一、制造芯片一定要光刻機嗎
芯片生產是一定要光刻機的(de)。光刻機(ji)(ji)是芯片(pian)制造的(de)核心(xin)設備之一(yi)。目前(qian)有用(yong)于(yu)生(sheng)產的(de)光刻機(ji)(ji),有用(yong)于(yu)LED制造領域的(de)光刻機(ji)(ji),還有用(yong)于(yu)封裝(zhuang)的(de)光刻機(ji)(ji)。光刻機(ji)(ji)是采(cai)用(yong)類似照片(pian)沖印(yin)的(de)技術,然后把掩膜版上(shang)的(de)精細(xi)圖形通過光線的(de)曝(pu)光印(yin)制到(dao)硅片(pian)上(shang)。
在(zai)加工芯片(pian)(pian)的過程(cheng)中,光刻(ke)機通過一系列(lie)的光源能(neng)量、形狀(zhuang)控制手段,將(jiang)光束透射(she)(she)過畫(hua)著線(xian)(xian)路(lu)圖(tu)的掩模,經物鏡補償各種光學(xue)誤差,將(jiang)線(xian)(xian)路(lu)圖(tu)成比例縮小后映(ying)射(she)(she)到(dao)硅片(pian)(pian)上,然后使(shi)用(yong)化學(xue)方法顯影,得到(dao)刻(ke)在(zai)硅片(pian)(pian)上的電(dian)路(lu)圖(tu)。
光(guang)(guang)刻(ke)機是半導(dao)體(ti)行業最重(zhong)要的(de)設備(bei)(bei)之一,是“沙子變芯片”最重(zhong)要的(de)設備(bei)(bei)。離(li)開光(guang)(guang)刻(ke)機,玩不轉芯片,離(li)開高(gao)端光(guang)(guang)刻(ke)機,玩不轉高(gao)端芯片。目前,還沒有替代設備(bei)(bei)能夠(gou)代替光(guang)(guang)刻(ke)機。
二、蝕刻機能代替光刻機嗎
蝕(shi)刻(ke)機(ji)不(bu)(bu)能(neng)代(dai)(dai)替光刻(ke)機(ji)。光刻(ke)機(ji)的(de)精度和難度的(de)要(yao)求都比蝕(shi)刻(ke)機(ji)高(gao)出很多(duo),在需要(yao)光刻(ke)機(ji)加工的(de)時(shi)候蝕(shi)刻(ke)機(ji)有些不(bu)(bu)能(neng)辦到(dao),并且蝕(shi)刻(ke)機(ji)的(de)精度十分(fen)籠(long)統,而光刻(ke)機(ji)對精度的(de)要(yao)求十分(fen)細(xi)致(zhi),所以蝕(shi)刻(ke)機(ji)不(bu)(bu)能(neng)代(dai)(dai)替光刻(ke)機(ji)。
蝕刻機(ji)和光(guang)刻機(ji)無論是從工藝、流程、設(she)備性能、精度等方面都有很大(da)的區別(bie),主(zhu)要區別(bie)如下:
光刻機的(de)難度大(da)于蝕刻(ke)機(ji),光刻(ke)機(ji)是(shi)把圖(tu)案印上去(qu),而(er)蝕刻(ke)機(ji)是(shi)根據打印的(de)圖(tu)案去(qu)掉(diao)有無圖(tu)案的(de)部分(fen),將剩下的(de)留(liu)下。