一、光學3d輪廓測量儀是什么

光(guang)學3d輪廓測(ce)(ce)量(liang)儀也叫(jiao)白光(guang)干涉儀，是目(mu)前三維形貌測(ce)(ce)量(liang)領域高(gao)精度的3D三維測(ce)(ce)量(liang)儀器(qi)之(zhi)一。在同等放大倍率下，測(ce)(ce)量(liang)精度和(he)重復性都高(gao)于共聚焦(jiao)顯(xian)微(wei)鏡和(he)聚焦(jiao)成(cheng)像顯(xian)微(wei)鏡。光(guang)學3d輪廓測(ce)(ce)量(liang)儀是以白光(guang)干涉測(ce)(ce)量(liang)技術為(wei)基礎(chu)而研發生(sheng)產(chan)的，采用的是非接觸(chu)式光(guang)學測(ce)(ce)量(liang)，在獲得實(shi)時(shi)數據的同時(shi)，不會對(dui)(dui)產(chan)品造成(cheng)任何損傷，從(cong)而有效(xiao)(xiao)節約了生(sheng)產(chan)成(cheng)本，提高(gao)了生(sheng)產(chan)效(xiao)(xiao)率，并且在線檢測(ce)(ce)，沒有滯后性，從(cong)而減少(shao)不合格品，對(dui)(dui)表(biao)面缺(que)陷檢測(ce)(ce)亦如(ru)此(ci)。

在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了光學3d輪廓測量儀，其它儀器達不到檢測(ce)的精(jing)度(du)要求。

光學(xue)3d輪廓測量儀的優點：

1、非(fei)接觸高精密測量(liang)，不會(hui)劃傷甚至破壞(huai)工件。

2、測量速度快，不(bu)必像探頭逐點進行(xing)測量。

3、不必(bi)作探頭半徑(jing)補正，光(guang)點位置就(jiu)是(shi)工件(jian)表(biao)面測量(liang)的(de)位置。

4、對高深寬比的溝槽結構，可以(yi)快速而精確的得到理想(xiang)的測量結果。

二、光學3d輪廓測量儀的參數有哪些

1、Z向分辨率(lv)：0.1nm

2、橫向分(fen)辨率（0.5λ/NA）：100X~2.5X：0.5um~3.7um

3、粗糙度(du)RMS重復性：0.1nm

4、表面形貌重(zhong)復性：0.1nm

5、臺階測量：重(zhong)復性(xing)：0.1%；準確度(du)：0.75%

6、主要特點(dian)：非接觸式無(wu)損檢(jian)測，一鍵分析、快速高效。