一、光學3d輪廓測量儀是什么

光(guang)學(xue)3d輪廓測(ce)量(liang)(liang)儀也叫白光(guang)干(gan)涉(she)儀，是(shi)目前(qian)三維形貌測(ce)量(liang)(liang)領域高(gao)精度的3D三維測(ce)量(liang)(liang)儀器之一(yi)。在同等放(fang)大倍(bei)率(lv)下，測(ce)量(liang)(liang)精度和重復性(xing)都高(gao)于共聚(ju)焦顯微鏡和聚(ju)焦成像顯微鏡。光(guang)學(xue)3d輪廓測(ce)量(liang)(liang)儀是(shi)以(yi)白光(guang)干(gan)涉(she)測(ce)量(liang)(liang)技術為基礎(chu)而研(yan)發(fa)生產(chan)的，采(cai)用的是(shi)非接觸式(shi)光(guang)學(xue)測(ce)量(liang)(liang)，在獲得實時數據的同時，不會對產(chan)品(pin)(pin)造成任(ren)何(he)損傷，從(cong)而有效(xiao)節約了生產(chan)成本(ben)，提(ti)高(gao)了生產(chan)效(xiao)率(lv)，并且在線檢測(ce)，沒有滯后性(xing)，從(cong)而減少(shao)不合格品(pin)(pin)，對表(biao)面缺陷檢測(ce)亦如此。

在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了光學3d輪廓測量儀，其它儀器達(da)不到檢測的精度要求。

光學3d輪廓測量(liang)儀的優(you)點：

1、非接觸高精密測(ce)量，不會劃傷甚至破壞(huai)工件。

2、測量速(su)度快，不必像探頭逐點進(jin)行(xing)測量。

3、不必(bi)作探頭半徑補(bu)正，光點(dian)位(wei)置就是工件表面測量的位(wei)置。

4、對高(gao)深寬(kuan)比的溝槽(cao)結構，可(ke)以(yi)快速而(er)精確(que)的得(de)到理想的測(ce)量結果。

二、光學3d輪廓測量儀的參數有哪些

1、Z向分辨率(lv)：0.1nm

2、橫向分辨率（0.5λ/NA）：100X~2.5X：0.5um~3.7um

3、粗糙度RMS重復性：0.1nm

4、表面形貌重復性：0.1nm

5、臺階(jie)測量：重復性：0.1%；準確度：0.75%

6、主要特點：非(fei)接觸式無(wu)損(sun)檢測，一鍵分析、快速高效。