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專利名稱：多工位集中供真空的防干擾方法及多工位集中供真空系統
專利類型：發明
申請號：CN201610319510.4
公開(公告)號：CN105977118B
申請日：20160512
公開(公告)日：20171208
申請人：深圳市沃爾核材股份有限公司,深圳市沃爾特種線纜有限公司,樂庭電線工業（惠州）有限公司,惠州樂庭電子線纜有限公司,常州市沃爾核材有限公司
發明人：熊鑫,張維波
申請人地址：518118 廣東省深圳市坪山新區蘭景北路沃爾工業園
申請人區域代碼：CN440307
專利權人：深圳市沃爾核材股份有限公司,深圳市沃爾特種線纜有限公司,樂庭電線工業（惠州）有限公司,惠州樂庭電子線纜有限公司,常州市沃爾核材有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：H01J9/385
優先權：無
專利代理機構：深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
代理人：胡海國
審查員：陳茂興
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞(ci)

加工裝置,工位,真空控制閥,抽真空,多工位,加工件,真空管,集中供真空系統,設置檢測裝置,真空發生裝置,檢測裝置,預定值時,真空管道,真空泄露,防干擾,檢測,加工

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