一、什么是探針臺

探針臺(tai)（Probe Station）是一種用于對(dui)半導體(ti)器件(jian)進(jin)行電性(xing)能測試(shi)的(de)重要設備(bei)。它通(tong)常(chang)由精密的(de)機(ji)械結構、高性(xing)能的(de)探針針頭和(he)電性(xing)能測試(shi)儀器組成。探針臺(tai)可(ke)以對(dui)半導體(ti)芯片、集成電路和(he)其他(ta)微電子器件(jian)進(jin)行直接的(de)電性(xing)能測試(shi)，從而為研究和(he)生(sheng)產提供有價(jia)值(zhi)的(de)信息。

二、探針臺的分類有哪些

一般根據用(yong)戶(hu)測(ce)試樣品、測(ce)試環(huan)境、應用(yong)類別(bie)(bie)、產品級別(bie)(bie)以及操作方式分類，如(ru)下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶圓測(ce)試(shi)探針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、LED測(ce)試(shi)探針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、功率器(qi)件(jian)測(ce)試(shi)探針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、MEMS測(ce)試(shi)探針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、PCB測(ce)試(shi)探針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、液晶面板(ban)測(ce)試(shi)探針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、太(tai)陽(yang)能(neng)電(dian)池片測(ce)試(shi)探針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、材料表面電(dian)阻率測(ce)試(shi)探針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)、納米器(qi)件(jian)測(ce)試(shi)探針(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)頻(pin)、射頻(pin)及微波測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、高(gao)/低(di)(di)溫環境(jing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、高(gao)/低(di)(di)溫真(zhen)空環境(jing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、低(di)(di)電流（fA級）測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、高(gao)壓、大電流測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、特殊(shu)氣(qi)體環境(jing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、磁(ci)場環境(jing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、雙面點針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、全封(feng)閉(bi)式(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)（非真(zhen)空環境(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡(jian)易型探(tan)針(zhen)臺、標準型探(tan)針(zhen)臺、分析型探(tan)針(zhen)臺、高端型探(tan)針(zhen)臺。

4、按操作方式可分為：手動(dong)(dong)型、半(ban)自(zi)動(dong)(dong)型、全自(zi)動(dong)(dong)型。

5、按特殊應用測試分為：非標準類結構測試探針(zhen)臺。