一、全自動探針臺主要由什么組成
全自動探(tan)(tan)針(zhen)臺是一種用(yong)(yong)于半導體(ti)行業的(de)(de)重要設備,主要用(yong)(yong)于在制造集(ji)(ji)成電路的(de)(de)過程中對芯片進行測(ce)試(shi)(shi)和驗(yan)證。探(tan)(tan)針(zhen)是用(yong)(yong)來與芯片上的(de)(de)接觸(chu)點進行接觸(chu)并(bing)測(ce)試(shi)(shi)其性能的(de)(de)工具,而探(tan)(tan)針(zhen)臺則是用(yong)(yong)于控制探(tan)(tan)針(zhen)的(de)(de)精確位置和操作,以及進行數據(ju)采集(ji)(ji)和處理的(de)(de)重要設備。
全自動探針臺的結構包括以下幾個主要部分:
1、機械系統:機械(xie)系統是核心部分(fen),它包括(kuo)一個(ge)精密(mi)的XYZ坐標(biao)系,用于控制探(tan)針(zhen)的移動。這(zhe)個(ge)坐標(biao)系通(tong)常由高精度的直(zhi)線導(dao)軌、伺服電機和光學編碼器(qi)組成。此外,機械(xie)系統還(huan)包括(kuo)一個(ge)可(ke)以(yi)容(rong)納多個(ge)探(tan)針(zhen)的探(tan)針(zhen)座(zuo),以(yi)及一個(ge)可(ke)以(yi)自動更換探(tan)針(zhen)的裝置。
2、光學系統:光(guang)學(xue)系統是重(zhong)要部(bu)分之一(yi)(yi),它包括(kuo)一(yi)(yi)個高精度的顯微鏡(jing)和一(yi)(yi)組(zu)用(yong)于照明和觀(guan)察(cha)芯(xin)片的鏡(jing)頭。通過(guo)光(guang)學(xue)系統,操(cao)作者可以清晰地(di)觀(guan)察(cha)到芯(xin)片上的接觸點,并將探(tan)針準確地(di)放(fang)置在接觸點上。
3、電氣系統:電(dian)氣系統是控(kong)制中心,它包括一(yi)個主控(kong)制器(qi)、一(yi)個電(dian)源和(he)一(yi)個與計(ji)算機連接的數(shu)據(ju)接口(kou)。主控(kong)制器(qi)用(yong)于(yu)(yu)控(kong)制機械系統和(he)光學系統的操作,電(dian)源用(yong)于(yu)(yu)提供能量(liang),而(er)數(shu)據(ju)接口(kou)則用(yong)于(yu)(yu)將測試數(shu)據(ju)傳輸到計(ji)算機中進行處理和(he)分(fen)析。
4、軟件系統:軟(ruan)件系統(tong)是關鍵部分之一,它控制著(zhu)整個測試過程,包括探針的(de)移動、測試信號的(de)施加(jia)和(he)(he)測量、以及數據的(de)采(cai)(cai)集和(he)(he)處理等(deng)。軟(ruan)件系統(tong)通常采(cai)(cai)用(yong)圖形用(yong)戶界面(mian)(GUI)來方便操作(zuo)者進行(xing)操作(zuo)和(he)(he)監(jian)控。
二、國產與進口全自動探針臺區別介紹
在選(xuan)購全自(zi)動探針臺時,很多人會糾結(jie)是買(mai)進口的(de)還是國(guo)產的(de),想知道國(guo)產與進口全自(zi)動探針臺區(qu)別有哪些?
1、探針數量
國產(chan)和進口(kou)全(quan)自(zi)(zi)(zi)動探(tan)針(zhen)臺的主要區別在于探(tan)針(zhen)數量的不(bu)同。國產(chan)全(quan)自(zi)(zi)(zi)動探(tan)針(zhen)臺采(cai)用的是單探(tan)針(zhen)或雙探(tan)針(zhen)設(she)計,而進口(kou)全(quan)自(zi)(zi)(zi)動探(tan)針(zhen)臺則一般配備三(san)至六個探(tan)針(zhen)。
2、精度
在精(jing)度方面(mian),進(jin)(jin)口全(quan)自動探針(zhen)臺通常比(bi)國產探針(zhen)臺更精(jing)確。這是(shi)因為許多(duo)進(jin)(jin)口探針(zhen)臺采用(yong)了先進(jin)(jin)的微機控制系統和(he)高精(jing)度傳(chuan)動系統,具備更高的測量(liang)精(jing)度和(he)可重復性。
3、使用壽命
進(jin)口(kou)全自動探針臺通(tong)常(chang)采用的(de)是優質材(cai)料和制造(zao)工藝(yi),具有更(geng)長的(de)使(shi)用壽命和更(geng)好的(de)穩(wen)定性。而國產探針臺由于材(cai)料和制造(zao)工藝(yi)的(de)限制,使(shi)用壽命和穩(wen)定性方(fang)面可能存在(zai)一定的(de)差距。