SSI在科學家團隊的帶領下,以科學精神為指引,確定了PVD工作站+超高真空互聯+表征儀器等高端真空儀器設備為未來的產品方向及精品戰略。經過數年持續不斷的努力,SSI研(yan)制出(chu)具有自主知(zhi)識產權的以MBE(分子(zi)束外延)、UHV-Sputter(超高(gao)真(zhen)空(kong)磁控濺射)、PLD(激光脈沖沉積)、EBE(電子(zi)束蒸發)、TES(熱蒸發)等為代表(biao)的薄(bo)膜設備,以及AES(俄(e)歇)等表(biao)征(zheng)儀器,并通過UHV LTS(超高(gao)真(zhen)空(kong)互聯系統)將上述(shu)PVD工作(zuo)站與表(biao)征(zheng)儀器工作(zuo)站互聯起(qi)來實現原位分析。這(zhe)些裝備已經大量被中國(guo)科(ke)學(xue)院下(xia)屬諸多研(yan)究所、清華大學(xue)、北京(jing)大學(xue)、南(nan)京(jing)大學(xue)、上海(hai)科(ke)技(ji)(ji)大學(xue)、南(nan)方(fang)科(ke)技(ji)(ji)大學(xue)等高(gao)校實驗(yan)室采(cai)購(gou)使(shi)用(yong),廣(guang)泛應(ying)用(yong)于中國(guo)的基礎科(ke)研(yan)。掌握多項核心技(ji)(ji)術,擁(yong)有數項專利專著。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
CN201310298636.4 | 一種用于絕熱氣瓶漏率檢測的檢漏裝置和檢漏方法 | 詳情 |