1961年,畢業于清(qing)華大學無線電電子(zi)工程系,隨后進入中國科學院半導體研究(jiu)所(suo)工作。
1986年(nian),調入中(zhong)(zhong)國(guo)科學(xue)院微電子中(zhong)(zhong)心(現中(zhong)(zhong)國(guo)科學(xue)院微電子研究所)工(gong)作。
1986年 - 1989年,擔任中(zhong)(zhong)國科學(xue)院微電子(zi)中(zhong)(zhong)心第一屆副主任。
1991年 - 1997年,擔任(ren)中國科(ke)學院微(wei)電子中心第(di)二(er)屆、第(di)三屆主任(ren)。
1991年,當選為中國科學(xue)院學(xue)部委員(院士(shi))。
1992年,被國家科學技(ji)術委員會聘為“深(shen)亞微米(mi)結構器件和介(jie)觀物理”項目首席(xi)科學家。
1991年,當選為中(zhong)國科學院學部(bu)委員(院士)。
1992年,榮獲全國“三(san)八”紅旗手(shou)稱號。
1992年,榮獲“九五(wu)”國家重大科技攻(gong)關(guan)先進個人稱號。
2004年(nian),榮獲“何梁何利基(ji)金科學與(yu)技術進步獎”。
1998年(nian),項目《全套0.8微米CMOS工藝技術》榮(rong)獲“中國(guo)科學院科技進(jin)步一(yi)等獎(jiang)”。
1999年,項目《全套0.8微米CMOS工藝技術》榮獲“國家科技進步二等(deng)獎”。
2003年,項目(mu)《先進的深亞微米(mi)工藝技(ji)術及新型(xing)器件》榮獲“北京市(shi)科(ke)學技(ji)術一(yi)等(deng)獎”。