一、全自動探針臺主要由什么組成
全自(zi)動(dong)探針臺是一種用于(yu)半導體行業的(de)重要(yao)(yao)設備,主要(yao)(yao)用于(yu)在制造集成電路的(de)過程中對芯片(pian)進(jin)行測(ce)試和(he)驗證(zheng)。探針是用來與(yu)芯片(pian)上(shang)的(de)接觸(chu)點進(jin)行接觸(chu)并(bing)測(ce)試其(qi)性能(neng)的(de)工具,而探針臺則是用于(yu)控(kong)制探針的(de)精確位置和(he)操作(zuo),以及進(jin)行數據采集和(he)處理的(de)重要(yao)(yao)設備。
全自動探針臺的結構包括以下幾(ji)個主(zhu)要部分:
1、機械系統:機械系(xi)統是核心部分,它包括一個(ge)(ge)精密的(de)(de)XYZ坐標(biao)系(xi),用(yong)于(yu)控制探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)的(de)(de)移(yi)動(dong)。這個(ge)(ge)坐標(biao)系(xi)通常由高精度的(de)(de)直(zhi)線(xian)導軌、伺服(fu)電機和光(guang)學編碼器組(zu)成。此(ci)外,機械系(xi)統還(huan)包括一個(ge)(ge)可以容納多個(ge)(ge)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)的(de)(de)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)座,以及一個(ge)(ge)可以自動(dong)更換探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)的(de)(de)裝置。
2、光學系統:光(guang)學系統是重要(yao)部分之一,它包括一個高精(jing)度的顯微鏡和(he)一組用(yong)于照明和(he)觀察芯片(pian)的鏡頭。通過光(guang)學系統,操作(zuo)者可以(yi)清晰地(di)觀察到芯片(pian)上(shang)的接觸(chu)點,并將(jiang)探針準確地(di)放置在接觸(chu)點上(shang)。
3、電氣系統:電(dian)氣系(xi)(xi)統是控(kong)制中心,它(ta)包括一(yi)(yi)個(ge)主(zhu)(zhu)控(kong)制器、一(yi)(yi)個(ge)電(dian)源(yuan)和(he)一(yi)(yi)個(ge)與計算機連(lian)接(jie)(jie)的(de)數(shu)據(ju)接(jie)(jie)口。主(zhu)(zhu)控(kong)制器用(yong)于控(kong)制機械系(xi)(xi)統和(he)光學(xue)系(xi)(xi)統的(de)操(cao)作,電(dian)源(yuan)用(yong)于提供能量,而數(shu)據(ju)接(jie)(jie)口則用(yong)于將(jiang)測試數(shu)據(ju)傳輸到(dao)計算機中進(jin)行處理(li)和(he)分析。
4、軟件系統:軟件系統是關鍵(jian)部(bu)分之一,它控(kong)制著(zhu)整個(ge)測(ce)試(shi)(shi)過程,包括探針的(de)(de)移(yi)動、測(ce)試(shi)(shi)信號的(de)(de)施(shi)加和測(ce)量(liang)、以(yi)及(ji)數據的(de)(de)采集和處理等。軟件系統通常采用圖形用戶界面(GUI)來方便操作(zuo)者進行操作(zuo)和監控(kong)。
二、國產與進口全自動探針臺區別介紹
在選購全(quan)自動(dong)探(tan)針臺時,很多人會糾結是買進(jin)口(kou)的(de)還是國產的(de),想知道國產與進(jin)口(kou)全(quan)自動(dong)探(tan)針臺區別有哪些(xie)?
1、探針數量
國產和(he)進口(kou)全自動探(tan)針(zhen)臺的(de)主要區別在(zai)于探(tan)針(zhen)數量的(de)不同(tong)。國產全自動探(tan)針(zhen)臺采用的(de)是單探(tan)針(zhen)或雙探(tan)針(zhen)設計,而進口(kou)全自動探(tan)針(zhen)臺則一般配備三至(zhi)六(liu)個探(tan)針(zhen)。
2、精度
在精度(du)(du)方面(mian),進(jin)口(kou)全自動探針(zhen)臺通常比國產探針(zhen)臺更(geng)精確(que)。這是因(yin)為許多進(jin)口(kou)探針(zhen)臺采用了先進(jin)的(de)微機控(kong)制系統和(he)高(gao)精度(du)(du)傳動系統,具備(bei)更(geng)高(gao)的(de)測(ce)量精度(du)(du)和(he)可重復性。
3、使用壽命
進口全自(zi)動探(tan)針(zhen)臺通常(chang)采用(yong)的是優質材料和制造(zao)工藝(yi),具有更(geng)長的使(shi)用(yong)壽命和更(geng)好(hao)的穩定(ding)性。而國(guo)產(chan)探(tan)針(zhen)臺由于材料和制造(zao)工藝(yi)的限制,使(shi)用(yong)壽命和穩定(ding)性方面可能存(cun)在(zai)一定(ding)的差距。