成立于2002年,致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發/設計/制造/銷售/技術服務,主要生產光刻機、激光封裝設備、光配向設備等,廣泛用于集成電路、先進封裝、FPD面板等制造領域
上海(hai)微電子(zi)裝備(bei)(集團)股(gu)份(fen)有限公(gong)司(簡稱SMEE)主要致力(li)于(yu)半(ban)導體裝備、泛半(ban)導體裝備、高端智能裝備的開發(fa)、設(she)計(ji)、制造、銷售及(ji)技術服(fu)務。公(gong)司設(she)備廣泛應用于(yu)集(ji)成電路前道(dao)、先進封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領域(yu)。
SMEE致(zhi)力于以極致(zhi)服務,造高端產品,創卓越價值(zhi),全天候、多方位、全身心地為顧(gu)客提供優質產品和技術(shu)服務。
SMEE已(yi)通過ISO27001信息安全、ISO9001質量管理和(he)ISO14001環境管理等體系的國際認證,力求為(wei)客戶提供持續、穩定、高(gao)品質的產品和(he)服務,并履行一個優秀(xiu)的高(gao)科技企業的社會責任。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL201310747393.8 | 一種調焦調平裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201410857409.5 | 一種硅片邊緣保護裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201110241791.3 | 一種步進光刻設備及光刻曝光方法 | 第二十一屆中國專利優秀獎(2019年) |
標準號 | 標準名稱 | 發布日期 | 實施日期 | 標準詳情 |
GB/T 40577-2021 | 集成電路制造設備術語 | 2022-10-11 | 2023-05-01 |