SSI在科學家團隊的帶領下,以科學精神為指引,確定了PVD工作站+超高真空互聯+表征儀器等高端真空儀器設備為未來的產品方向及精品戰略。經過數年持續不斷的努力,SSI研制出具有自主(zhu)知識產權(quan)的(de)以MBE(分子束外延(yan))、UHV-Sputter(超高真(zhen)空(kong)磁(ci)控濺射)、PLD(激光(guang)脈(mo)沖沉積(ji))、EBE(電子束蒸發(fa))、TES(熱蒸發(fa))等(deng)(deng)為代表(biao)的(de)薄膜設備,以及AES(俄歇(xie))等(deng)(deng)表(biao)征(zheng)儀器(qi),并通(tong)過UHV LTS(超高真(zhen)空(kong)互聯(lian)(lian)系統)將上(shang)述(shu)PVD工作(zuo)站與表(biao)征(zheng)儀器(qi)工作(zuo)站互聯(lian)(lian)起來實現原位(wei)分析(xi)。這(zhe)些(xie)裝備已經大(da)(da)量(liang)被中國(guo)(guo)科(ke)學(xue)(xue)院下屬諸多(duo)研究所(suo)、清華大(da)(da)學(xue)(xue)、北京大(da)(da)學(xue)(xue)、南(nan)京大(da)(da)學(xue)(xue)、上(shang)海科(ke)技(ji)大(da)(da)學(xue)(xue)、南(nan)方科(ke)技(ji)大(da)(da)學(xue)(xue)等(deng)(deng)高校(xiao)實驗室采購使用(yong),廣泛應用(yong)于中國(guo)(guo)的(de)基礎(chu)科(ke)研。掌(zhang)握多(duo)項(xiang)(xiang)核心技(ji)術(shu),擁有數項(xiang)(xiang)專利專著。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
CN201310298636.4 | 一種用于絕熱氣瓶漏率檢測的檢漏裝置和檢漏方法 | 詳情 |