成立于2002年,致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發/設計/制造/銷售/技術服務,主要生產光刻機、激光封裝設備、光配向設備等,廣泛用于集成電路、先進封裝、FPD面板等制造領域
上海微電子裝備(集團)股(gu)份有限公司(簡稱SMEE)主要致力于半(ban)導(dao)體(ti)裝備(bei)、泛半(ban)導(dao)體(ti)裝備(bei)、高端智能裝備(bei)的開發(fa)、設(she)計、制造、銷售(shou)及技術服務。公司設(she)備(bei)廣泛應用于集成電(dian)路前道、先進封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領(ling)域(yu)。
SMEE致力于(yu)以極致服(fu)務,造高端產品,創卓越(yue)價值,全(quan)天候、多(duo)方(fang)位、全(quan)身心(xin)地為顧客提供優質產品和(he)技術服(fu)務。
SMEE已通(tong)過ISO27001信息安全、ISO9001質量管理(li)和ISO14001環境(jing)管理(li)等體系的(de)(de)國際認證,力(li)求(qiu)為客(ke)戶提供持續、穩定、高品(pin)質的(de)(de)產品(pin)和服務(wu),并履行一個優秀的(de)(de)高科技(ji)企業的(de)(de)社會責任。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL201310747393.8 | 一種調焦調平裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201410857409.5 | 一種硅片邊緣保護裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201110241791.3 | 一種步進光刻設備及光刻曝光方法 | 第二十一屆中國專利優秀獎(2019年) |
標準號 | 標準名稱 | 發布日期 | 實施日期 | 標準詳情 |
GB/T 40577-2021 | 集成電路制造設備術語 | 2022-10-11 | 2023-05-01 |