成立于2002年,致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發/設計/制造/銷售/技術服務,主要生產光刻機、激光封裝設備、光配向設備等,廣泛用于集成電路、先進封裝、FPD面板等制造領域
上海微電子裝備(集(ji)團)股份(fen)有限(xian)公(gong)司(簡稱SMEE)主(zhu)要致(zhi)力于半(ban)導體裝備、泛半(ban)導體裝備、高端智能裝備的(de)開(kai)發、設計、制(zhi)造(zao)、銷售及技術服務。公司設備廣泛應用(yong)于集成電路前道、先進封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制(zhi)造(zao)領域。
SMEE致力于以極(ji)致服(fu)務,造高端產品,創卓越價值,全天候、多(duo)方位、全身(shen)心地(di)為顧客提供優質產品和技術服(fu)務。
SMEE已通過ISO27001信息(xi)安全、ISO9001質量管理和ISO14001環(huan)境管理等體系的(de)國際認證(zheng),力(li)求為客戶(hu)提(ti)供持續、穩定、高品質的(de)產品和服務,并履行一個優秀的(de)高科(ke)技企(qi)業的(de)社會(hui)責任(ren)。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL201310747393.8 | 一種調焦調平裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201410857409.5 | 一種硅片邊緣保護裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201110241791.3 | 一種步進光刻設備及光刻曝光方法 | 第二十一屆中國專利優秀獎(2019年) |
標準號 | 標準名稱 | 發布日期 | 實施日期 | 標準詳情 |
GB/T 40577-2021 | 集成電路制造設備術語 | 2022-10-11 | 2023-05-01 |