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中(zhong)國(guo)科(ke)學院沈陽(yang)(yang)科(ke)學儀(yi)器(qi)股份有限公(gong)司（以下簡稱 “公(gong)司”）創(chuang)建于1958年，前(qian)身為中(zhong)國(guo)科(ke)學院沈陽(yang)(yang)科(ke)學儀(yi)器(qi)研制中(zhong)心。園(yuan)區(qu)位于遼寧省沈陽(yang)(yang)市(shi)渾南區(qu)，占(zhan)地(di)面積110畝，建筑(zhu)面積3.5萬平方(fang)米。多年來，公(gong)司專注(zhu)于高真空(kong)(kong)、超高真空(kong)(kong)、超潔凈真空(kong)(kong)技(ji)(ji)術的研究和(he)(he)發展，是(shi)我國(guo)集成電路(lu)裝(zhuang)備(bei)(bei)和(he)(he)真空(kong)(kong)儀(yi)器(qi)設備(bei)(bei)的研制、生(sheng)產基地(di)，先后(hou)組(zu)建“國(guo)家(jia)(jia)分(fen)子(zi)束外延技(ji)(ji)術試驗(yan)基地(di)”、“國(guo)家(jia)(jia)真空(kong)(kong)儀(yi)器(qi)裝(zhuang)置工(gong)程(cheng)技(ji)(ji)術研究中(zhong)心”和(he)(he)“真空(kong)(kong)技(ji)(ji)術裝(zhuang)備(bei)(bei)國(guo)家(jia)(jia)工(gong)程(cheng)實(shi)驗(yan)室(shi)”等科(ke)研平臺。

公(gong)司(si)主要從事干(gan)式真空泵、真空儀器設備(bei)的研發、生產(chan)和銷售，并(bing)提供相關(guan)技(ji)術服務。公(gong)司(si)產(chan)品主要包(bao)括(kuo)系列羅茨干(gan)泵、系列渦旋干(gan)泵、大(da)科學(xue)裝置、真空薄膜(mo)儀器設備(bei)和新(xin)材(cai)料制備(bei)設備(bei)等。公(gong)司(si)承擔了(le)國(guo)(guo)家“極大(da)規模集(ji)成電路制造(zao)裝備(bei)及(ji)(ji)成套工(gong)藝”（“02專項”）、“高(gao)檔數控機床與(yu)基礎制造(zao)裝備(bei)”（“04”專項）、“國(guo)(guo)家重點研發計劃”等科技(ji)專項，并(bing)通(tong)過自主研發創(chuang)新(xin)實現了(le)國(guo)(guo)產(chan)干(gan)式真空泵在集(ji)成電路領域(yu)的批量(liang)應用(yong)，打(da)破了(le)歐(ou)美(mei)及(ji)(ji)日本企(qi)業(ye)(ye)對(dui)同類產(chan)品的長期壟(long)斷，實現了(le)關(guan)鍵裝備(bei)的進口替代。先(xian)后獲得(de)國(guo)(guo)家科技(ji)進步(bu)(bu)獎六項，中(zhong)國(guo)(guo)科學(xue)院及(ji)(ji)省(sheng)部(bu)級科技(ji)進步(bu)(bu)獎二十(shi)項，擁有專利七十(shi)一(yi)項，被認定為國(guo)(guo)家高(gao)新(xin)技(ji)術企(qi)業(ye)(ye)、國(guo)(guo)家知識產(chan)權優(you)勢(shi)企(qi)業(ye)(ye)、遼(liao)(liao)(liao)寧(ning)省(sheng)技(ji)術創(chuang)新(xin)示范企(qi)業(ye)(ye)、遼(liao)(liao)(liao)寧(ning)省(sheng)創(chuang)新(xin)型(xing)中(zhong)小企(qi)業(ye)(ye)、遼(liao)(liao)(liao)寧(ning)省(sheng)省(sheng)級企(qi)業(ye)(ye)技(ji)術中(zhong)心(xin)、沈陽(yang)市科技(ji)領航型(xing)企(qi)業(ye)(ye)、沈陽(yang)市科技(ji)小巨人企(qi)業(ye)(ye)等。

公司(si)(si)設立(li)有(you)2個全資子公司(si)(si)——上(shang)海(hai)上(shang)凱儀(yi)真空(kong)技術有(you)限(xian)(xian)公司(si)(si)、中科儀(yi)（南通(tong)）半(ban)導(dao)體設備(bei)有(you)限(xian)(xian)責任公司(si)(si)；1個分公司(si)(si)——中國科學院沈陽科學儀(yi)器股份有(you)限(xian)(xian)公司(si)(si)上(shang)海(hai)分公司(si)(si)。