1961年，畢業于清華大學無線電電子工程系，隨(sui)后(hou)進入(ru)中(zhong)國科學院半導(dao)體研(yan)究所工作。
1986年(nian)，調入中(zhong)國(guo)科(ke)學院(yuan)(yuan)微電子(zi)中(zhong)心（現中(zhong)國(guo)科(ke)學院(yuan)(yuan)微電子(zi)研究所）工作。
1986年 - 1989年，擔任(ren)中(zhong)國科學院微(wei)電子中(zhong)心第一屆(jie)副主任(ren)。
1991年(nian) - 1997年(nian)，擔任(ren)中國科學院(yuan)微電子中心第二屆、第三屆主任(ren)。
1991年，當(dang)選為(wei)中國科學院學部委員(yuan)（院士）。
1992年，被(bei)國(guo)家(jia)科學技術(shu)委員(yuan)會聘為“深亞微(wei)米結構器件和介觀物理”項目(mu)首席科學家(jia)。
1991年，當選為中(zhong)國科學院學部(bu)委員（院士）。
1992年，榮獲全國“三八”紅旗手(shou)稱號。
1992年，榮獲“九五”國家重大科技攻關先進(jin)個人稱號。
2004年，榮獲(huo)“何(he)梁何(he)利基金科學(xue)與技術(shu)進(jin)步(bu)獎”。
1998年，項目《全套(tao)0.8微米(mi)CMOS工藝技術》榮獲“中國科學院科技進步(bu)一等獎(jiang)”。
1999年，項(xiang)目《全套0.8微米CMOS工藝技術》榮獲“國家(jia)科技進步(bu)二(er)等獎”。
2003年，項目(mu)《先進的深亞微米(mi)工藝技(ji)術及新(xin)型(xing)器件》榮獲“北京市科學技(ji)術一等獎”。
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