一、光學3d輪廓測量儀是什么

光學(xue)3d輪廓測量儀(yi)也叫白(bai)光干(gan)涉儀(yi)，是目前三(san)維(wei)形貌測量領(ling)域高精(jing)度(du)(du)的(de)3D三(san)維(wei)測量儀(yi)器之一(yi)。在同(tong)等放大(da)倍率下，測量精(jing)度(du)(du)和(he)重復(fu)性(xing)都高于共(gong)聚焦顯微鏡和(he)聚焦成(cheng)(cheng)像顯微鏡。光學(xue)3d輪廓測量儀(yi)是以(yi)白(bai)光干(gan)涉測量技(ji)術為(wei)基礎而研發生(sheng)產(chan)的(de)，采用的(de)是非接(jie)觸式光學(xue)測量，在獲得(de)實時數據的(de)同(tong)時，不會對產(chan)品造成(cheng)(cheng)任(ren)何損傷，從而有(you)效(xiao)節約了(le)生(sheng)產(chan)成(cheng)(cheng)本，提高了(le)生(sheng)產(chan)效(xiao)率，并(bing)且在線檢測，沒有(you)滯后性(xing)，從而減少不合(he)格品，對表面缺陷檢測亦如此(ci)。

在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了光學3d輪廓測量儀，其它儀器達不到檢測(ce)的精度要(yao)求。

光學3d輪廓測量儀的優點：

1、非接(jie)觸高(gao)精密測(ce)量(liang)，不會劃傷甚至破壞工件(jian)。

2、測量(liang)(liang)速度快，不必像探頭(tou)逐(zhu)點進行測量(liang)(liang)。

3、不必作探頭(tou)半徑補正(zheng)，光(guang)點位(wei)置就是工件表面測(ce)量的(de)位(wei)置。

4、對高深寬(kuan)比(bi)的(de)溝槽結構，可(ke)以快速(su)而(er)精確的(de)得(de)到理(li)想的(de)測(ce)量結果。

二、光學3d輪廓測量儀的參數有哪些

1、Z向分辨率(lv)：0.1nm

2、橫向分辨率（0.5λ/NA）：100X~2.5X：0.5um~3.7um

3、粗糙度(du)RMS重復性：0.1nm

4、表面(mian)形貌重復性：0.1nm

5、臺階測量：重復性：0.1%；準確度：0.75%

6、主(zhu)要特點：非(fei)接觸式無損檢測，一鍵(jian)分析、快速高效。