一、真空手套箱的使用方法
操作前
1、檢查氮氣(qi)瓶里是否有(you)氮氣(qi),氮氣(qi)要及時更換,氮氣(qi)的輸出壓力設定為0.5mpa。
2、檢查真空泵是(shi)否正(zheng)常(chang)開啟。
3、檢查(cha)手套箱(xiang)內循環是否打開。(凈(jing)化(hua)柱-I或凈(jing)化(hua)柱-II要(yao)打開其中(zhong)的一(yi)個)
4、檢查設定(ding)里(li)的(de)上限壓(ya)力應為+1,下限壓(ya)力為0。
5、檢查氧和露點是否正常(氧為0.1ppm以下,露點-40以上)。
6、過渡艙真空(kong)泵應處于常開狀(zhuang)態。
操作時
1、系統工作中(zhong)真空泵應(ying)保持開啟狀態(tai)。
2、當箱(xiang)內氧氣濃度超出200PPM時,應通知設備維修人員進(jin)行系(xi)(xi)統操作(zuo),否則會破壞水(shui)、氧凈化系(xi)(xi)統。
3、在啟(qi)動循環(huan)前(qian)做檢查,是否在進(jin)行(xing)箱(xiang)體(ti)情(qing)況(kuang)或再生。如以上提(ti)及(ji)的操作正在進(jin)行(xing),絕對禁止進(jin)行(xing)循環(huan)。
4、兩個凈化柱不可以同時再生。
A、再生前先保證手套箱內已被惰性氣體清洗干凈(H2O<200ppm)保證足夠的再生氣體供應。再生氣體壓力為0.06-0.08mpa。
B、啟動(dong)再(zai)生之前,請先確(que)認相應的(de)凈化柱循環已關(guan)閉。
C、再(zai)生(sheng)過程需要24小時,一旦執行不能被斷開(kai),再(zai)生(sheng)開(kai)始后3-6小時通(tong)再(zai)生(sheng)氣(qi)體注意(yi)再(zai)生(sheng)氣(qi)的用量,適(shi)當調整再(zai)生(sheng)氣(qi)體的壓(ya)力,包證再(zai)生(sheng)氣(qi)在這3小時的充足(zu)供應,第6小時后可以關閉(bi)再(zai)生(sheng)氣(qi)源(yuan)。
D、再生過(guo)程中真(zhen)空泵(beng)不可以關閉,不要(yao)觸(chu)摸(mo)凈化柱(zhu)的頂(ding)部,以防(fang)燙傷。
E、再生一旦意外終止,請(qing)保證12小(xiao)時內不能重(zhong)新啟動(dong)該凈化柱的(de)再生和循環否則將損壞設備。
5、作業中應注意(yi)保護作業手套不要被損壞。
二、真空手套箱的使用注意事項
1、請使用AC220V-50HZ的(de)電源(yuan)供電,同(tong)時(shi)注意(yi)設備的(de)接地良好。
2、建議使用H2含(han)量為5%-10%的混合氣源。H2含(han)量低于5%,系統(tong)還原(yuan)效(xiao)果差;H2含(han)量高(gao)于10%,可能會產生爆炸。
3、使用(yong)的氣(qi)源(混(hun)合(he)氣(qi)體或惰性氣(qi)體)請保證其壓力值(zhi)X的范圍如下(xia):3kg≤X≤30kg(3bar≤X≤30bar;0.3MPA≤X≤3MPA);當(dang)氣(qi)源的壓力值(zhi)低(di)于3kg時,系(xi)統不工作;當(dang)氣(qi)源的壓力值(zhi)高于30kg時,管(guan)道可能會破裂。
4、氣體凈(jing)化系統(tong)補水(shui)箱內(nei)必(bi)須(xu)保證有充足的(de)(de)循環冷卻(que)水(shui),否則(ze)系統(tong)工(gong)作時會產(chan)生高溫。冷卻(que)水(shui)的(de)(de)水(shui)源(yuan)禁止使用冰鹽水(shui)或其他(ta)腐蝕性(xing)的(de)(de)液體。建議(yi)使用普通的(de)(de)自來(lai)水(shui)。
5、不得對真空手套箱箱(xiang)體進(jin)行抽(chou)真空或充高正壓(ya),箱(xiang)體承受壓(ya)力范圍為:-3000Pa~+3000Pa。
6、不得擊打、不得用利器劃傷箱體玻璃面(mian)板。
7、在(zai)對(dui)過(guo)渡(du)艙抽(chou)真空時必須將過(guo)渡(du)艙內門、外(wai)門,過(guo)渡(du)艙上(shang)的閥門以(yi)及過(guo)渡(du)艙與箱體(ti)連接的閥門全(quan)部關閉(除“過(guo)渡(du)艙真空閥”),以(yi)免使箱體(ti)形成(cheng)負壓而(er)損壞箱體(ti)。
8、過渡(du)艙內門(men)(men)和外(wai)門(men)(men)不得同(tong)時打開,以免外(wai)部氣體直接(jie)擴散到(dao)箱體內,破壞潔凈環(huan)境。
9、大過渡(du)艙門(men)要完全(quan)打(da)開(kai)后才能推動門(men)桿把門(men)打(da)開(kai),以免擦(ca)刮破壞(huai)密封膠圈。
10、在開啟(qi)過(guo)渡(du)艙內(nei)門前必(bi)須先保證過(guo)渡(du)艙和箱體(ti)之間的壓力達到(dao)了平衡,否則過(guo)渡(du)艙門無法開啟(qi),如強(qiang)行開啟(qi)會嚴(yan)重損(sun)壞過(guo)渡(du)艙密封圈。
11、對過渡艙(cang)抽真(zhen)空時(shi),必須保證過渡艙(cang)內沒(mei)有放置密閉(bi)常壓(易碎)容器,以免損壞。
12、在對氣體(ti)(ti)凈化系統(tong)進行還原處理時必須保證有(you)混(hun)合氣體(ti)(ti)和(he)惰性氣體(ti)(ti)氣源,否則不能啟(qi)動系統(tong)的還原程序。
13、氣體凈化系統(tong)的冷卻水出口(kou)必(bi)須(xu)為常開,不得安(an)裝閥(fa)門或堵上。
14、氣體(ti)凈化(hua)系統在進行凈化(hua)程(cheng)序時必須保證箱體(ti)與氣體(ti)凈化(hua)系統之間的連接管道是暢通的。
15、氣(qi)體凈(jing)化系統的廢氣(qi)排出(chu)口(kou)應單獨連接,將廢氣(qi)排出(chu)室外或妥善處理。
16、真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)在使用(yong)(yong)時須按說明書上的要求(qiu)操作并保(bao)證有足夠的真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)油(you)(you)。當真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)油(you)(you)需要添加(jia)或更換(huan)時,請使用(yong)(yong)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)專(zhuan)用(yong)(yong)油(you)(you)或該真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)的原裝真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)油(you)(you)。