一、光學3d輪廓測量儀是什么

光(guang)學3d輪廓(kuo)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)儀也叫白(bai)光(guang)干(gan)涉儀，是目前三維(wei)(wei)形貌測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)領域(yu)高(gao)精(jing)(jing)度(du)的(de)(de)3D三維(wei)(wei)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)儀器之一。在同等放大倍率(lv)下(xia)，測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)精(jing)(jing)度(du)和重復性(xing)都高(gao)于共聚(ju)焦(jiao)顯微(wei)鏡(jing)和聚(ju)焦(jiao)成像顯微(wei)鏡(jing)。光(guang)學3d輪廓(kuo)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)儀是以白(bai)光(guang)干(gan)涉測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)技術為基礎而研發生產(chan)的(de)(de)，采用的(de)(de)是非接觸式光(guang)學測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)，在獲得實(shi)時數據的(de)(de)同時，不(bu)會對(dui)產(chan)品造成任何損傷，從(cong)而有(you)效節約了(le)生產(chan)成本，提(ti)高(gao)了(le)生產(chan)效率(lv)，并(bing)且在線檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)，沒有(you)滯(zhi)后性(xing)，從(cong)而減少不(bu)合(he)格品，對(dui)表面缺(que)陷檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)亦如此。

在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了光學3d輪廓測量儀，其它儀器達不到檢(jian)測的精度要(yao)求。

光學3d輪廓測量儀(yi)的優點(dian)：

1、非(fei)接觸高(gao)精密測(ce)量，不會劃傷甚至破壞(huai)工件。

2、測量(liang)速度快(kuai)，不必像(xiang)探頭逐點進行測量(liang)。

3、不(bu)必作探頭半(ban)徑補正，光點位置(zhi)就是工件表(biao)面測量(liang)的位置(zhi)。

4、對高深寬比的(de)溝槽結構，可以快速而精(jing)確的(de)得到理(li)想的(de)測量(liang)結果。

二、光學3d輪廓測量儀的參數有哪些

1、Z向分辨率(lv)：0.1nm

2、橫向分辨率(lv)（0.5λ/NA）：100X~2.5X：0.5um~3.7um

3、粗糙度(du)RMS重復(fu)性：0.1nm

4、表面形貌重復性：0.1nm

5、臺階測量：重復性：0.1%；準確度：0.75%

6、主要特點：非接觸(chu)式無損(sun)檢測，一鍵(jian)分析、快速高效。