成立于2002年,致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發/設計/制造/銷售/技術服務,主要生產光刻機、激光封裝設備、光配向設備等,廣泛用于集成電路、先進封裝、FPD面板等制造領域
上(shang)海(hai)微電子(zi)裝備(集團)股份有限(xian)公(gong)司(簡(jian)稱SMEE)主要致力于(yu)半導體(ti)裝(zhuang)備、泛(fan)半導體(ti)裝(zhuang)備、高端智能裝(zhuang)備的開發(fa)、設計、制造(zao)、銷售及技術(shu)服務(wu)。公司設備廣(guang)泛(fan)應用于(yu)集成電路前道、先進封裝(zhuang)、FPD面板(ban)、MEMS、LED、Power Devices等制造(zao)領域。
SMEE致力于以極(ji)致服務,造高(gao)端產品,創(chuang)卓越價(jia)值,全(quan)天候、多方位、全(quan)身心地為顧客提(ti)供優質產品和技術服務。
SMEE已通過ISO27001信息(xi)安全、ISO9001質量管理和ISO14001環境管理等(deng)體系的(de)(de)國(guo)際認證,力求為客戶(hu)提(ti)供持(chi)續、穩定、高品質的(de)(de)產品和服務,并履行一(yi)個優(you)秀的(de)(de)高科技(ji)企業(ye)的(de)(de)社會責任(ren)。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL201310747393.8 | 一種調焦調平裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201410857409.5 | 一種硅片邊緣保護裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201110241791.3 | 一種步進光刻設備及光刻曝光方法 | 第二十一屆中國專利優秀獎(2019年) |
標準號 | 標準名稱 | 發布日期 | 實施日期 | 標準詳情 |
GB/T 40577-2021 | 集成電路制造設備術語 | 2022-10-11 | 2023-05-01 |