中國(guo)(guo)科學(xue)院沈(shen)陽(yang)科學(xue)儀(yi)器(qi)(qi)股份有限(xian)公司(si)(si)(以(yi)下簡稱 “公司(si)(si)”)創(chuang)建于1958年(nian),前身為(wei)中國(guo)(guo)科學(xue)院沈(shen)陽(yang)科學(xue)儀(yi)器(qi)(qi)研制(zhi)中心。園(yuan)區位于遼寧省沈(shen)陽(yang)市渾南區,占地面積(ji)110畝,建筑面積(ji)3.5萬平(ping)方米。多年(nian)來,公司(si)(si)專(zhuan)注(zhu)于高真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)、超高真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)、超潔(jie)凈真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)技(ji)術的研究和(he)發展,是我國(guo)(guo)集成電路裝(zhuang)(zhuang)備(bei)和(he)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)儀(yi)器(qi)(qi)設備(bei)的研制(zhi)、生(sheng)產基(ji)地,先(xian)后組建“國(guo)(guo)家分子束外延技(ji)術試驗(yan)基(ji)地”、“國(guo)(guo)家真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)儀(yi)器(qi)(qi)裝(zhuang)(zhuang)置工程(cheng)技(ji)術研究中心”和(he)“真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)技(ji)術裝(zhuang)(zhuang)備(bei)國(guo)(guo)家工程(cheng)實驗(yan)室”等科研平(ping)臺。
公(gong)司主(zhu)要從事干(gan)式真(zhen)空泵(beng)、真(zhen)空儀(yi)器設(she)備的研(yan)發、生產(chan)(chan)和銷售(shou),并(bing)提供相關技(ji)(ji)(ji)術服(fu)務。公(gong)司產(chan)(chan)品(pin)主(zhu)要包括系(xi)列(lie)(lie)羅(luo)茨干(gan)泵(beng)、系(xi)列(lie)(lie)渦旋干(gan)泵(beng)、大科(ke)學(xue)裝(zhuang)(zhuang)置、真(zhen)空薄膜儀(yi)器設(she)備和新(xin)(xin)材料制備設(she)備等。公(gong)司承擔了國(guo)(guo)家“極大規模集成電路制造裝(zhuang)(zhuang)備及成套(tao)工藝”(“02專(zhuan)(zhuan)項(xiang)”)、“高(gao)檔數控機床與基(ji)礎制造裝(zhuang)(zhuang)備”(“04”專(zhuan)(zhuan)項(xiang))、“國(guo)(guo)家重(zhong)點研(yan)發計(ji)劃”等科(ke)技(ji)(ji)(ji)專(zhuan)(zhuan)項(xiang),并(bing)通過自主(zhu)研(yan)發創(chuang)新(xin)(xin)實(shi)現了國(guo)(guo)產(chan)(chan)干(gan)式真(zhen)空泵(beng)在集成電路領域(yu)的批量(liang)應用,打破了歐(ou)美及日本企(qi)(qi)(qi)業(ye)對同(tong)類產(chan)(chan)品(pin)的長期(qi)壟(long)斷,實(shi)現了關鍵裝(zhuang)(zhuang)備的進(jin)口(kou)替(ti)代(dai)。先(xian)后(hou)獲得(de)國(guo)(guo)家科(ke)技(ji)(ji)(ji)進(jin)步(bu)獎六項(xiang),中(zhong)國(guo)(guo)科(ke)學(xue)院及省部(bu)級科(ke)技(ji)(ji)(ji)進(jin)步(bu)獎二十項(xiang),擁有專(zhuan)(zhuan)利七十一項(xiang),被認定為國(guo)(guo)家高(gao)新(xin)(xin)技(ji)(ji)(ji)術企(qi)(qi)(qi)業(ye)、國(guo)(guo)家知識產(chan)(chan)權優勢企(qi)(qi)(qi)業(ye)、遼寧(ning)省技(ji)(ji)(ji)術創(chuang)新(xin)(xin)示范企(qi)(qi)(qi)業(ye)、遼寧(ning)省創(chuang)新(xin)(xin)型中(zhong)小企(qi)(qi)(qi)業(ye)、遼寧(ning)省省級企(qi)(qi)(qi)業(ye)技(ji)(ji)(ji)術中(zhong)心(xin)、沈陽市科(ke)技(ji)(ji)(ji)領航型企(qi)(qi)(qi)業(ye)、沈陽市科(ke)技(ji)(ji)(ji)小巨人企(qi)(qi)(qi)業(ye)等。
公(gong)司(si)(si)(si)設立有2個(ge)全資子公(gong)司(si)(si)(si)——上(shang)海上(shang)凱儀真空技(ji)術有限(xian)(xian)公(gong)司(si)(si)(si)、中科儀(南通)半(ban)導體設備(bei)有限(xian)(xian)責任(ren)公(gong)司(si)(si)(si);1個(ge)分公(gong)司(si)(si)(si)——中國(guo)科學院沈(shen)陽科學儀器股份有限(xian)(xian)公(gong)司(si)(si)(si)上(shang)海分公(gong)司(si)(si)(si)。