一、真空手套箱的使用方法
操作前
1、檢查氮(dan)氣(qi)瓶里(li)是(shi)否有氮(dan)氣(qi),氮(dan)氣(qi)要及時更換,氮(dan)氣(qi)的輸出(chu)壓力設定為0.5mpa。
2、檢查真空泵是(shi)否正(zheng)常開(kai)啟。
3、檢查(cha)手套(tao)箱內循(xun)環是否打開(kai)。(凈化(hua)柱-I或凈化(hua)柱-II要(yao)打開(kai)其(qi)中的一(yi)個(ge))
4、檢(jian)查設定里(li)的上限壓力(li)應(ying)為(wei)+1,下限壓力(li)為(wei)0。
5、檢(jian)查氧(yang)和露點是否(fou)正常(氧(yang)為(wei)0.1ppm以下,露點-40以上)。
6、過渡(du)艙(cang)真空泵應處于常開狀(zhuang)態。
操作時
1、系統工作中真空泵(beng)應保持開啟狀態。
2、當箱內氧氣濃度超(chao)出(chu)200PPM時,應(ying)通知設(she)備維修人員進行系統操作,否則會破壞水、氧凈(jing)化系統。
3、在啟(qi)動循(xun)環(huan)前做檢(jian)查,是否在進行(xing)箱體情況或再生。如(ru)以上提及的操作(zuo)正在進行(xing),絕對(dui)禁(jin)止進行(xing)循(xun)環(huan)。
4、兩個凈化柱不可以同時再生(sheng)。
A、再生前先保證手套箱內已被惰性氣體清洗干凈(H2O<200ppm)保證足夠的再生氣體供應。再生氣體壓力為0.06-0.08mpa。
B、啟動再(zai)生之前,請先確(que)認(ren)相應的凈(jing)化柱循環已關閉。
C、再(zai)生(sheng)(sheng)(sheng)過程需要24小時(shi)(shi),一旦執行不能被斷開,再(zai)生(sheng)(sheng)(sheng)開始(shi)后3-6小時(shi)(shi)通再(zai)生(sheng)(sheng)(sheng)氣體注意再(zai)生(sheng)(sheng)(sheng)氣的(de)用量,適當調整再(zai)生(sheng)(sheng)(sheng)氣體的(de)壓力,包(bao)證再(zai)生(sheng)(sheng)(sheng)氣在這(zhe)3小時(shi)(shi)的(de)充(chong)足供(gong)應,第6小時(shi)(shi)后可以關(guan)閉(bi)再(zai)生(sheng)(sheng)(sheng)氣源。
D、再生過程中真空泵不可以(yi)(yi)關(guan)閉(bi),不要觸摸凈化柱的頂(ding)部,以(yi)(yi)防燙傷。
E、再生一(yi)旦意外終(zhong)止,請保(bao)證12小時內不(bu)能重新啟動該凈(jing)化柱的再生和循環(huan)否則將損壞(huai)設備。
5、作業中應(ying)注(zhu)意(yi)保護作業手套(tao)不(bu)要被損(sun)壞。
二、真空手套箱的使用注意事項
1、請使用(yong)AC220V-50HZ的電源供電,同(tong)時注意(yi)設(she)備的接地良好。
2、建議使(shi)用(yong)H2含(han)量為5%-10%的混合(he)氣源。H2含(han)量低(di)于(yu)5%,系統(tong)還原效果差;H2含(han)量高于(yu)10%,可能會產生爆炸(zha)。
3、使用(yong)的(de)(de)氣源(yuan)(yuan)(混(hun)合氣體(ti)或惰性氣體(ti))請(qing)保證其壓力(li)(li)值X的(de)(de)范(fan)圍如下(xia):3kg≤X≤30kg(3bar≤X≤30bar;0.3MPA≤X≤3MPA);當氣源(yuan)(yuan)的(de)(de)壓力(li)(li)值低于3kg時(shi),系統(tong)不工作;當氣源(yuan)(yuan)的(de)(de)壓力(li)(li)值高于30kg時(shi),管道可能會(hui)破裂。
4、氣體(ti)(ti)凈化(hua)系統補水(shui)箱內必(bi)須(xu)保證有充(chong)足的(de)循環冷(leng)卻水(shui),否則系統工(gong)作時(shi)會(hui)產生(sheng)高(gao)溫。冷(leng)卻水(shui)的(de)水(shui)源禁止使用冰鹽水(shui)或其他腐蝕性的(de)液(ye)體(ti)(ti)。建議使用普通的(de)自(zi)來水(shui)。
5、不得對真空手套箱箱體進行抽真空或充高(gao)正壓(ya),箱體承受壓(ya)力范圍(wei)為:-3000Pa~+3000Pa。
6、不得擊打、不得用利器劃傷箱體玻璃面板。
7、在對過渡(du)(du)艙(cang)抽真空時(shi)必須將過渡(du)(du)艙(cang)內門(men)(men)、外門(men)(men),過渡(du)(du)艙(cang)上的閥門(men)(men)以及(ji)過渡(du)(du)艙(cang)與箱體(ti)(ti)連接(jie)的閥門(men)(men)全部關閉(除“過渡(du)(du)艙(cang)真空閥”),以免使箱體(ti)(ti)形(xing)成負壓而損壞(huai)箱體(ti)(ti)。
8、過渡艙(cang)內門和外(wai)門不得同時打開(kai),以免外(wai)部氣體直接(jie)擴(kuo)散到(dao)箱體內,破壞潔(jie)凈環(huan)境。
9、大過(guo)渡艙(cang)門(men)要完全打開后才能推動(dong)門(men)桿(gan)把門(men)打開,以免擦刮破壞(huai)密封膠圈。
10、在開(kai)啟(qi)(qi)過(guo)渡艙(cang)(cang)內門前必(bi)須先保證過(guo)渡艙(cang)(cang)和(he)箱體之間(jian)的壓力(li)達到了平衡,否則(ze)過(guo)渡艙(cang)(cang)門無法開(kai)啟(qi)(qi),如強(qiang)行開(kai)啟(qi)(qi)會(hui)嚴重損壞過(guo)渡艙(cang)(cang)密封(feng)圈。
11、對過渡(du)艙抽真空時(shi),必須保(bao)證過渡(du)艙內沒有放置密閉常(chang)壓(易碎)容器(qi),以免損壞。
12、在對氣體凈化(hua)系(xi)統(tong)進行(xing)還(huan)原處(chu)理時必(bi)須保(bao)證有混合氣體和惰(duo)性氣體氣源,否則不能啟(qi)動系(xi)統(tong)的還(huan)原程(cheng)序。
13、氣體凈化系統的冷卻水出(chu)口必須為常開,不得安裝閥(fa)門或堵上。
14、氣體(ti)凈化(hua)系統在進行(xing)凈化(hua)程(cheng)序時(shi)必須(xu)保證箱體(ti)與(yu)氣體(ti)凈化(hua)系統之間(jian)的連接管道是暢通(tong)的。
15、氣(qi)(qi)體凈(jing)化系統的(de)廢氣(qi)(qi)排出口應單獨連(lian)接,將廢氣(qi)(qi)排出室外(wai)或妥善處理。
16、真空泵在(zai)使(shi)用時須按說明書(shu)上(shang)的(de)(de)要(yao)求操作并保證有(you)足夠的(de)(de)真空泵油(you)。當真空泵油(you)需要(yao)添加或(huo)更換時,請使(shi)用真空泵專用油(you)或(huo)該(gai)真空泵的(de)(de)原裝真空泵油(you)。