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中國(guo)(guo)(guo)科學(xue)(xue)(xue)院沈陽科學(xue)(xue)(xue)儀(yi)(yi)器(qi)股(gu)份有限(xian)公司（以下簡稱 “公司”）創建(jian)于(yu)(yu)1958年，前身為中國(guo)(guo)(guo)科學(xue)(xue)(xue)院沈陽科學(xue)(xue)(xue)儀(yi)(yi)器(qi)研制(zhi)(zhi)中心。園(yuan)區位于(yu)(yu)遼寧省沈陽市(shi)渾南區，占(zhan)地(di)(di)面積110畝(mu)，建(jian)筑面積3.5萬平方米。多年來，公司專注于(yu)(yu)高(gao)真(zhen)空(kong)(kong)、超高(gao)真(zhen)空(kong)(kong)、超潔凈真(zhen)空(kong)(kong)技術(shu)的研究和(he)發展(zhan)，是我國(guo)(guo)(guo)集成電(dian)路(lu)裝(zhuang)備(bei)(bei)和(he)真(zhen)空(kong)(kong)儀(yi)(yi)器(qi)設(she)備(bei)(bei)的研制(zhi)(zhi)、生產(chan)基地(di)(di)，先后組建(jian)“國(guo)(guo)(guo)家(jia)(jia)分子束(shu)外延技術(shu)試驗基地(di)(di)”、“國(guo)(guo)(guo)家(jia)(jia)真(zhen)空(kong)(kong)儀(yi)(yi)器(qi)裝(zhuang)置工程技術(shu)研究中心”和(he)“真(zhen)空(kong)(kong)技術(shu)裝(zhuang)備(bei)(bei)國(guo)(guo)(guo)家(jia)(jia)工程實驗室”等科研平臺。

公(gong)司(si)主(zhu)要從(cong)事干(gan)式真空(kong)泵(beng)、真空(kong)儀(yi)器(qi)設(she)備的(de)研發、生產和銷售，并(bing)(bing)提供相關(guan)技(ji)術服務(wu)。公(gong)司(si)產品主(zhu)要包括系列羅茨干(gan)泵(beng)、系列渦旋干(gan)泵(beng)、大科(ke)(ke)(ke)學裝(zhuang)(zhuang)置、真空(kong)薄(bo)膜儀(yi)器(qi)設(she)備和新(xin)(xin)材料(liao)制(zhi)備設(she)備等。公(gong)司(si)承擔了國(guo)(guo)家“極大規模集成(cheng)電路制(zhi)造裝(zhuang)(zhuang)備及成(cheng)套(tao)工(gong)藝”（“02專(zhuan)項”）、“高檔數控機床與基礎(chu)制(zhi)造裝(zhuang)(zhuang)備”（“04”專(zhuan)項）、“國(guo)(guo)家重點研發計劃”等科(ke)(ke)(ke)技(ji)專(zhuan)項，并(bing)(bing)通(tong)過(guo)自主(zhu)研發創(chuang)(chuang)新(xin)(xin)實現(xian)(xian)了國(guo)(guo)產干(gan)式真空(kong)泵(beng)在集成(cheng)電路領(ling)域的(de)批量應用，打破了歐美及日本企(qi)業(ye)(ye)對同類產品的(de)長(chang)期壟(long)斷，實現(xian)(xian)了關(guan)鍵裝(zhuang)(zhuang)備的(de)進(jin)口(kou)替代。先后獲(huo)得國(guo)(guo)家科(ke)(ke)(ke)技(ji)進(jin)步(bu)(bu)獎(jiang)六項，中(zhong)國(guo)(guo)科(ke)(ke)(ke)學院及省(sheng)部級科(ke)(ke)(ke)技(ji)進(jin)步(bu)(bu)獎(jiang)二十項，擁有(you)專(zhuan)利七十一項，被認(ren)定為國(guo)(guo)家高新(xin)(xin)技(ji)術企(qi)業(ye)(ye)、國(guo)(guo)家知識產權優勢企(qi)業(ye)(ye)、遼(liao)寧省(sheng)技(ji)術創(chuang)(chuang)新(xin)(xin)示(shi)范(fan)企(qi)業(ye)(ye)、遼(liao)寧省(sheng)創(chuang)(chuang)新(xin)(xin)型(xing)中(zhong)小(xiao)企(qi)業(ye)(ye)、遼(liao)寧省(sheng)省(sheng)級企(qi)業(ye)(ye)技(ji)術中(zhong)心、沈(shen)陽市科(ke)(ke)(ke)技(ji)領(ling)航型(xing)企(qi)業(ye)(ye)、沈(shen)陽市科(ke)(ke)(ke)技(ji)小(xiao)巨人企(qi)業(ye)(ye)等。

公(gong)(gong)司設立有2個(ge)(ge)全資(zi)子公(gong)(gong)司——上海上凱儀真空(kong)技術(shu)有限公(gong)(gong)司、中科儀（南通）半導體設備有限責任公(gong)(gong)司；1個(ge)(ge)分公(gong)(gong)司——中國(guo)科學院(yuan)沈陽科學儀器股份(fen)有限公(gong)(gong)司上海分公(gong)(gong)司。