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上海集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)研(yan)(yan)發(fa)(fa)中心有限(xian)公司（ICRD）成(cheng)立于2002年，是國(guo)家支持組(zu)建(jian)(jian)、產學(xue)研(yan)(yan)合作(zuo)的集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)研(yan)(yan)發(fa)(fa)中心。ICRD由中國(guo)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)相關企業集(ji)團和高(gao)校(xiao)聯合投資組(zu)建(jian)(jian)而成(cheng)，是一(yi)個獨立的面向全行業集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)企業、大學(xue)及研(yan)(yan)究所開放的公共(gong)研(yan)(yan)發(fa)(fa)機構。

上海集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)(dian)路研發中心(xin)聚焦集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)(dian)路主流技術路線(xian)，致力(li)于解決重大共性技術的(de)研發及(ji)服務支撐問題，并為自主可(ke)控產(chan)業鏈建設提供(gong)(gong)公共的(de)裝備(bei)和(he)(he)(he)材料驗(yan)證平臺。ICRD的(de)主要功能包括：為集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)(dian)路企(qi)業和(he)(he)(he)研發單位(wei)提供(gong)(gong)前端(duan)器(qi)件(jian)及(ji)工藝技術的(de)前期(qi)研發和(he)(he)(he)產(chan)品級(ji)驗(yan)證；為集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)(dian)路裝備(bei)和(he)(he)(he)材料提供(gong)(gong)研制(zhi)到上線(xian)的(de)驗(yan)證和(he)(he)(he)工藝配(pei)套；為集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)(dian)路生產(chan)線(xian)升級(ji)提供(gong)(gong)知識產(chan)權和(he)(he)(he)技術轉移；為國內(nei)設計(ji)企(qi)業研制(zhi)芯片提供(gong)(gong)特色工藝和(he)(he)(he)共享IP核服務；為企(qi)業及(ji)高校(xiao)提供(gong)(gong)培養(yang)集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)(dian)路技術人(ren)才(cai)和(he)(he)(he)高技能人(ren)才(cai)的(de)實(shi)訓基地(di)。

上海(hai)集(ji)(ji)成電路研發(fa)(fa)中心(xin)位于上海(hai)市張江高科技(ji)園區，地理位置毗鄰(lin)華(hua)力微電子和(he)(he)中芯國際。ICRD建(jian)有12英寸開放式集(ji)(ji)成電路工(gong)藝(yi)研發(fa)(fa)和(he)(he)裝備材料試(shi)驗平臺(tai)，凈化面積(ji)超過3000平方米，研發(fa)(fa)環境及(ji)管理系統和(he)(he)大生產線匹(pi)配，可實現硅片(pian)無(wu)沾污進出和(he)(he)工(gong)藝(yi)流程無(wu)縫銜接，加快了技(ji)術研發(fa)(fa)和(he)(he)驗證速度。ICRD擁有浸沒(mei)式193nm光刻機(ji)、硅刻蝕機(ji)、原子層薄膜(mo)生長(chang)（ALD）、高能離(li)子注入機(ji)以(yi)及(ji)全套銅(tong)互連(lian)和(he)(he)Low-K等工(gong)藝(yi)設備，工(gong)藝(yi)研發(fa)(fa)能力可達14納米以(yi)下。

上海集成電(dian)路研(yan)發(fa)中心擁(yong)有一(yi)批(pi)來自(zi)國(guo)(guo)際(ji)研(yan)發(fa)機構(gou)和跨國(guo)(guo)公(gong)司的研(yan)究人員，并通過國(guo)(guo)內外產(chan)業(ye)合(he)作(zuo)持(chi)續(xu)培養(yang)和鍛(duan)煉(lian)了一(yi)支擁(yong)有自(zi)主(zhu)工藝技術(shu)提升(sheng)能力的研(yan)發(fa)隊伍，為中國(guo)(guo)集成電(dian)路產(chan)業(ye)的自(zi)主(zhu)可控持(chi)續(xu)發(fa)展(zhan)提供(gong)了中堅力量(liang)。ICRD掌握(wo)了多(duo)(duo)個技(ji)(ji)術(shu)代的(de)工(gong)藝(yi)技(ji)(ji)術(shu)和(he)(he)(he)知識(shi)產(chan)權，為中國(guo)集成電路生(sheng)產(chan)線的(de)建(jian)設提供了多(duo)(duo)套(tao)技(ji)(ji)術(shu)轉移(yi)和(he)(he)(he)服務(wu)；通(tong)過(guo)設立(li)產(chan)業界共(gong)性技(ji)(ji)術(shu)研(yan)(yan)發(fa)(fa)(fa)項目(mu)，進行FinFET器件(jian)及工(gong)藝(yi)、FDSOI關鍵工(gong)藝(yi)、5nm以下納米線晶體(ti)管(guan)等新器件(jian)和(he)(he)(he)工(gong)藝(yi)技(ji)(ji)術(shu)的(de)聯(lian)合研(yan)(yan)發(fa)(fa)(fa)；開(kai)展產(chan)學研(yan)(yan)合作，研(yan)(yan)發(fa)(fa)(fa)STT-MRAM、晶體(ti)管(guan)級3D堆(dui)疊、量子點(dian)傳感器、類神經元晶體(ti)管(guan)等前沿(yan)技(ji)(ji)術(shu)和(he)(he)(he)產(chan)品；通(tong)過(guo)以精(jing)湛(zhan)工(gong)藝(yi)帶動裝備和(he)(he)(he)材料研(yan)(yan)發(fa)(fa)(fa)評價的(de)方式(shi)，為國(guo)產(chan)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)機、刻(ke)(ke)蝕機、銅互連(lian)、光(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠、大硅(gui)片等裝備和(he)(he)(he)材料提供驗證(zheng)和(he)(he)(he)工(gong)藝(yi)配套(tao)，推動供應(ying)鏈的(de)國(guo)產(chan)化。