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沈陽芯源微電子設(she)備(bei)股份有限公司成立(li)于(yu)2002年，是由中科院沈陽自動化研(yan)究所(suo)發(fa)起(qi)創建的國家(jia)高(gao)新(xin)技術(shu)企業，專業從(cong)事半導體(ti)生(sheng)產(chan)設(she)備(bei)的研(yan)發(fa)、生(sheng)產(chan)、銷售與服務，致力于(yu)為客戶提供半導體(ti)裝備(bei)與工藝整體(ti)解決方(fang)案。

芯源公司(si)(si)(si)總部(bu)位(wei)于(yu)沈(shen)(shen)陽(yang)市渾南區，并在上海(hai)臨港設有全資子(zi)公司(si)(si)(si)。公司(si)(si)(si)總部(bu)占(zhan)地4萬(wan)平米，擁(yong)有專業(ye)的集成電(dian)路工(gong)(gong)藝(yi)開發和(he)檢測實(shi)驗室以及(ji)半導體(ti)設備(bei)(bei)生產組(zu)裝(zhuang)(zhuang)車間。芯源公司(si)(si)(si)通(tong)過多(duo)年技術積(ji)累、創新(xin)提高(gao)，形成自主知識產權(quan)體(ti)系，已擁(yong)有授權(quan)專利212項(xiang)，其(qi)中(zhong)發明專利159項(xiang)。沈(shen)(shen)陽(yang)芯源公司(si)(si)(si)作為國內知名的高(gao)端半導體(ti)裝(zhuang)(zhuang)備(bei)(bei)制(zhi)造(zao)企業(ye)，所開發的涂膠機(ji)、顯影機(ji)、噴膠機(ji)、去膠機(ji)、濕法刻蝕機(ji)、單片清洗機(ji)等(deng)產品，已形成完整(zheng)的技術體(ti)系和(he)豐富(fu)的產品系列，可根據(ju)用戶的工(gong)(gong)藝(yi)要(yao)求量身定制(zhi)。產品適應(ying)(ying)不(bu)同工(gong)(gong)藝(yi)等(deng)級的客戶要(yao)求，廣泛應(ying)(ying)用于(yu)半導體(ti)生產、高(gao)端封(feng)裝(zhuang)(zhuang)、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等(deng)領域。可滿足300mm前道制(zhi)程及(ji)300mm先進封(feng)裝(zhuang)(zhuang)厚膠工(gong)(gong)藝(yi)制(zhi)程。芯源公司(si)(si)(si)連續承擔國家02科(ke)技重大專項(xiang)《極大規模集成電(dian)路制(zhi)造(zao)裝(zhuang)(zhuang)備(bei)(bei)及(ji)成套工(gong)(gong)藝(yi)》項(xiang)目。

2019年12月16日，芯(xin)源公司(si)在上交所科創板上市(shi)，借力資本市(shi)場，芯(xin)源將加速提升(sheng)企(qi)業的創新能力和產品成套能力，以先進(jin)可靠的產品和優質服務贏得客戶信(xin)賴，為客戶提供先進(jin)的半導體設備，助推產業技術進(jin)步。