一、全自動探針臺主要由什么組成
全自動探(tan)(tan)(tan)針臺是一種(zhong)用(yong)于(yu)(yu)半(ban)導體(ti)行(xing)(xing)業(ye)的(de)重要設備,主要用(yong)于(yu)(yu)在制(zhi)造集成電路的(de)過程(cheng)中對(dui)芯(xin)片進行(xing)(xing)測試(shi)和(he)(he)驗證(zheng)。探(tan)(tan)(tan)針是用(yong)來與芯(xin)片上的(de)接(jie)觸點(dian)進行(xing)(xing)接(jie)觸并測試(shi)其(qi)性能(neng)的(de)工具(ju),而探(tan)(tan)(tan)針臺則是用(yong)于(yu)(yu)控制(zhi)探(tan)(tan)(tan)針的(de)精確位(wei)置和(he)(he)操作,以(yi)及進行(xing)(xing)數據(ju)采(cai)集和(he)(he)處理的(de)重要設備。
全自動探針臺的結構包括以下幾個主(zhu)要部分:
1、機械系統:機械系統(tong)是核心(xin)部分,它包括一(yi)個精(jing)密的(de)XYZ坐標系,用于控制探針的(de)移動(dong)。這個坐標系通常由高精(jing)度的(de)直線(xian)導(dao)軌、伺服電(dian)機和(he)光學(xue)編(bian)碼器(qi)組(zu)成。此外,機械系統(tong)還包括一(yi)個可以容納多個探針的(de)探針座,以及一(yi)個可以自動(dong)更換(huan)探針的(de)裝置。
2、光學系統:光學系(xi)統是重要(yao)部分之一,它(ta)包(bao)括一個高(gao)精度的(de)顯微鏡(jing)和(he)一組用于照明和(he)觀(guan)察芯(xin)片的(de)鏡(jing)頭。通過光學系(xi)統,操作(zuo)者(zhe)可以清晰地(di)觀(guan)察到芯(xin)片上的(de)接觸點,并將探針準確(que)地(di)放(fang)置在接觸點上。
3、電氣系統:電(dian)氣系統是(shi)控(kong)制(zhi)中(zhong)心(xin),它包括(kuo)一個(ge)主控(kong)制(zhi)器、一個(ge)電(dian)源和(he)一個(ge)與(yu)計算機連接(jie)的數(shu)(shu)據(ju)接(jie)口(kou)。主控(kong)制(zhi)器用(yong)于控(kong)制(zhi)機械系統和(he)光學系統的操作,電(dian)源用(yong)于提供能(neng)量,而數(shu)(shu)據(ju)接(jie)口(kou)則用(yong)于將測試數(shu)(shu)據(ju)傳輸到計算機中(zhong)進行處理和(he)分析。
4、軟件系統:軟(ruan)件系(xi)統是關鍵(jian)部(bu)分之一(yi),它控制(zhi)著(zhu)整個測試過程,包括探(tan)針的移動、測試信號的施加和(he)(he)測量(liang)、以及數據的采集和(he)(he)處理等。軟(ruan)件系(xi)統通常(chang)采用圖(tu)形用戶界面(GUI)來方便(bian)操(cao)作(zuo)者進行(xing)操(cao)作(zuo)和(he)(he)監(jian)控。
二、國產與進口全自動探針臺區別介紹
在選購全自(zi)動(dong)探(tan)針(zhen)臺時,很多人會(hui)糾結是買進口的(de)還是國(guo)產(chan)的(de),想知道(dao)國(guo)產(chan)與進口全自(zi)動(dong)探(tan)針(zhen)臺區別有哪些?
1、探針數量
國產(chan)和進口全(quan)自(zi)動(dong)(dong)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺的主要區別(bie)在于探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)數量的不同(tong)。國產(chan)全(quan)自(zi)動(dong)(dong)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺采用的是單探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)或(huo)雙探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)設計,而進口全(quan)自(zi)動(dong)(dong)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺則一般配備三(san)至六個(ge)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)。
2、精度
在精度(du)方面,進口(kou)(kou)全自動探針臺通常(chang)比國產探針臺更精確。這是因為許(xu)多(duo)進口(kou)(kou)探針臺采用了先進的(de)微機控制系統和高精度(du)傳動系統,具備更高的(de)測(ce)量精度(du)和可重復(fu)性。
3、使用壽命
進口全自動探針臺(tai)通(tong)常(chang)采(cai)用的(de)(de)是優質材料和(he)(he)制(zhi)(zhi)造工藝,具有更長的(de)(de)使用壽(shou)(shou)命和(he)(he)更好(hao)的(de)(de)穩定(ding)性。而國產探針臺(tai)由于材料和(he)(he)制(zhi)(zhi)造工藝的(de)(de)限制(zhi)(zhi),使用壽(shou)(shou)命和(he)(he)穩定(ding)性方面可能存(cun)在(zai)一定(ding)的(de)(de)差(cha)距。