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沈陽芯源(yuan)微電子設備(bei)股份(fen)有限公司成立(li)于(yu)2002年，是由中科院沈陽自動化(hua)研究所(suo)發起創建(jian)的國家高(gao)新(xin)技術企業(ye)，專(zhuan)業(ye)從事半導(dao)體(ti)生產設備(bei)的研發、生產、銷(xiao)售(shou)與(yu)服務，致力于(yu)為客戶提(ti)供半導(dao)體(ti)裝備(bei)與(yu)工藝整體(ti)解(jie)決方案。

芯源(yuan)公司總(zong)(zong)部(bu)位(wei)于沈(shen)陽市(shi)渾南區，并在上海(hai)臨港設有全資子公司。公司總(zong)(zong)部(bu)占地4萬平米，擁有專(zhuan)業的集成(cheng)電(dian)路工(gong)(gong)藝(yi)(yi)開發和檢測(ce)實驗室以及(ji)(ji)半導(dao)體(ti)設備(bei)生產(chan)組裝車間。芯源(yuan)公司通過多年技(ji)(ji)術(shu)積(ji)累、創(chuang)新(xin)提(ti)高(gao)，形成(cheng)自主知識產(chan)權(quan)體(ti)系(xi)，已擁有授權(quan)專(zhuan)利212項(xiang)，其中發明(ming)專(zhuan)利159項(xiang)。沈(shen)陽芯源(yuan)公司作為國內知名的高(gao)端(duan)半導(dao)體(ti)裝備(bei)制(zhi)造企業，所(suo)開發的涂膠(jiao)(jiao)機、顯影機、噴膠(jiao)(jiao)機、去膠(jiao)(jiao)機、濕法刻(ke)蝕(shi)機、單(dan)片清洗機等(deng)(deng)產(chan)品(pin)，已形成(cheng)完整的技(ji)(ji)術(shu)體(ti)系(xi)和豐(feng)富的產(chan)品(pin)系(xi)列，可(ke)根據(ju)用戶的工(gong)(gong)藝(yi)(yi)要求量身定制(zhi)。產(chan)品(pin)適應不同工(gong)(gong)藝(yi)(yi)等(deng)(deng)級的客戶要求，廣泛應用于半導(dao)體(ti)生產(chan)、高(gao)端(duan)封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等(deng)(deng)領(ling)域。可(ke)滿足300mm前道制(zhi)程及(ji)(ji)300mm先進封裝厚膠(jiao)(jiao)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)制(zhi)程。芯源(yuan)公司連續承擔國家(jia)02科(ke)技(ji)(ji)重(zhong)大專(zhuan)項(xiang)《極大規模集成(cheng)電(dian)路制(zhi)造裝備(bei)及(ji)(ji)成(cheng)套工(gong)(gong)藝(yi)(yi)》項(xiang)目。

2019年12月16日，芯源公司在上交(jiao)所科創(chuang)板上市，借(jie)力資本(ben)市場，芯源將加速提升企業的(de)(de)(de)創(chuang)新能力和(he)(he)產(chan)(chan)品成套能力，以先(xian)進可靠的(de)(de)(de)產(chan)(chan)品和(he)(he)優質服(fu)務贏得客(ke)戶(hu)信賴，為客(ke)戶(hu)提供先(xian)進的(de)(de)(de)半導(dao)體設備，助推產(chan)(chan)業技術(shu)進步(bu)。