一、什么是探針臺

探針臺（Probe Station）是一種用(yong)于對半導(dao)體器(qi)(qi)件進行電(dian)性能(neng)測試(shi)的(de)重(zhong)要(yao)設備。它通常由精(jing)密的(de)機械結(jie)構、高性能(neng)的(de)探針針頭和電(dian)性能(neng)測試(shi)儀器(qi)(qi)組成(cheng)。探針臺可以對半導(dao)體芯片(pian)、集成(cheng)電(dian)路和其(qi)他(ta)微電(dian)子器(qi)(qi)件進行直接的(de)電(dian)性能(neng)測試(shi)，從而為研究和生產提供有價值的(de)信息。

二、探針臺的分類有哪些

一般根(gen)據用(yong)戶測試(shi)樣(yang)品、測試(shi)環境、應用(yong)類別、產品級(ji)別以及操作(zuo)方式分類，如下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶(jing)圓測(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、LED測(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、功(gong)率(lv)器件(jian)測(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、MEMS測(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、PCB測(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、液晶(jing)面板測(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、太陽能電池片測(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、材料表面電阻率(lv)測(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺、納米(mi)器件(jian)測(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)頻、射頻及微波測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、高(gao)/低溫環(huan)境(jing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、高(gao)/低溫真空(kong)環(huan)境(jing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、低電流（fA級(ji)）測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、高(gao)壓、大電流測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、特殊氣體環(huan)境(jing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、磁場環(huan)境(jing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、雙面點針測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、全封閉式探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)（非(fei)真空(kong)環(huan)境(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡易型(xing)探針(zhen)(zhen)臺、標準(zhun)型(xing)探針(zhen)(zhen)臺、分析型(xing)探針(zhen)(zhen)臺、高端型(xing)探針(zhen)(zhen)臺。

4、按操作方式可分為：手動(dong)型(xing)、半(ban)自動(dong)型(xing)、全自動(dong)型(xing)。

5、按特殊應用測試分為：非標準類結構測試探(tan)針臺(tai)。