一、低溫真空泵是什么真空泵

低(di)溫(wen)(wen)真空泵(beng)是一種利用20K以下的低(di)溫(wen)(wen)表面凝聚(ju)吸附氣體的真空泵(beng)，又叫冷(leng)(leng)泵(beng)、冷(leng)(leng)凝泵(beng)，一般是以低(di)溫(wen)(wen)液(ye)(ye)體（液(ye)(ye)氮或液(ye)(ye)氦）或低(di)溫(wen)(wen)制冷(leng)(leng)機(ji)為(wei)冷(leng)(leng)源。

二、低溫真空泵的原理與結構

低(di)溫(wen)真空(kong)泵主要由泵殼、障板和冷(leng)(leng)屏(ping)、冷(leng)(leng)頭(tou)、二(er)級(ji)冷(leng)(leng)板等組(zu)成，其作用(yong)原(yuan)理(li)是(shi)：依靠冷(leng)(leng)源提供的冷(leng)(leng)量(liang)使(shi)表面(mian)氣體被冷(leng)(leng)到低(di)溫(wen)冷(leng)(leng)凝(ning)(ning)(ning)時(shi)壓力下降，不冷(leng)(leng)凝(ning)(ning)(ning)氣體在低(di)溫(wen)下被固(gu)體吸(xi)附劑吸(xi)附，從(cong)而達到排氣的效果，獲得潔(jie)凈真空(kong)，低(di)溫(wen)抽氣的主要作用(yong)是(shi)低(di)溫(wen)冷(leng)(leng)凝(ning)(ning)(ning)、低(di)溫(wen)吸(xi)附和低(di)溫(wen)捕集。

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三、低溫真空泵的優點

1、高極限真空度

標準的低溫真空泵，其極限真空度可達10^-7Pa，必要時，在不加其它輔助泵的情況下也可以做到10^-9Pa，而理論上，甚至于達到10^-11Pa以上極高(gao)真(zhen)空。

2、大抽速

低溫真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)抽(chou)速較快(kuai)，尤(you)其對水具有超高(gao)的(de)抽(chou)速，其遠(yuan)高(gao)于(yu)其它(ta)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)，低溫泵(beng)的(de)高(gao)抽(chou)速使得建立真(zhen)空(kong)(kong)的(de)速度比其他(ta)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)快(kuai)，可以大大提高(gao)產(chan)(chan)品產(chan)(chan)出量。

3、潔凈

低溫(wen)泵(beng)是真正的潔凈無油(you)、抽速(su)高的高真空泵(beng)，它是利用低溫(wen)冷(leng)板來冷(leng)凝、吸附氣體而(er)獲得(de)和保持真空，在真空區域任何沒(mei)有運動部件(jian)，沒(mei)有油(you)，所(suo)有清(qing)潔無污染(ran)。

4、運行成本低

低(di)(di)溫(wen)真空泵(beng)可大大減少電能消耗，尤其是大口徑泵(beng)。就(jiu)抽(chou)速而言，低(di)(di)溫(wen)泵(beng)僅(jin)需1/3的能耗就(jiu)可以達到與擴散泵(beng)同等的效果。

5、安全可靠

低溫真(zhen)(zhen)空(kong)泵的真(zhen)(zhen)空(kong)腔內無運動部件(jian)，來自(zi)外界的干擾或來自(zi)真(zhen)(zhen)空(kong)系統的微粒不影(ying)響工作；同(tong)時，由于低溫泵回溫具有一定“慣(guan)性”，可在突然停電的情況下，有效地(di)保護真(zhen)(zhen)空(kong)腔體內真(zhen)(zhen)空(kong)，不至于被鍍工件(jian)受到影(ying)響。

6、使用方便

低溫泵(beng)(beng)對安裝(zhuang)方(fang)位(wei)沒(mei)要求，可以泵(beng)(beng)口(kou)超(chao)上、泵(beng)(beng)口(kou)朝下、水平(ping)位(wei)置(zhi)安裝(zhuang)或以腔(qiang)體需(xu)要的任(ren)何角度(du)安裝(zhuang)。

7、使用壽命長

低溫真空泵運(yun)動部(bu)件少且低速運(yun)行，通(tong)過(guo)日(ri)常的(de)保養維護(hu)，低溫泵的(de)正常的(de)使用壽命可達5~6萬小時(shi)，有的(de)甚至(zhi)超過(guo)8萬小時(shi)。

四、低溫真空泵的缺點

1、需(xu)要降溫時(shi)(shi)間（準備時(shi)(shi)間）。

2、需要再生。

3、購置成本高(gao)。

五、低溫真空泵應用領域有哪些

低溫泵適合用于需要高真(zhen)空(kong)度的領域(yu)，尤其適合應用于要求潔凈無油或快速抽氣的場合，例如半導體(ti)與集成電(dian)(dian)路(lu)前工序(xu)、光學鍍膜(mo)、太陽能(neng)電(dian)(dian)池板、光電(dian)(dian)子(zi)器件(jian)和真(zhen)空(kong)電(dian)(dian)子(zi)器件(jian)制造、平板顯示器件(jian)鍍膜(mo)等領域(yu)。