一、低溫真空泵是什么真空泵

低溫(wen)真空(kong)泵(beng)是一種利用(yong)20K以下的低溫(wen)表面凝聚吸附氣體(ti)的真空(kong)泵(beng)，又叫(jiao)冷泵(beng)、冷凝泵(beng)，一般是以低溫(wen)液(ye)(ye)體(ti)（液(ye)(ye)氮或(huo)液(ye)(ye)氦）或(huo)低溫(wen)制冷機(ji)為(wei)冷源。

二、低溫真空泵的原理與結構

低(di)溫真空泵(beng)主(zhu)(zhu)要由泵(beng)殼、障板(ban)和冷(leng)(leng)屏、冷(leng)(leng)頭、二級冷(leng)(leng)板(ban)等(deng)組成，其作(zuo)用(yong)原理是：依靠冷(leng)(leng)源提供(gong)的(de)冷(leng)(leng)量(liang)使表面(mian)氣體(ti)被冷(leng)(leng)到低(di)溫冷(leng)(leng)凝(ning)(ning)時壓力下降，不冷(leng)(leng)凝(ning)(ning)氣體(ti)在低(di)溫下被固體(ti)吸附劑吸附，從而達到排氣的(de)效果，獲(huo)得潔凈(jing)真空，低(di)溫抽(chou)氣的(de)主(zhu)(zhu)要作(zuo)用(yong)是低(di)溫冷(leng)(leng)凝(ning)(ning)、低(di)溫吸附和低(di)溫捕集。

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三、低溫真空泵的優點

1、高極限真空度

標準的低溫真空泵，其極限真空度可達10^-7Pa，必要時，在不加其它輔助泵的情況下也可以做到10^-9Pa，而理論上，甚至于達到10^-11Pa以上(shang)極高真空。

2、大抽速

低(di)溫真(zhen)空泵(beng)的抽速(su)較快(kuai)(kuai)，尤(you)其(qi)對水(shui)具有超高(gao)(gao)的抽速(su)，其(qi)遠高(gao)(gao)于其(qi)它真(zhen)空泵(beng)，低(di)溫泵(beng)的高(gao)(gao)抽速(su)使得建立真(zhen)空的速(su)度比(bi)其(qi)他真(zhen)空泵(beng)快(kuai)(kuai)，可以大大提高(gao)(gao)產品產出量。

3、潔凈

低溫泵是(shi)真(zhen)正的潔(jie)凈無(wu)油、抽速高的高真(zhen)空泵，它是(shi)利(li)用低溫冷板來冷凝、吸附氣(qi)體而(er)獲得和保(bao)持真(zhen)空，在(zai)真(zhen)空區域任何沒(mei)有運(yun)動(dong)部(bu)件(jian)，沒(mei)有油，所有清潔(jie)無(wu)污染(ran)。

4、運行成本低

低溫(wen)(wen)真空泵可大大減少電能(neng)消(xiao)耗，尤(you)其是大口徑泵。就抽(chou)速而(er)言(yan)，低溫(wen)(wen)泵僅需1/3的(de)(de)能(neng)耗就可以達到(dao)與(yu)擴(kuo)散泵同(tong)等的(de)(de)效果。

5、安全可靠

低溫真空(kong)泵(beng)的(de)真空(kong)腔(qiang)(qiang)內無運動部件(jian)，來自外界的(de)干擾或來自真空(kong)系統的(de)微(wei)粒(li)不影(ying)響工作(zuo)；同時，由于(yu)低溫泵(beng)回溫具有一(yi)定“慣性”，可在突然停電(dian)的(de)情況下，有效地保護真空(kong)腔(qiang)(qiang)體內真空(kong)，不至于(yu)被(bei)鍍工件(jian)受到(dao)影(ying)響。

6、使用方便

低溫泵對(dui)安裝方位沒要求，可(ke)以(yi)(yi)泵口超上、泵口朝下、水平位置安裝或以(yi)(yi)腔體(ti)需(xu)要的任何(he)角度安裝。

7、使用壽命長

低溫真(zhen)空泵運動(dong)部件少且低速運行，通過日常的(de)保養維護，低溫泵的(de)正常的(de)使用壽命可(ke)達5~6萬(wan)小(xiao)時，有的(de)甚至超過8萬(wan)小(xiao)時。

四、低溫真空泵的缺點

1、需要(yao)降溫時間（準備(bei)時間）。

2、需要再生。

3、購置成本高(gao)。

五、低溫真空泵應用領域有哪些

低溫(wen)泵適合用于需要(yao)高真空度的領域(yu)，尤其適合應(ying)用于要(yao)求(qiu)潔凈無油或快速抽氣的場(chang)合，例(li)如半(ban)導體與(yu)集成電路前工序、光學(xue)鍍(du)膜、太陽能電池板、光電子器(qi)件(jian)和真空電子器(qi)件(jian)制造、平板顯示器(qi)件(jian)鍍(du)膜等領域(yu)。