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著錄信息(xi)
專利名稱:
一種晶體預熱裝置
專利類型:
實用新型
申請號:
CN201220445983.6
公開(公告)號:
CN202808989U
申請日:
20120903
公開(公告)日:
20130320
申請人:
北京京運通科技股份有限公司
發明人:
袁靜,張繼宏,李巖
申請人地址:
100176 北京市大興區北京經濟技術開發區經海四路158號
申請人區域代碼:
CN110115
專利權人:
北京京運通科技股份有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
C30B13/00,C30B13/16
優先權:
無
專利代理機構:
北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
代理人:
申健
審查員:
無
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵(jian)詞(ci)
驅動裝置,預熱裝置,連接桿,加熱單元,爐膛法,區熔爐,半導體材料,驅動加熱單元,加工領域,運動速度,重大損失,外側,固定
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