一、真空手套箱的使用方法
操作前
1、檢查(cha)氮氣瓶里是否有氮氣,氮氣要及時更換,氮氣的輸出壓(ya)力設定為0.5mpa。
2、檢查(cha)真(zhen)空泵是(shi)否正(zheng)常開啟。
3、檢查手套箱(xiang)內循環是否(fou)打開(kai)。(凈(jing)化柱(zhu)-I或凈(jing)化柱(zhu)-II要打開(kai)其中的一個)
4、檢(jian)查(cha)設定里的上限(xian)壓力(li)(li)應為+1,下限(xian)壓力(li)(li)為0。
5、檢(jian)查(cha)氧和露(lu)點是(shi)否正常(chang)(氧為0.1ppm以(yi)下,露(lu)點-40以(yi)上(shang))。
6、過渡艙真空泵(beng)應處于常開狀態。
操作時
1、系統工作中真空泵應保持開啟狀態。
2、當箱內氧氣濃度超出(chu)200PPM時,應通知設備維修人員(yuan)進行系(xi)統操作,否則會破壞水、氧凈化系(xi)統。
3、在啟動(dong)循環(huan)前做檢查,是(shi)否在進行箱(xiang)體情況或再生(sheng)。如以上提(ti)及(ji)的操作正在進行,絕對禁止進行循環(huan)。
4、兩(liang)個凈化柱不可以(yi)同時再生(sheng)。
A、再生前先保證手套箱內已被惰性氣體清洗干凈(H2O<200ppm)保證足夠的再生氣體供應。再生氣體壓力為0.06-0.08mpa。
B、啟動再生之前,請(qing)先確認相應的凈化柱循(xun)環已關閉。
C、再(zai)(zai)(zai)生過程需要24小時,一旦執行(xing)不能被斷開(kai),再(zai)(zai)(zai)生開(kai)始(shi)后(hou)3-6小時通再(zai)(zai)(zai)生氣(qi)體注意再(zai)(zai)(zai)生氣(qi)的(de)用量,適(shi)當調整再(zai)(zai)(zai)生氣(qi)體的(de)壓力,包證(zheng)再(zai)(zai)(zai)生氣(qi)在這3小時的(de)充足(zu)供應,第6小時后(hou)可(ke)以關閉再(zai)(zai)(zai)生氣(qi)源。
D、再生過(guo)程中(zhong)真空泵(beng)不可以(yi)關(guan)閉,不要觸摸凈化柱的頂部(bu),以(yi)防燙傷。
E、再(zai)生一旦(dan)意(yi)外終止,請保證12小時內不能重新啟(qi)動該凈(jing)化(hua)柱的再(zai)生和循環否則將(jiang)損壞(huai)設備。
5、作業中(zhong)應(ying)注意保護(hu)作業手套不要(yao)被損壞(huai)。
二、真空手套箱的使用注意事項
1、請使用AC220V-50HZ的電(dian)源供電(dian),同時注意設備的接(jie)地良好(hao)。
2、建議使用H2含(han)量(liang)為5%-10%的混合氣(qi)源。H2含(han)量(liang)低于(yu)5%,系統還原效果差;H2含(han)量(liang)高于(yu)10%,可能會(hui)產生爆炸(zha)。
3、使用的(de)氣源(混(hun)合氣體或惰性氣體)請保證其壓(ya)力(li)值X的(de)范圍(wei)如下:3kg≤X≤30kg(3bar≤X≤30bar;0.3MPA≤X≤3MPA);當氣源的(de)壓(ya)力(li)值低于3kg時,系統不工作;當氣源的(de)壓(ya)力(li)值高于30kg時,管道(dao)可能(neng)會破裂。
4、氣體凈化系統(tong)補水(shui)(shui)箱內必須保證有充(chong)足的循環冷(leng)卻水(shui)(shui),否則系統(tong)工作時(shi)會產(chan)生高溫。冷(leng)卻水(shui)(shui)的水(shui)(shui)源禁止使用冰鹽水(shui)(shui)或其他(ta)腐蝕性的液體。建議使用普(pu)通的自(zi)來水(shui)(shui)。
5、不得對真空手套箱箱(xiang)體(ti)進行(xing)抽真空或充(chong)高正壓,箱(xiang)體(ti)承(cheng)受壓力范圍為:-3000Pa~+3000Pa。
6、不得擊打、不得用利器劃(hua)傷箱體玻璃面板。
7、在對過(guo)渡艙(cang)抽真空時必須將過(guo)渡艙(cang)內門(men)、外門(men),過(guo)渡艙(cang)上的閥門(men)以及(ji)過(guo)渡艙(cang)與箱(xiang)體(ti)連接(jie)的閥門(men)全部關閉(除“過(guo)渡艙(cang)真空閥”),以免使箱(xiang)體(ti)形成負壓(ya)而損壞(huai)箱(xiang)體(ti)。
8、過渡艙內(nei)門和外門不得同時打開,以免(mian)外部氣體直(zhi)接(jie)擴散到(dao)箱(xiang)體內(nei),破壞潔凈環(huan)境。
9、大過渡艙門(men)(men)要完全打(da)開后才能推動門(men)(men)桿把門(men)(men)打(da)開,以免擦(ca)刮(gua)破壞密封膠圈。
10、在開啟過(guo)(guo)渡(du)艙內門前必須先保證過(guo)(guo)渡(du)艙和箱體之間(jian)的壓力達到了平衡(heng),否則過(guo)(guo)渡(du)艙門無法開啟,如(ru)強(qiang)行(xing)開啟會嚴重損壞過(guo)(guo)渡(du)艙密封(feng)圈。
11、對過渡艙(cang)(cang)抽真空時,必須保證過渡艙(cang)(cang)內沒(mei)有放置密(mi)閉常壓(易碎(sui))容器,以免損壞。
12、在對氣體(ti)(ti)凈化(hua)系(xi)統進行還原(yuan)處理時必(bi)須保證(zheng)有(you)混(hun)合氣體(ti)(ti)和惰性氣體(ti)(ti)氣源,否則不能啟動系(xi)統的(de)還原(yuan)程序。
13、氣體凈化系(xi)統的(de)冷(leng)卻水出(chu)口必須為(wei)常開,不得(de)安裝閥門或堵上。
14、氣體凈(jing)化系統在進(jin)行凈(jing)化程序時必須保證箱體與氣體凈(jing)化系統之間的連接管道是暢通的。
15、氣體凈化系統的廢(fei)氣排出(chu)口(kou)應單獨(du)連(lian)接,將(jiang)廢(fei)氣排出(chu)室(shi)外或妥善(shan)處(chu)理。
16、真(zhen)空(kong)泵在使用(yong)時須(xu)按(an)說(shuo)明書上的(de)要求操作(zuo)并保證有足夠的(de)真(zhen)空(kong)泵油。當(dang)真(zhen)空(kong)泵油需(xu)要添(tian)加或更換時,請使用(yong)真(zhen)空(kong)泵專(zhuan)用(yong)油或該真(zhen)空(kong)泵的(de)原裝真(zhen)空(kong)泵油。