一、低溫真空泵是什么真空泵
低(di)溫(wen)真空泵(beng)是一(yi)種利用20K以下的(de)(de)低(di)溫(wen)表面凝(ning)聚吸附氣體(ti)的(de)(de)真空泵(beng),又叫冷(leng)泵(beng)、冷(leng)凝(ning)泵(beng),一(yi)般是以低(di)溫(wen)液體(ti)(液氮或液氦(hai))或低(di)溫(wen)制冷(leng)機(ji)為冷(leng)源。
二、低溫真空泵的原理與結構
低(di)(di)(di)溫真空(kong)泵主要由(you)泵殼、障板和冷(leng)(leng)(leng)屏、冷(leng)(leng)(leng)頭、二級冷(leng)(leng)(leng)板等組(zu)成,其作用原(yuan)理是(shi):依靠冷(leng)(leng)(leng)源(yuan)提供的(de)(de)冷(leng)(leng)(leng)量使表面氣體(ti)(ti)被冷(leng)(leng)(leng)到低(di)(di)(di)溫冷(leng)(leng)(leng)凝(ning)時壓力下(xia)降,不冷(leng)(leng)(leng)凝(ning)氣體(ti)(ti)在低(di)(di)(di)溫下(xia)被固體(ti)(ti)吸附劑吸附,從而達到排氣的(de)(de)效果,獲(huo)得(de)潔凈真空(kong),低(di)(di)(di)溫抽氣的(de)(de)主要作用是(shi)低(di)(di)(di)溫冷(leng)(leng)(leng)凝(ning)、低(di)(di)(di)溫吸附和低(di)(di)(di)溫捕(bu)集。
三、低溫真空泵的優點
1、高極限真空度
標準的低溫真空泵,其極限真空度可達10-7Pa,必要時,在不加其它輔助泵的情況下也可以做到10-9Pa,而理論上,甚至于達到10-11Pa以上極高真空。
2、大抽速
低溫真空(kong)泵(beng)的(de)抽速較快(kuai),尤其(qi)對水(shui)具有超高(gao)的(de)抽速,其(qi)遠高(gao)于其(qi)它真空(kong)泵(beng),低溫泵(beng)的(de)高(gao)抽速使得(de)建(jian)立真空(kong)的(de)速度(du)比其(qi)他(ta)真空(kong)泵(beng)快(kuai),可以大(da)大(da)提高(gao)產品(pin)產出(chu)量(liang)。
3、潔凈
低溫泵(beng)是真正的潔凈無油、抽速(su)高的高真空泵(beng),它是利(li)用低溫冷板來冷凝(ning)、吸附氣體而獲得和(he)保持真空,在真空區域任(ren)何(he)沒有運動(dong)部件,沒有油,所(suo)有清潔無污染。
4、運行成本低
低(di)溫(wen)(wen)真空泵(beng)可(ke)大大減少(shao)電能(neng)消(xiao)耗,尤其是大口徑泵(beng)。就(jiu)抽(chou)速而(er)言,低(di)溫(wen)(wen)泵(beng)僅(jin)需1/3的(de)能(neng)耗就(jiu)可(ke)以(yi)達到與擴(kuo)散泵(beng)同等的(de)效果。
5、安全可靠
低(di)溫真空泵(beng)(beng)的(de)真空腔內無(wu)運(yun)動(dong)部件,來自(zi)外界的(de)干擾(rao)或來自(zi)真空系統的(de)微粒不影響工作(zuo);同時,由于低(di)溫泵(beng)(beng)回溫具(ju)有一定“慣性”,可在突(tu)然(ran)停電的(de)情況下,有效地保護真空腔體內真空,不至(zhi)于被鍍(du)工件受到影響。
6、使用方便
低溫泵(beng)對安裝方(fang)位(wei)沒(mei)要求(qiu),可以泵(beng)口超上、泵(beng)口朝下、水(shui)平位(wei)置安裝或以腔體需要的任何角度(du)安裝。
7、使用壽命長
低(di)溫真空(kong)泵運動(dong)部件少且低(di)速運行,通過日(ri)常的(de)保養維護,低(di)溫泵的(de)正常的(de)使用壽命可達5~6萬小時(shi),有的(de)甚至(zhi)超過8萬小時(shi)。
四、低溫真空泵的缺點
1、需要(yao)降(jiang)溫時間(準備(bei)時間)。
2、需要再生。
3、購置成本高。
五、低溫真空泵應用領域有哪些
低(di)溫泵適合(he)用(yong)于(yu)需(xu)要高真空度的領(ling)域(yu)(yu),尤其適合(he)應用(yong)于(yu)要求潔(jie)凈無油(you)或快速(su)抽(chou)氣的場合(he),例如半(ban)導體(ti)與集成(cheng)電路(lu)前工序、光(guang)學鍍膜(mo)、太陽能電池板、光(guang)電子器(qi)件和真空電子器(qi)件制造、平板顯示器(qi)件鍍膜(mo)等領(ling)域(yu)(yu)。