著錄信息
- 專利名稱:區熔單晶爐中夾持針的調整控制裝置
- 專利類型:發明
- 申請號:CN201310626975.0
- 公開(公告)號:CN104746132B
- 申請日:20131128
- 公開(公告)日:20170606
- 申請人:有研半導體材料有限公司
- 發明人:梁書正
- 申請人地址:101300 北京市順義區林河工業開發區雙河路南側
- 申請人區域代碼:CN110113
- 專利權人:有研半導體材料有限公司
- 洛迦諾分類:無
- IPC:C30B13/28
- 優先權:無
- 專利代理機構:北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
- 代理人:劉秀青;熊國裕
- 審查員:周瓊
- 國際申請:無
- 國際公開(公告):無
- 進入國家日期:無
- 分案申請:無
關鍵詞
夾持針,可移動支撐,托桿,夾持機構,牽引鋼絲,一次夾持,軸桿連接,導軌,支架,電機,調整控制裝置,連接傳動桿,區熔單晶爐,動態設置,固定夾持,連接移動,人為干預,上下擺動,一端連接,支架導軌,支架移動,上端,圓心,傳動桿,可移動,控制夾,針支架,下端,投放,移動
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