yi)下納(na)米線晶(jing)體管等(deng)(deng)新器件和(he)(he)工(gong)(gong)(gong)藝技(ji)術的聯合研(yan)發(fa);開展(zhan)產(chan)(chan)學研(yan)合作,研(yan)發(fa)STT-MRAM、晶(jing)體管級3D堆(dui)疊(die)、量子(zi)點傳感器、類神(shen)經元晶(jing)體管等(deng)(deng)前沿技(ji)術和(he)(he)產(chan)(chan)品;通過以(yi)精湛工(gong)(gong)(gong)藝帶動裝備(bei)(bei)和(he)(he)材(cai)料研(yan)發(fa)評價的方式,為國(guo)產(chan)(chan)光(guang)刻(ke)(ke)機、刻(ke)(ke)蝕機、銅互連、光(guang)刻(ke)(ke)膠、大硅片等(deng)(deng)裝備(bei)(bei)和(he)(he)材(cai)料提供驗證和(he)(he)工(gong)(gong)(gong)藝配套,推(tui)動供應(ying)鏈的國(guo)產(chan)(chan)化。