沈(shen)陽芯源微電(dian)子設備(bei)股(gu)份有限公司成立于(yu)2002年,是由中科(ke)院沈(shen)陽自動化研究所發(fa)起創建的(de)國家高新技(ji)術企業(ye),專業(ye)從(cong)事半導(dao)體生(sheng)產(chan)設備(bei)的(de)研發(fa)、生(sheng)產(chan)、銷售(shou)與服務(wu),致力于(yu)為客戶(hu)提供半導(dao)體裝備(bei)與工藝(yi)整體解決方案。
芯源(yuan)公司(si)(si)總部位于(yu)沈(shen)陽市(shi)渾南(nan)區,并在(zai)上(shang)海臨港(gang)設有全資(zi)子公司(si)(si)。公司(si)(si)總部占地4萬平(ping)米,擁有專(zhuan)業(ye)的(de)集成(cheng)(cheng)(cheng)電路工(gong)藝開發和(he)檢(jian)測實(shi)驗室以及半導(dao)體(ti)設備(bei)生產(chan)組裝(zhuang)車間。芯源(yuan)公司(si)(si)通過多(duo)年技(ji)術(shu)積累、創新提高(gao)(gao)(gao),形成(cheng)(cheng)(cheng)自主知(zhi)識產(chan)權體(ti)系(xi),已擁有授權專(zhuan)利212項,其中發明專(zhuan)利159項。沈(shen)陽芯源(yuan)公司(si)(si)作(zuo)為(wei)國內知(zhi)名的(de)高(gao)(gao)(gao)端半導(dao)體(ti)裝(zhuang)備(bei)制(zhi)造(zao)企業(ye),所開發的(de)涂(tu)膠機(ji)、顯(xian)影機(ji)、噴(pen)膠機(ji)、去膠機(ji)、濕法刻(ke)蝕機(ji)、單片清洗機(ji)等產(chan)品(pin)(pin),已形成(cheng)(cheng)(cheng)完整的(de)技(ji)術(shu)體(ti)系(xi)和(he)豐富的(de)產(chan)品(pin)(pin)系(xi)列,可根據用戶的(de)工(gong)藝要(yao)(yao)求量(liang)身定制(zhi)。產(chan)品(pin)(pin)適(shi)應不(bu)同(tong)工(gong)藝等級的(de)客戶要(yao)(yao)求,廣泛(fan)應用于(yu)半導(dao)體(ti)生產(chan)、高(gao)(gao)(gao)端封裝(zhuang)、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領域。可滿足300mm前道制(zhi)程及300mm先進封裝(zhuang)厚膠工(gong)藝制(zhi)程。芯源(yuan)公司(si)(si)連續承擔國家(jia)02科技(ji)重(zhong)大專(zhuan)項《極大規模集成(cheng)(cheng)(cheng)電路制(zhi)造(zao)裝(zhuang)備(bei)及成(cheng)(cheng)(cheng)套工(gong)藝》項目。
2019年12月16日(ri),芯(xin)源(yuan)公司在上(shang)交所科創板上(shang)市,借力資本市場,芯(xin)源(yuan)將加速提(ti)升企業的創新能力和產(chan)品(pin)成套能力,以(yi)先(xian)進(jin)可靠的產(chan)品(pin)和優質服務贏得(de)客(ke)(ke)戶信賴,為客(ke)(ke)戶提(ti)供先(xian)進(jin)的半導體設備,助推產(chan)業技術進(jin)步(bu)。