一、什么是探針臺

探針臺(tai)（Probe Station）是一種用于對半導(dao)體器件(jian)進(jin)行電性(xing)能測(ce)試的重要設(she)備。它(ta)通常由精密的機械結構、高性(xing)能的探針針頭和(he)電性(xing)能測(ce)試儀器組成(cheng)。探針臺(tai)可(ke)以對半導(dao)體芯片、集成(cheng)電路和(he)其他微電子(zi)器件(jian)進(jin)行直接的電性(xing)能測(ce)試，從而(er)為(wei)研究和(he)生產提(ti)供有(you)價(jia)值的信息。

二、探針臺的分類有哪些

一般根據用戶測(ce)試樣品、測(ce)試環(huan)境、應(ying)用類別(bie)、產品級別(bie)以(yi)及操作方(fang)式分(fen)類，如下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶圓測(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、LED測(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、功率器件(jian)測(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、MEMS測(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、PCB測(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、液晶面板測(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、太(tai)陽能電池片測(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、材料表面電阻率測(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、納米器件(jian)測(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高頻、射(she)頻及(ji)微波測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、高/低溫(wen)環(huan)境(jing)測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、高/低溫(wen)真(zhen)空環(huan)境(jing)測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、低電流（fA級(ji)）測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、高壓(ya)、大電流測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、特殊(shu)氣體(ti)環(huan)境(jing)測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、磁場(chang)環(huan)境(jing)測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、雙面點針(zhen)測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、全封(feng)閉式(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)（非真(zhen)空環(huan)境(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡易型(xing)探針(zhen)臺(tai)(tai)、標準型(xing)探針(zhen)臺(tai)(tai)、分析型(xing)探針(zhen)臺(tai)(tai)、高端型(xing)探針(zhen)臺(tai)(tai)。

4、按操作方式可分為：手動(dong)型(xing)、半自動(dong)型(xing)、全(quan)自動(dong)型(xing)。

5、按特殊應用測試分為：非標準(zhun)類結(jie)構測試探(tan)針(zhen)臺。