中(zhong)(zhong)國(guo)(guo)(guo)科(ke)學(xue)院沈陽(yang)(yang)(yang)科(ke)學(xue)儀(yi)(yi)(yi)器(qi)(qi)股份有(you)限公司(si)(以下簡稱 “公司(si)”)創建于(yu)1958年,前身為中(zhong)(zhong)國(guo)(guo)(guo)科(ke)學(xue)院沈陽(yang)(yang)(yang)科(ke)學(xue)儀(yi)(yi)(yi)器(qi)(qi)研制(zhi)中(zhong)(zhong)心。園區(qu)位于(yu)遼寧省沈陽(yang)(yang)(yang)市(shi)渾南區(qu),占(zhan)地面積110畝,建筑(zhu)面積3.5萬平方(fang)米。多年來,公司(si)專(zhuan)注(zhu)于(yu)高(gao)(gao)真(zhen)(zhen)空(kong)、超高(gao)(gao)真(zhen)(zhen)空(kong)、超潔(jie)凈(jing)真(zhen)(zhen)空(kong)技(ji)(ji)術(shu)的研究和發展,是我國(guo)(guo)(guo)集(ji)成電路裝(zhuang)備和真(zhen)(zhen)空(kong)儀(yi)(yi)(yi)器(qi)(qi)設(she)備的研制(zhi)、生產基(ji)地,先后組建“國(guo)(guo)(guo)家(jia)分子束外延技(ji)(ji)術(shu)試驗(yan)基(ji)地”、“國(guo)(guo)(guo)家(jia)真(zhen)(zhen)空(kong)儀(yi)(yi)(yi)器(qi)(qi)裝(zhuang)置工程(cheng)(cheng)技(ji)(ji)術(shu)研究中(zhong)(zhong)心”和“真(zhen)(zhen)空(kong)技(ji)(ji)術(shu)裝(zhuang)備國(guo)(guo)(guo)家(jia)工程(cheng)(cheng)實驗(yan)室”等科(ke)研平臺。
公(gong)司(si)主(zhu)要從事(shi)干(gan)式真空(kong)泵(beng)、真空(kong)儀(yi)(yi)器設備(bei)(bei)的研發、生(sheng)產(chan)和銷售,并提供相關技(ji)術(shu)(shu)服(fu)務。公(gong)司(si)產(chan)品主(zhu)要包(bao)括(kuo)系列羅茨(ci)干(gan)泵(beng)、系列渦旋干(gan)泵(beng)、大(da)(da)科學(xue)裝(zhuang)(zhuang)置、真空(kong)薄(bo)膜儀(yi)(yi)器設備(bei)(bei)和新材料制備(bei)(bei)設備(bei)(bei)等(deng)(deng)(deng)。公(gong)司(si)承(cheng)擔了國家(jia)(jia)“極大(da)(da)規(gui)模集成電路(lu)制造(zao)裝(zhuang)(zhuang)備(bei)(bei)及(ji)成套工藝”(“02專(zhuan)項(xiang)(xiang)”)、“高檔數控機床與基(ji)礎制造(zao)裝(zhuang)(zhuang)備(bei)(bei)”(“04”專(zhuan)項(xiang)(xiang))、“國家(jia)(jia)重點(dian)研發計劃”等(deng)(deng)(deng)科技(ji)專(zhuan)項(xiang)(xiang),并通過自主(zhu)研發創(chuang)新實現了國產(chan)干(gan)式真空(kong)泵(beng)在集成電路(lu)領域(yu)的批量(liang)應用(yong),打破了歐美及(ji)日本企(qi)(qi)業(ye)對同(tong)類產(chan)品的長期壟斷,實現了關鍵裝(zhuang)(zhuang)備(bei)(bei)的進(jin)口替代(dai)。先后獲(huo)得國家(jia)(jia)科技(ji)進(jin)步獎六(liu)項(xiang)(xiang),中(zhong)國科學(xue)院及(ji)省(sheng)部級科技(ji)進(jin)步獎二十項(xiang)(xiang),擁有專(zhuan)利七十一項(xiang)(xiang),被(bei)認定(ding)為國家(jia)(jia)高新技(ji)術(shu)(shu)企(qi)(qi)業(ye)、國家(jia)(jia)知識產(chan)權優勢企(qi)(qi)業(ye)、遼(liao)寧省(sheng)技(ji)術(shu)(shu)創(chuang)新示范企(qi)(qi)業(ye)、遼(liao)寧省(sheng)創(chuang)新型中(zhong)小(xiao)企(qi)(qi)業(ye)、遼(liao)寧省(sheng)省(sheng)級企(qi)(qi)業(ye)技(ji)術(shu)(shu)中(zhong)心、沈陽市科技(ji)領航(hang)型企(qi)(qi)業(ye)、沈陽市科技(ji)小(xiao)巨人企(qi)(qi)業(ye)等(deng)(deng)(deng)。
公(gong)司(si)(si)設立(li)有2個全資子(zi)公(gong)司(si)(si)——上海上凱儀(yi)真空技術有限公(gong)司(si)(si)、中科儀(yi)(南通(tong))半導(dao)體(ti)設備有限責任公(gong)司(si)(si);1個分(fen)公(gong)司(si)(si)——中國科學院沈(shen)陽科學儀(yi)器(qi)股份有限公(gong)司(si)(si)上海分(fen)公(gong)司(si)(si)。