一、低溫真空泵是什么真空泵

低(di)(di)溫真(zhen)空泵(beng)(beng)是一(yi)種利用20K以下的(de)(de)低(di)(di)溫表面凝聚(ju)吸附氣體的(de)(de)真(zhen)空泵(beng)(beng)，又(you)叫冷泵(beng)(beng)、冷凝泵(beng)(beng)，一(yi)般是以低(di)(di)溫液體（液氮(dan)或(huo)液氦）或(huo)低(di)(di)溫制冷機(ji)為冷源。

二、低溫真空泵的原理與結構

低(di)(di)溫真空泵(beng)主(zhu)要由泵(beng)殼、障板和冷(leng)(leng)(leng)(leng)屏、冷(leng)(leng)(leng)(leng)頭、二級冷(leng)(leng)(leng)(leng)板等組成，其作(zuo)(zuo)用原理是：依靠冷(leng)(leng)(leng)(leng)源(yuan)提(ti)供(gong)的冷(leng)(leng)(leng)(leng)量使表面氣(qi)(qi)體(ti)(ti)被冷(leng)(leng)(leng)(leng)到低(di)(di)溫冷(leng)(leng)(leng)(leng)凝(ning)時壓(ya)力下(xia)降，不冷(leng)(leng)(leng)(leng)凝(ning)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)在低(di)(di)溫下(xia)被固(gu)體(ti)(ti)吸附劑吸附，從而達到排氣(qi)(qi)的效果，獲(huo)得潔凈真空，低(di)(di)溫抽氣(qi)(qi)的主(zhu)要作(zuo)(zuo)用是低(di)(di)溫冷(leng)(leng)(leng)(leng)凝(ning)、低(di)(di)溫吸附和低(di)(di)溫捕集。

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三、低溫真空泵的優點

1、高極限真空度

標準的低溫真空泵，其極限真空度可達10^-7Pa，必要時，在不加其它輔助泵的情況下也可以做到10^-9Pa，而理論上，甚至于達到10^-11Pa以(yi)上極高真(zhen)空。

2、大抽速

低溫真空(kong)泵的(de)抽速較快，尤其(qi)對水具有超(chao)高(gao)的(de)抽速，其(qi)遠高(gao)于其(qi)它真空(kong)泵，低溫泵的(de)高(gao)抽速使得建立真空(kong)的(de)速度比(bi)其(qi)他(ta)真空(kong)泵快，可以大大提高(gao)產(chan)品產(chan)出(chu)量。

3、潔凈

低溫(wen)泵是真(zhen)正的潔凈無(wu)油、抽速高的高真(zhen)空泵，它(ta)是利(li)用(yong)低溫(wen)冷板來冷凝、吸附(fu)氣體而獲得和(he)保持真(zhen)空，在真(zhen)空區域任何沒有運動部件，沒有油，所有清(qing)潔無(wu)污(wu)染(ran)。

4、運行成本低

低溫真空泵可(ke)大大減少電能消耗，尤其是大口徑泵。就(jiu)抽速而言，低溫泵僅需1/3的(de)(de)能耗就(jiu)可(ke)以達到與擴散(san)泵同等的(de)(de)效果。

5、安全可靠

低溫真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)腔內無運動部件(jian)，來(lai)自外界的(de)(de)干擾(rao)或來(lai)自真(zhen)(zhen)空(kong)系統的(de)(de)微(wei)粒不(bu)影響(xiang)工作；同(tong)時，由(you)于(yu)低溫泵(beng)回溫具(ju)有一定“慣性”，可(ke)在突然停電(dian)的(de)(de)情(qing)況下，有效地保護(hu)真(zhen)(zhen)空(kong)腔體內真(zhen)(zhen)空(kong)，不(bu)至于(yu)被鍍工件(jian)受到影響(xiang)。

6、使用方便

低溫泵(beng)對安裝(zhuang)方位沒要求(qiu)，可以泵(beng)口超(chao)上(shang)、泵(beng)口朝下、水平位置(zhi)安裝(zhuang)或以腔體需要的任何(he)角度安裝(zhuang)。

7、使用壽命長

低溫(wen)真空泵(beng)運(yun)動部件(jian)少且低速運(yun)行，通(tong)過日常的保(bao)養(yang)維護，低溫(wen)泵(beng)的正常的使用(yong)壽命(ming)可達5~6萬(wan)小時，有的甚至(zhi)超(chao)過8萬(wan)小時。

四、低溫真空泵的缺點

1、需(xu)要降溫時間(jian)（準備時間(jian)）。

2、需要再生。

3、購置(zhi)成本高。

五、低溫真空泵應用領域有哪些

低溫(wen)泵適合用于需要(yao)高真空(kong)度的領(ling)域，尤其適合應用于要(yao)求(qiu)潔凈無油(you)或快速抽氣的場合，例如半導體與集成電(dian)(dian)(dian)路前工序、光學鍍膜(mo)、太(tai)陽能電(dian)(dian)(dian)池板、光電(dian)(dian)(dian)子(zi)器(qi)件和真空(kong)電(dian)(dian)(dian)子(zi)器(qi)件制造、平(ping)板顯(xian)示器(qi)件鍍膜(mo)等領(ling)域。