著錄信息
- 專利名稱:一種各向異性磁阻坡膜合金固定易磁化軸的制備裝置
- 專利類型:實用新型
- 申請號:CN201520472088.7
- 公開(公告)號:CN204732294U
- 申請日:20150630
- 公開(公告)日:20151028
- 申請人:貴州雅光電子科技股份有限公司
- 發明人:余濤,楊華,張文旭,彭斌
- 申請人地址:550018 貴州省貴陽市新添大道北段270號
- 申請人區域代碼:CN520103
- 專利權人:貴州雅光電子科技股份有限公司
- 洛迦諾分類:無
- IPC:H01F41/14,H01F10/00
- 優先權:無
- 專利代理機構:貴陽中新專利商標事務所 52100
- 代理人:劉楠
- 審查員:無
- 國際申請:無
- 國際公開(公告):無
- 進入國家日期:無
- 分案申請:無
關鍵詞
不需要,轉盤,誘導磁場,靶槍,沉積,各向異性磁阻,易磁化軸取向,大面積薄膜,薄膜面積,磁性薄膜,加熱基底,坡膜合金,入射粒子,一側設置,易磁化軸,誘導生長,制備裝置,實用,一種,薄膜,粒子,噴射,均勻,添加,出入,落入,生長,固定,限制,公開,有效,解決
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