一、手套箱的泄漏率是什么

手套箱的(de)泄(xie)漏率是(shi)手(shou)(shou)套箱(xiang)(xiang)最重要(yao)的(de)一(yi)個指標，指的(de)是(shi)在(zai)設定的(de)壓力下，通(tong)常(chang)在(zai)負壓下，單(dan)位(wei)時(shi)間(jian)內空氣(qi)泄(xie)漏入(ru)手(shou)(shou)套箱(xiang)(xiang)的(de)速(su)度，通(tong)常(chang)以(yi)每小時(shi)泄(xie)漏多少(shao)個箱(xiang)(xiang)體體積，即(ji)vol/h來(lai)描述。例如，將箱(xiang)(xiang)壓為(wei)-10mbar下，在(zai)4小時(shi)內1升空氣(qi)泄(xie)漏入(ru)一(yi)個單(dan)工位(wei)手(shou)(shou)套箱(xiang)(xiang)（箱(xiang)(xiang)體體積為(wei)750升），其泄(xie)漏率＝1升/750升/4小時(shi)＝1/3000＝0.03％/小時(shi)。一(yi)般(ban)手(shou)(shou)套箱(xiang)(xiang)的(de)漏氣(qi)率為(wei)小于0.05%/小時(shi)，此手(shou)(shou)套箱(xiang)(xiang)合格。

二、手套箱的氣體凈化系統為什么需要再生

手套箱(xiang)的氣體凈(jing)化柱中裝有水(shui)(shui)和氧氣吸附(fu)材料，新的材料的吸附(fu)能力最強，吸附(fu)速(su)度(du)(du)最快。隨著被吸附(fu)的雜質(zhi)量的增加，吸附(fu)劑(ji)的吸附(fu)速(su)度(du)(du)將逐漸下(xia)降，導致手套箱(xiang)內的水(shui)(shui)氧濃度(du)(du)逐漸上(shang)升。而且，如果操作過(guo)程中帶入(ru)少量水(shui)(shui)氧導致水(shui)(shui)氧濃度(du)(du)上(shang)升，水(shui)(shui)氧濃度(du)(du)要恢(hui)(hui)復(fu)到操作前的水(shui)(shui)平需(xu)要更長的時(shi)間(jian)。當水(shui)(shui)氧濃度(du)(du)或水(shui)(shui)氧濃度(du)(du)的恢(hui)(hui)復(fu)時(shi)間(jian)達到不可接(jie)受(shou)的情(qing)況下(xia)，凈(jing)化柱就需(xu)要再生(sheng)了。

三、手套箱多長時間再生一次

凈(jing)化(hua)柱的再生間(jian)隔由兩個因素決定(ding)的。

1、凈(jing)化柱(zhu)的(de)吸(xi)附量(liang)，即當(dang)吸(xi)附柱(zhu)吸(xi)附雜質到一定(ding)量(liang)后，其純化能(neng)(neng)力已不(bu)能(neng)(neng)維持水(shui)氧濃(nong)度在要(yao)求(qiu)范圍內或(huo)水(shui)氧濃(nong)度恢復速度不(bu)能(neng)(neng)滿足要(yao)求(qiu)。手套箱的(de)凈(jing)化柱(zhu)的(de)吸(xi)附量(liang)通(tong)常為20－60升O2。

2、手套箱的泄漏率和操作時引入雜質的量。

a）手套(tao)箱的(de)泄(xie)漏率通(tong)常為<0.05%/hr，即(ji)57升O2/月。威格的(de)超(chao)低泄(xie)漏率為<0.001%vol/h，即(ji)1升O2/月。

b）操作時會(hui)引(yin)(yin)入(ru)少(shao)量水氧(yang)(yang)(yang)，但只要按照操作規程(cheng)，沒有嚴(yan)重誤操作，水氧(yang)(yang)(yang)被引(yin)(yin)入(ru)手(shou)套箱內是(shi)非常有限(xian)的(de)。一年(nian)因(yin)操作引(yin)(yin)入(ru)的(de)水氧(yang)(yang)(yang)也不會(hui)超過凈(jing)化柱的(de)吸附(fu)量。

由此可見，只要遵循手套箱的操作規程，雜質進入手套箱的(de)(de)(de)主要渠道(dao)是通(tong)過(guo)手(shou)套箱(xiang)上的(de)(de)(de)連接處和手(shou)套泄漏進去的(de)(de)(de)。所以，手(shou)套箱(xiang)的(de)(de)(de)泄漏率決(jue)定了(le)再生間(jian)隔，通(tong)常在一個月到一年之間(jian)。