著錄信息
- 專利名稱：紅外探測器像元應力的監控結構及監控方法
- 專利類型：發明
- 申請號：CN200810201308.7
- 公開(公告)號：CN101386401B
- 申請日：20081016
- 公開(公告)日：20131009
- 申請人：上海集成電路研發中心有限公司,浙江大立科技股份有限公司
- 發明人：康曉旭,姜利軍
- 申請人地址：201203 上海市張江高科技園區碧波路177號華虹科技園4樓B區
- 申請人區域代碼：CN310115
- 專利權人：上海集成電路研發中心有限公司,浙江大立科技股份有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：B81B7/02,G01J5/10,B81C1/00,B81C5/00
- 優先權：無
- 專利代理機構：上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
- 代理人：鄭瑋
- 審查員：陸帥
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關鍵詞
紅外探測器,金屬反射層,金屬電極,電極板,監控結構,敏感材料,翹曲,監控,圖形化處理,電容特性,電容值隨,工藝制造,極板間距,監控方法,應力影響,電容值,犧牲層,支撐層,極板,監測
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