一、光學3d輪廓測量儀是什么

光學3d輪(lun)廓測(ce)(ce)量儀(yi)也(ye)叫白光干涉儀(yi)，是目(mu)前三維(wei)形貌(mao)測(ce)(ce)量領域高(gao)精度的(de)3D三維(wei)測(ce)(ce)量儀(yi)器之一。在同等放大倍(bei)率(lv)下，測(ce)(ce)量精度和重復性都高(gao)于共聚(ju)(ju)焦顯微鏡和聚(ju)(ju)焦成像顯微鏡。光學3d輪(lun)廓測(ce)(ce)量儀(yi)是以白光干涉測(ce)(ce)量技術為基礎而研發生(sheng)(sheng)產(chan)的(de)，采用的(de)是非接(jie)觸式光學測(ce)(ce)量，在獲得實時數據(ju)的(de)同時，不會對(dui)產(chan)品造成任何損傷，從而有效節約了生(sheng)(sheng)產(chan)成本(ben)，提(ti)高(gao)了生(sheng)(sheng)產(chan)效率(lv)，并且(qie)在線檢測(ce)(ce)，沒(mei)有滯(zhi)后性，從而減(jian)少不合格(ge)品，對(dui)表(biao)面缺陷檢測(ce)(ce)亦如此。

在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了光學3d輪廓測量儀，其它儀器(qi)達不到檢測的精度要求。

光學(xue)3d輪廓測(ce)量儀(yi)的優(you)點：

1、非(fei)接(jie)觸高精密測量(liang)，不會劃傷甚至破壞(huai)工件。

2、測量(liang)速(su)度快，不必像探頭逐點(dian)進行測量(liang)。

3、不必作(zuo)探頭半(ban)徑補正，光點位(wei)置就是工件表面(mian)測量的位(wei)置。

4、對高深寬比的(de)(de)溝槽結(jie)構，可以快(kuai)速而精確的(de)(de)得到理想的(de)(de)測量結(jie)果(guo)。

二、光學3d輪廓測量儀的參數有哪些

1、Z向分辨率(lv)：0.1nm

2、橫向分辨率（0.5λ/NA）：100X~2.5X：0.5um~3.7um

3、粗糙度RMS重(zhong)復(fu)性：0.1nm

4、表(biao)面(mian)形貌重復性：0.1nm

5、臺階測量：重復性：0.1%；準確(que)度：0.75%

6、主要(yao)特點(dian)：非接觸式無損檢(jian)測，一鍵分析、快速高(gao)效。