一、光學3d輪廓測量儀是什么

光(guang)學3d輪(lun)廓測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)儀也(ye)叫(jiao)白(bai)(bai)光(guang)干涉(she)儀，是(shi)(shi)目(mu)前三維形貌測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)領域高精(jing)度的(de)(de)(de)3D三維測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)儀器之一。在(zai)同等放(fang)大倍率下(xia)，測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)精(jing)度和重復性都高于共聚焦(jiao)顯微鏡和聚焦(jiao)成(cheng)像顯微鏡。光(guang)學3d輪(lun)廓測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)儀是(shi)(shi)以白(bai)(bai)光(guang)干涉(she)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)技術(shu)為基礎(chu)而(er)研發生產(chan)的(de)(de)(de)，采用的(de)(de)(de)是(shi)(shi)非接觸式光(guang)學測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)，在(zai)獲得實時(shi)數據的(de)(de)(de)同時(shi)，不會對產(chan)品(pin)造成(cheng)任何損(sun)傷，從而(er)有(you)效(xiao)節約了生產(chan)成(cheng)本，提(ti)高了生產(chan)效(xiao)率，并且(qie)在(zai)線檢測(ce)(ce)(ce)，沒(mei)有(you)滯后性，從而(er)減少不合格品(pin)，對表面缺陷檢測(ce)(ce)(ce)亦(yi)如此。

在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了光學3d輪廓測量儀，其它儀(yi)器(qi)達不到(dao)檢測的(de)精度要求。

光學3d輪(lun)廓測(ce)量儀的優點：

1、非(fei)接觸高(gao)精密測量，不會劃傷甚至破壞工(gong)件。

2、測量速度快，不必(bi)像探頭逐點進(jin)行測量。

3、不(bu)必作(zuo)探(tan)頭(tou)半徑補正，光點位置就是工件表面測(ce)量的位置。

4、對(dui)高(gao)深寬比(bi)的溝槽(cao)結(jie)構，可以快速(su)而精確的得到理想的測(ce)量結(jie)果(guo)。

二、光學3d輪廓測量儀的參數有哪些

1、Z向分辨率：0.1nm

2、橫(heng)向分(fen)辨率(lv)（0.5λ/NA）：100X~2.5X：0.5um~3.7um

3、粗糙(cao)度RMS重(zhong)復性：0.1nm

4、表面(mian)形貌重復性(xing)：0.1nm

5、臺階(jie)測量：重復性：0.1%；準確度：0.75%

6、主要特點(dian)：非接(jie)觸式無損(sun)檢測，一鍵分析、快速高效。