一、真空手套箱的使用方法

操作前

1、檢查氮(dan)氣(qi)瓶里是否有氮(dan)氣(qi)，氮(dan)氣(qi)要及時更換，氮(dan)氣(qi)的(de)輸出壓力設(she)定為0.5mpa。

2、檢查真空泵是否正(zheng)常開啟。

3、檢查手套箱內循(xun)環是(shi)否(fou)打開。（凈化柱-I或凈化柱-II要打開其中的(de)一(yi)個）

4、檢(jian)查設定里(li)的(de)上限(xian)壓力應(ying)為+1，下(xia)限(xian)壓力為0。

5、檢查氧和露點是否(fou)正常（氧為(wei)0.1ppm以(yi)下(xia)，露點-40以(yi)上(shang)）。

6、過(guo)渡艙真空泵(beng)應(ying)處(chu)于常開(kai)狀態。

操作時

1、系統工(gong)作中真空(kong)泵應保持開啟狀態。

2、當箱內氧(yang)(yang)氣濃(nong)度超出(chu)200PPM時(shi)，應通知設備維修人員進行系統(tong)操作(zuo)，否則會破壞水、氧(yang)(yang)凈(jing)化系統(tong)。

3、在啟(qi)動循環前做檢查(cha)，是否在進(jin)行(xing)箱體情(qing)況(kuang)或(huo)再生(sheng)。如(ru)以上提及的操作(zuo)正(zheng)在進(jin)行(xing)，絕對禁止進(jin)行(xing)循環。

4、兩(liang)個(ge)凈化柱不可(ke)以同(tong)時(shi)再(zai)生。

A、再生前先保證手套箱內已被惰性氣體清洗干凈（H2O<200ppm）保證足夠的再生氣體供應。再生氣體壓力為0.06-0.08mpa。

B、啟動再生(sheng)之(zhi)前，請(qing)先確認相(xiang)應的凈(jing)化柱循環已(yi)關閉。

C、再(zai)生過(guo)程需要24小時(shi)，一旦(dan)執行不能(neng)被斷開，再(zai)生開始后3-6小時(shi)通(tong)再(zai)生氣體注意再(zai)生氣的(de)(de)用量，適當調(diao)整(zheng)再(zai)生氣體的(de)(de)壓力(li)，包(bao)證再(zai)生氣在這3小時(shi)的(de)(de)充足(zu)供應，第6小時(shi)后可(ke)以關閉再(zai)生氣源。

D、再(zai)生過程中真空泵不可以(yi)關(guan)閉，不要觸摸凈化柱的頂部，以(yi)防燙傷。

E、再生(sheng)一(yi)旦意外終止，請保(bao)證12小時內不(bu)能(neng)重(zhong)新啟動該(gai)凈(jing)化柱(zhu)的再生(sheng)和循環否則(ze)將損壞(huai)設備(bei)。

5、作業中應(ying)注意(yi)保護作業手(shou)套不要(yao)被損壞。

二、真空手套箱的使用注意事項

1、請使用AC220V－50HZ的(de)(de)電源供電，同時注意設備的(de)(de)接地(di)良好。

2、建(jian)議使用(yong)H2含量(liang)為5％－10％的混(hun)合氣源。H2含量(liang)低(di)于5％，系統還(huan)原效果差；H2含量(liang)高于10％，可能(neng)會產生爆炸。

3、使(shi)用的(de)(de)氣源（混合氣體或(huo)惰性氣體）請保證其壓力(li)(li)值X的(de)(de)范(fan)圍如下：3kg≤X≤30kg（3bar≤X≤30bar；0.3MPA≤X≤3MPA）；當氣源的(de)(de)壓力(li)(li)值低于3kg時(shi)，系統(tong)不(bu)工作；當氣源的(de)(de)壓力(li)(li)值高于30kg時(shi)，管道可能會破裂。

4、氣體凈化系統(tong)補水箱內必須保證有充足的(de)循環冷卻(que)水，否則系統(tong)工作(zuo)時(shi)會產生高溫。冷卻(que)水的(de)水源禁止使用冰(bing)鹽水或(huo)其他腐蝕(shi)性(xing)的(de)液體。建議使用普通的(de)自來水。

5、不得對真空手套箱箱體(ti)(ti)進行抽真空或充高正壓，箱體(ti)(ti)承受壓力范圍為：-3000Pa～+3000Pa。

6、不得擊打、不得用利器劃傷(shang)箱(xiang)體玻璃面板(ban)。

7、在(zai)對過(guo)(guo)渡艙抽真空時必須將過(guo)(guo)渡艙內(nei)門(men)、外門(men)，過(guo)(guo)渡艙上的(de)閥(fa)(fa)門(men)以及過(guo)(guo)渡艙與箱(xiang)體(ti)(ti)(ti)連接的(de)閥(fa)(fa)門(men)全部關閉（除“過(guo)(guo)渡艙真空閥(fa)(fa)”），以免使箱(xiang)體(ti)(ti)(ti)形成負(fu)壓而損壞(huai)箱(xiang)體(ti)(ti)(ti)。

8、過渡艙(cang)內(nei)門和外門不得同時打(da)開，以免外部氣(qi)體直接擴散到箱體內(nei)，破壞(huai)潔(jie)凈環境。

9、大過(guo)渡艙門(men)(men)要完全打(da)開(kai)(kai)后才能推(tui)動門(men)(men)桿把(ba)門(men)(men)打(da)開(kai)(kai)，以(yi)免擦(ca)刮破壞密封膠圈。

10、在開啟過(guo)渡艙內門(men)前必須先保證過(guo)渡艙和箱體之間(jian)的壓力達到了平衡，否則(ze)過(guo)渡艙門(men)無法開啟，如強行開啟會嚴(yan)重損壞過(guo)渡艙密(mi)封圈(quan)。

11、對(dui)過渡艙抽真空時，必須保證過渡艙內(nei)沒(mei)有(you)放置密閉常壓（易碎）容器，以免(mian)損壞。

12、在對氣(qi)體凈化系(xi)統(tong)(tong)進(jin)行還原處理時必須保證(zheng)有混合氣(qi)體和惰(duo)性氣(qi)體氣(qi)源，否則不(bu)能啟動系(xi)統(tong)(tong)的還原程序。

13、氣體(ti)凈化系(xi)統的冷(leng)卻(que)水出口必須為(wei)常開，不得安裝閥(fa)門或堵上。

14、氣體(ti)凈化(hua)系統(tong)在進行凈化(hua)程序(xu)時(shi)必須保證箱體(ti)與氣體(ti)凈化(hua)系統(tong)之(zhi)間(jian)的連接(jie)管道是暢通的。

15、氣(qi)體凈(jing)化(hua)系統的廢氣(qi)排(pai)出(chu)口(kou)應單獨連接(jie)，將廢氣(qi)排(pai)出(chu)室外或妥(tuo)善處理。

16、真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)在使用時(shi)須按(an)說(shuo)明書上的要(yao)求操作并保證有足夠(gou)的真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)油。當真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)油需要(yao)添加或更(geng)換(huan)時(shi)，請使用真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)專用油或該真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)的原(yuan)裝真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)油。