中(zhong)國(guo)科(ke)學(xue)院(yuan)沈陽科(ke)學(xue)儀器(qi)股份有限公(gong)司(以下簡稱 “公(gong)司”)創建(jian)于1958年,前身為中(zhong)國(guo)科(ke)學(xue)院(yuan)沈陽科(ke)學(xue)儀器(qi)研(yan)制中(zhong)心。園區位(wei)于遼寧省沈陽市(shi)渾南區,占(zhan)地(di)面(mian)積110畝(mu),建(jian)筑(zhu)面(mian)積3.5萬平方米(mi)。多(duo)年來,公(gong)司專注于高(gao)真空(kong)、超高(gao)真空(kong)、超潔凈(jing)真空(kong)技(ji)(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)的研(yan)究(jiu)和(he)發展(zhan),是我國(guo)集成電路裝備(bei)和(he)真空(kong)儀器(qi)設備(bei)的研(yan)制、生產(chan)基(ji)地(di),先(xian)后組建(jian)“國(guo)家(jia)(jia)分子束外延技(ji)(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)試驗(yan)基(ji)地(di)”、“國(guo)家(jia)(jia)真空(kong)儀器(qi)裝置工(gong)程技(ji)(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)研(yan)究(jiu)中(zhong)心”和(he)“真空(kong)技(ji)(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)裝備(bei)國(guo)家(jia)(jia)工(gong)程實驗(yan)室”等科(ke)研(yan)平臺(tai)。
公司主(zhu)要從事干(gan)式真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)、真(zhen)空(kong)(kong)儀(yi)器設(she)備(bei)的研(yan)發、生產(chan)和銷售,并(bing)提供相關(guan)技(ji)(ji)(ji)(ji)術(shu)服務(wu)。公司產(chan)品(pin)主(zhu)要包(bao)括系列(lie)羅茨干(gan)泵(beng)、系列(lie)渦(wo)旋干(gan)泵(beng)、大(da)科(ke)(ke)學裝置、真(zhen)空(kong)(kong)薄膜儀(yi)器設(she)備(bei)和新(xin)材料制(zhi)備(bei)設(she)備(bei)等(deng)。公司承(cheng)擔了(le)國(guo)家(jia)(jia)“極大(da)規模(mo)集(ji)成(cheng)電路制(zhi)造裝備(bei)及成(cheng)套工藝(yi)”(“02專項(xiang)(xiang)(xiang)”)、“高(gao)檔(dang)數控機床與(yu)基礎制(zhi)造裝備(bei)”(“04”專項(xiang)(xiang)(xiang))、“國(guo)家(jia)(jia)重點研(yan)發計(ji)劃”等(deng)科(ke)(ke)技(ji)(ji)(ji)(ji)專項(xiang)(xiang)(xiang),并(bing)通過自主(zhu)研(yan)發創新(xin)實現了(le)國(guo)產(chan)干(gan)式真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)在集(ji)成(cheng)電路領域的批量應用(yong),打破了(le)歐(ou)美及日本企(qi)(qi)(qi)業(ye)(ye)(ye)對同(tong)類產(chan)品(pin)的長(chang)期(qi)壟斷,實現了(le)關(guan)鍵裝備(bei)的進口(kou)替代。先(xian)后獲得國(guo)家(jia)(jia)科(ke)(ke)技(ji)(ji)(ji)(ji)進步獎六項(xiang)(xiang)(xiang),中(zhong)國(guo)科(ke)(ke)學院及省(sheng)(sheng)部級(ji)科(ke)(ke)技(ji)(ji)(ji)(ji)進步獎二十項(xiang)(xiang)(xiang),擁有(you)專利(li)七十一項(xiang)(xiang)(xiang),被認定為國(guo)家(jia)(jia)高(gao)新(xin)技(ji)(ji)(ji)(ji)術(shu)企(qi)(qi)(qi)業(ye)(ye)(ye)、國(guo)家(jia)(jia)知識產(chan)權優勢企(qi)(qi)(qi)業(ye)(ye)(ye)、遼(liao)寧省(sheng)(sheng)技(ji)(ji)(ji)(ji)術(shu)創新(xin)示范企(qi)(qi)(qi)業(ye)(ye)(ye)、遼(liao)寧省(sheng)(sheng)創新(xin)型(xing)中(zhong)小企(qi)(qi)(qi)業(ye)(ye)(ye)、遼(liao)寧省(sheng)(sheng)省(sheng)(sheng)級(ji)企(qi)(qi)(qi)業(ye)(ye)(ye)技(ji)(ji)(ji)(ji)術(shu)中(zhong)心、沈陽市(shi)科(ke)(ke)技(ji)(ji)(ji)(ji)領航型(xing)企(qi)(qi)(qi)業(ye)(ye)(ye)、沈陽市(shi)科(ke)(ke)技(ji)(ji)(ji)(ji)小巨人企(qi)(qi)(qi)業(ye)(ye)(ye)等(deng)。
公(gong)司設立有(you)2個(ge)全(quan)資(zi)子公(gong)司——上(shang)海(hai)上(shang)凱儀(yi)真(zhen)空技術有(you)限(xian)(xian)(xian)公(gong)司、中科儀(yi)(南通)半導體設備有(you)限(xian)(xian)(xian)責任(ren)公(gong)司;1個(ge)分公(gong)司——中國科學院沈陽科學儀(yi)器股(gu)份有(you)限(xian)(xian)(xian)公(gong)司上(shang)海(hai)分公(gong)司。