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專利名稱:
一種深度鉆孔中輔助去除孔壁銅工藝
專利類型:
發明
申請號:
CN200610028732.7
公開(公告)號:
CN100531518C
申請日:
20060707
公開(公告)日:
20090819
申請人:
滬士電子股份有限公司
發明人:
馬夕松
申請人地址:
215301江蘇省昆山市黑龍江北路55號
申請人區域代碼:
CN320583
專利權人:
滬士電子股份有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
H05K3/02,H05K3/04,H05K3/07
優先權:
無
專利代理機構:
中國商標專利事務所有限公司
代理人:
陳麗新
審查員:
張霞
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵詞
鉆孔,蝕刻,貫孔,孔壁,圖形電鍍銅,發明工藝,貫孔孔壁,堿性蝕刻,鉆孔過程,鉆孔系統,電鍍,輔助
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