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沈陽芯(xin)源(yuan)微電子設備股份有限公司成立于2002年，是由中科院(yuan)沈陽自動化研究所發(fa)起創(chuang)建的國家高新技術企業，專業從事半(ban)導體(ti)生產(chan)設備的研發(fa)、生產(chan)、銷售與服務(wu)，致力于為客戶(hu)提供半(ban)導體(ti)裝(zhuang)備與工(gong)藝(yi)整體(ti)解決(jue)方(fang)案。

芯(xin)(xin)源公(gong)司(si)(si)(si)總(zong)部位于(yu)沈(shen)陽市(shi)渾南區，并在(zai)上海臨港設有全資子公(gong)司(si)(si)(si)。公(gong)司(si)(si)(si)總(zong)部占地(di)4萬平米，擁(yong)有專(zhuan)業的集(ji)(ji)成電路(lu)工(gong)藝(yi)(yi)開發和檢測(ce)實驗室以及(ji)半導(dao)體設備(bei)(bei)生(sheng)產組裝車間。芯(xin)(xin)源公(gong)司(si)(si)(si)通(tong)過多年技術(shu)(shu)積累、創新提高，形(xing)成自主知(zhi)識產權體系，已擁(yong)有授權專(zhuan)利(li)212項(xiang)，其中發明專(zhuan)利(li)159項(xiang)。沈(shen)陽芯(xin)(xin)源公(gong)司(si)(si)(si)作為國內知(zhi)名(ming)的高端半導(dao)體裝備(bei)(bei)制(zhi)造企業，所開發的涂膠(jiao)機(ji)、顯影機(ji)、噴(pen)膠(jiao)機(ji)、去膠(jiao)機(ji)、濕(shi)法(fa)刻蝕機(ji)、單片清洗機(ji)等(deng)產品(pin)，已形(xing)成完(wan)整的技術(shu)(shu)體系和豐富的產品(pin)系列，可(ke)根據用(yong)戶(hu)的工(gong)藝(yi)(yi)要求(qiu)量身定制(zhi)。產品(pin)適應(ying)不同工(gong)藝(yi)(yi)等(deng)級(ji)的客(ke)戶(hu)要求(qiu)，廣泛(fan)應(ying)用(yong)于(yu)半導(dao)體生(sheng)產、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等(deng)領域。可(ke)滿(man)足300mm前道制(zhi)程及(ji)300mm先進封裝厚(hou)膠(jiao)工(gong)藝(yi)(yi)制(zhi)程。芯(xin)(xin)源公(gong)司(si)(si)(si)連續承擔國家02科技重大專(zhuan)項(xiang)《極大規模集(ji)(ji)成電路(lu)制(zhi)造裝備(bei)(bei)及(ji)成套工(gong)藝(yi)(yi)》項(xiang)目。

2019年12月16日，芯源公(gong)司在上(shang)交(jiao)所(suo)科創板上(shang)市(shi)，借力(li)資本市(shi)場，芯源將加速(su)提升企(qi)業(ye)的(de)創新能力(li)和產(chan)(chan)品(pin)成套能力(li)，以先進(jin)(jin)可(ke)靠的(de)產(chan)(chan)品(pin)和優質服務贏得客戶(hu)信(xin)賴，為(wei)客戶(hu)提供(gong)先進(jin)(jin)的(de)半(ban)導體(ti)設備，助推(tui)產(chan)(chan)業(ye)技術進(jin)(jin)步。