上海(hai)華力(li)微電子有(you)(you)限公(gong)司,是中(zhong)國大陸一條(tiao)全(quan)自動(dong)12英寸集成電路Foundry生產(chan)線,工(gong)藝(yi)水平達到55-40-28nm技(ji)術(shu)等級,月產(chan)能達3.5萬片(pian)。華力(li)微電子采(cai)用代(dai)工(gong)模式,為(wei)設計公(gong)司、IDM公(gong)司和其他系統公(gong)司代(dai)工(gong)邏輯(ji)和閃存芯片(pian)。公(gong)司位于中(zhong)國上海(hai)張江高科技(ji)園(yuan)區(qu),在中(zhong)國臺灣地區(qu)、日本(ben)、北美等地均設有(you)(you)辦(ban)公(gong)室,提供銷售與技(ji)術(shu)支持(chi)。
華力微(wei)電(dian)子廠房面積超過9萬平(ping)方米(mi),其中凈化面積超過1.5萬平(ping)方米(mi)。生(sheng)產(chan)線(xian)采用(yong)精(jing)良(liang)生(sheng)產(chan)設備(bei),能滿足(zu)193nm浸沒(mei)式光刻(ke)技(ji)(ji)術(shu)、應變硅(gui)技(ji)(ji)術(shu)、銅后道金屬(shu)互(hu)連技(ji)(ji)術(shu)、大馬士革一(yi)體化刻(ke)蝕(shi)技(ji)(ji)術(shu)等工藝技(ji)(ji)術(shu)的要求,同時還配備(bei)了(le)業界的亮場缺陷檢測(ce)和電(dian)子掃描顯微(wei)鏡等檢測(ce)設備(bei)。
華力微(wei)電子采用全自(zi)動(dong)硅(gui)片搬送(song)系統和全自(zi)動(dong)派工系統,建立(li)了集成(cheng)電路(lu)“柔性全自(zi)動(dong)生產(chan)系統”,可(ke)靈活(huo)調配產(chan)能,產(chan)線(xian)良率指標(biao)達到業界前沿水平。
華力(li)微電子建立了擁有自主知識產權(quan)的(de)55-40-28nm邏(luo)輯工藝技(ji)術(shu)平臺(tai)和(he)延伸的(de)特色工藝技(ji)術(shu),可以(yi)滿足客戶在低功耗、高性能、射頻、高壓、圖像(xiang)傳感器、嵌入式存儲器等多(duo)種(zhong)芯片的(de)大(da)規(gui)模生產需求。