一、什么是探針臺

探針(zhen)(zhen)臺(tai)（Probe Station）是一種用于對(dui)半導體器(qi)件(jian)進行電性(xing)能測(ce)(ce)試(shi)的重(zhong)要設(she)備。它通常(chang)由精密(mi)的機械結(jie)構、高性(xing)能的探針(zhen)(zhen)針(zhen)(zhen)頭和(he)電性(xing)能測(ce)(ce)試(shi)儀器(qi)組(zu)成。探針(zhen)(zhen)臺(tai)可以對(dui)半導體芯片、集成電路和(he)其他微電子器(qi)件(jian)進行直(zhi)接(jie)的電性(xing)能測(ce)(ce)試(shi)，從而為(wei)研(yan)究和(he)生產提供有(you)價值的信息。

二、探針臺的分類有哪些

一般(ban)根(gen)據用戶測試樣品、測試環(huan)境、應用類(lei)別(bie)、產品級(ji)別(bie)以及操(cao)作方式(shi)分類(lei)，如(ru)下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶圓測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)、LED測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)、功率(lv)器件(jian)測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)、MEMS測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)、PCB測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)、液晶面板測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)、太(tai)陽能電池(chi)片(pian)測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)、材(cai)料表面電阻率(lv)測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)、納米器件(jian)測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高頻(pin)(pin)、射頻(pin)(pin)及(ji)微波測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、高/低溫環(huan)(huan)境(jing)(jing)測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、高/低溫真(zhen)空環(huan)(huan)境(jing)(jing)測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、低電(dian)流（fA級(ji)）測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、高壓(ya)、大電(dian)流測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、特殊(shu)氣體環(huan)(huan)境(jing)(jing)測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、磁場(chang)環(huan)(huan)境(jing)(jing)測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、雙(shuang)面點(dian)針(zhen)測(ce)試(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、全封(feng)閉式探(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)（非(fei)真(zhen)空環(huan)(huan)境(jing)(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡易型(xing)(xing)探(tan)(tan)針臺(tai)、標準型(xing)(xing)探(tan)(tan)針臺(tai)、分析型(xing)(xing)探(tan)(tan)針臺(tai)、高(gao)端型(xing)(xing)探(tan)(tan)針臺(tai)。

4、按操作方式可分為：手動型、半自動型、全自動型。

5、按特殊應用測試分為：非標(biao)準類結(jie)構測(ce)試探針臺。