SSI在科學家團隊的帶領下,以科學精神為指引,確定了PVD工作站+超高真空互聯+表征儀器等高端真空儀器設備為未來的產品方向及精品戰略。經過數年持續不斷的努力,SSI研制出具有(you)自主知識產權(quan)的以MBE(分子(zi)束(shu)外延(yan))、UHV-Sputter(超(chao)高(gao)真(zhen)空磁控濺射(she))、PLD(激光脈沖沉積)、EBE(電子(zi)束(shu)蒸發)、TES(熱蒸發)等(deng)為代(dai)表的薄(bo)膜設備,以及AES(俄歇(xie))等(deng)表征(zheng)儀(yi)器,并通(tong)過(guo)UHV LTS(超(chao)高(gao)真(zhen)空互(hu)聯(lian)系(xi)統)將上述PVD工(gong)作站(zhan)與表征(zheng)儀(yi)器工(gong)作站(zhan)互(hu)聯(lian)起來實現原(yuan)位(wei)分析。這些裝(zhuang)備已經大(da)(da)量被中(zhong)國(guo)科學院下(xia)屬(shu)諸多研究所、清華大(da)(da)學、北京大(da)(da)學、南京大(da)(da)學、上海科技(ji)大(da)(da)學、南方科技(ji)大(da)(da)學等(deng)高(gao)校實驗室采購使用,廣(guang)泛應用于中(zhong)國(guo)的基(ji)礎(chu)科研。掌握多項核心技(ji)術,擁有(you)數項專利(li)專著。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
CN201310298636.4 | 一種用于絕熱氣瓶漏率檢測的檢漏裝置和檢漏方法 | 詳情 |