SSI在科學家團隊的帶領下,以科學精神為指引,確定了PVD工作站+超高真空互聯+表征儀器等高端真空儀器設備為未來的產品方向及精品戰略。經過數年持續不斷的努力,SSI研制出具有(you)自主知(zhi)識產(chan)權的(de)以MBE(分(fen)子束外延)、UHV-Sputter(超(chao)高(gao)真(zhen)空(kong)磁控濺(jian)射)、PLD(激光脈沖(chong)沉(chen)積(ji))、EBE(電(dian)子束蒸(zheng)發)、TES(熱蒸(zheng)發)等為代(dai)表的(de)薄膜設備(bei),以及AES(俄(e)歇)等表征儀器(qi),并通(tong)過(guo)UHV LTS(超(chao)高(gao)真(zhen)空(kong)互聯系統)將(jiang)上(shang)述PVD工(gong)作站與表征儀器(qi)工(gong)作站互聯起(qi)來實現原位分(fen)析。這些裝備(bei)已(yi)經大量被(bei)中國科(ke)學(xue)院下屬諸多(duo)研究所(suo)、清(qing)華大學(xue)、北京大學(xue)、南(nan)京大學(xue)、上(shang)海科(ke)技(ji)大學(xue)、南(nan)方(fang)科(ke)技(ji)大學(xue)等高(gao)校實驗室(shi)采購(gou)使用,廣泛應用于中國的(de)基礎科(ke)研。掌握(wo)多(duo)項(xiang)(xiang)核心技(ji)術,擁有(you)數(shu)項(xiang)(xiang)專利(li)專著。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
CN201310298636.4 | 一種用于絕熱氣瓶漏率檢測的檢漏裝置和檢漏方法 | 詳情 |