上海集(ji)成電(dian)路(lu)研(yan)(yan)(yan)發(fa)中(zhong)心有限公(gong)司(ICRD)成立于2002年,是(shi)(shi)國(guo)家支持組(zu)建(jian)、產學(xue)研(yan)(yan)(yan)合(he)作(zuo)的集(ji)成電(dian)路(lu)研(yan)(yan)(yan)發(fa)中(zhong)心。ICRD由(you)中(zhong)國(guo)集(ji)成電(dian)路(lu)相(xiang)關企(qi)業(ye)集(ji)團和高校聯合(he)投資組(zu)建(jian)而成,是(shi)(shi)一個獨立的面(mian)向全行業(ye)集(ji)成電(dian)路(lu)企(qi)業(ye)、大(da)學(xue)及研(yan)(yan)(yan)究所(suo)開放的公(gong)共(gong)研(yan)(yan)(yan)發(fa)機構(gou)。
上海集(ji)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)電路(lu)研發(fa)(fa)中心聚(ju)焦(jiao)集(ji)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)電路(lu)主(zhu)流技術路(lu)線(xian),致力于解決重大共(gong)性技術的(de)研發(fa)(fa)及服務支(zhi)撐問題,并為(wei)(wei)自主(zhu)可(ke)控產業(ye)(ye)鏈建設提(ti)(ti)供(gong)公(gong)共(gong)的(de)裝(zhuang)(zhuang)備和(he)(he)材料(liao)驗證平(ping)臺(tai)。ICRD的(de)主(zhu)要功能包括:為(wei)(wei)集(ji)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)電路(lu)企(qi)(qi)業(ye)(ye)和(he)(he)研發(fa)(fa)單位提(ti)(ti)供(gong)前端器(qi)件(jian)及工藝(yi)(yi)(yi)技術的(de)前期研發(fa)(fa)和(he)(he)產品級(ji)驗證;為(wei)(wei)集(ji)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)電路(lu)裝(zhuang)(zhuang)備和(he)(he)材料(liao)提(ti)(ti)供(gong)研制到上線(xian)的(de)驗證和(he)(he)工藝(yi)(yi)(yi)配套;為(wei)(wei)集(ji)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)電路(lu)生(sheng)產線(xian)升級(ji)提(ti)(ti)供(gong)知識產權和(he)(he)技術轉(zhuan)移;為(wei)(wei)國(guo)內設計企(qi)(qi)業(ye)(ye)研制芯(xin)片提(ti)(ti)供(gong)特色工藝(yi)(yi)(yi)和(he)(he)共(gong)享(xiang)IP核服務;為(wei)(wei)企(qi)(qi)業(ye)(ye)及高(gao)校提(ti)(ti)供(gong)培(pei)養集(ji)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)電路(lu)技術人(ren)才(cai)和(he)(he)高(gao)技能人(ren)才(cai)的(de)實訓基地。
上(shang)海(hai)集(ji)成電路研(yan)發中(zhong)心位(wei)(wei)于(yu)上(shang)海(hai)市張江高科(ke)技園區,地理位(wei)(wei)置毗(pi)鄰(lin)華力(li)微(wei)電子和(he)(he)(he)中(zhong)芯國(guo)際。ICRD建(jian)有12英寸開放式集(ji)成電路工(gong)藝(yi)研(yan)發和(he)(he)(he)裝(zhuang)備材(cai)料(liao)試驗平臺,凈化面積(ji)超過(guo)3000平方(fang)米(mi),研(yan)發環境(jing)及管理系統和(he)(he)(he)大(da)生產(chan)線(xian)匹配,可實(shi)現硅片(pian)無沾污進(jin)出和(he)(he)(he)工(gong)藝(yi)流程無縫銜接(jie),加快了技術研(yan)發和(he)(he)(he)驗證速度。ICRD擁有浸沒式193nm光刻機(ji)(ji)、硅刻蝕機(ji)(ji)、原子層薄膜生長(ALD)、高能離子注入機(ji)(ji)以(yi)(yi)及全套(tao)銅互連和(he)(he)(he)Low-K等工(gong)藝(yi)設(she)備,工(gong)藝(yi)研(yan)發能力(li)可達14納米(mi)以(yi)(yi)下。
上海(hai)集成(cheng)電(dian)路研(yan)發中(zhong)心擁(yong)(yong)有一批來自國(guo)際研(yan)發機構和(he)(he)跨國(guo)公司的研(yan)究人(ren)員(yuan),并通過國(guo)內外產(chan)業(ye)合作(zuo)持續(xu)(xu)培養和(he)(he)鍛煉了(le)一支擁(yong)(yong)有自主(zhu)工(gong)藝(yi)技術提升(sheng)能力(li)的研(yan)發隊(dui)伍,為中(zhong)國(guo)集成(cheng)電(dian)路產(chan)業(ye)的自主(zhu)可控持續(xu)(xu)發展(zhan)提供了(le)中(zhong)堅力(li)量(liang)。ICRD掌(zhang)握(wo)了多個技(ji)(ji)術(shu)(shu)代(dai)的(de)工(gong)藝(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)和(he)(he)知識(shi)產(chan)(chan)權(quan),為(wei)中國集(ji)成(cheng)電(dian)路生產(chan)(chan)線的(de)建設(she)提(ti)供了多套(tao)技(ji)(ji)術(shu)(shu)轉移和(he)(he)服(fu)務(wu);通過設(she)立產(chan)(chan)業界共(gong)性(xing)技(ji)(ji)術(shu)(shu)研(yan)發(fa)(fa)項目,進行FinFET器件及工(gong)藝(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)、FDSOI關鍵工(gong)藝(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)、5nm以(yi)下納米線晶(jing)體(ti)管(guan)等新器件和(he)(he)工(gong)藝(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)聯合研(yan)發(fa)(fa);開展產(chan)(chan)學研(yan)合作(zuo),研(yan)發(fa)(fa)STT-MRAM、晶(jing)體(ti)管(guan)級3D堆疊、量子點傳感器、類神經(jing)元晶(jing)體(ti)管(guan)等前(qian)沿(yan)技(ji)(ji)術(shu)(shu)和(he)(he)產(chan)(chan)品;通過以(yi)精湛工(gong)藝(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)帶動(dong)(dong)裝(zhuang)備(bei)和(he)(he)材料研(yan)發(fa)(fa)評價(jia)的(de)方式(shi),為(wei)國產(chan)(chan)光刻(ke)(ke)(ke)機(ji)、刻(ke)(ke)(ke)蝕機(ji)、銅互連、光刻(ke)(ke)(ke)膠、大硅片等裝(zhuang)備(bei)和(he)(he)材料提(ti)供驗證(zheng)和(he)(he)工(gong)藝(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)配(pei)套(tao),推動(dong)(dong)供應鏈的(de)國產(chan)(chan)化。