一、制造芯片一定要光刻機嗎
芯片生產是一定要光刻機的(de)。光(guang)刻(ke)機是芯片(pian)制造的(de)核心設備之一(yi)。目前有(you)用(yong)于(yu)(yu)生產的(de)光(guang)刻(ke)機,有(you)用(yong)于(yu)(yu)LED制造領域(yu)的(de)光(guang)刻(ke)機,還有(you)用(yong)于(yu)(yu)封裝的(de)光(guang)刻(ke)機。光(guang)刻(ke)機是采用(yong)類似照(zhao)片(pian)沖印(yin)的(de)技術,然后把(ba)掩膜(mo)版上(shang)的(de)精細圖形通過(guo)光(guang)線的(de)曝光(guang)印(yin)制到(dao)硅(gui)片(pian)上(shang)。
在(zai)加工芯片的(de)過(guo)程中,光(guang)刻(ke)機通過(guo)一系列的(de)光(guang)源能量、形狀控制手段,將(jiang)光(guang)束透射(she)過(guo)畫著線(xian)路圖的(de)掩模,經(jing)物鏡(jing)補(bu)償各種光(guang)學誤差,將(jiang)線(xian)路圖成比(bi)例縮小后(hou)映射(she)到硅片上(shang),然后(hou)使用化學方法顯影,得到刻(ke)在(zai)硅片上(shang)的(de)電路圖。
光刻(ke)機(ji)(ji)是(shi)半導體行業最重要(yao)的(de)設備之(zhi)一,是(shi)“沙子變芯(xin)片(pian)”最重要(yao)的(de)設備。離開光刻(ke)機(ji)(ji),玩不(bu)轉芯(xin)片(pian),離開高端光刻(ke)機(ji)(ji),玩不(bu)轉高端芯(xin)片(pian)。目前,還(huan)沒有替(ti)(ti)代設備能夠代替(ti)(ti)光刻(ke)機(ji)(ji)。
二、蝕刻機能代替光刻機嗎
蝕刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)不(bu)(bu)能代替光刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)。光刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)的精(jing)度(du)和難(nan)度(du)的要求都比蝕刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)高出很多,在需(xu)要光刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)加(jia)工的時候蝕刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)有(you)些不(bu)(bu)能辦到,并(bing)且蝕刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)的精(jing)度(du)十分籠統,而光刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)對精(jing)度(du)的要求十分細致,所(suo)以蝕刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)不(bu)(bu)能代替光刻(ke)(ke)(ke)機(ji)(ji)。
蝕(shi)刻機和光刻機無論(lun)是從工藝、流(liu)程、設備性能、精(jing)度等方(fang)面都(dou)有很大的(de)區別,主要(yao)區別如下(xia):
光刻機的難度大于蝕刻機(ji),光刻機(ji)是把圖案印上去,而蝕刻機(ji)是根據打印的圖案去掉有無圖案的部分,將剩下的留下。