一、什么是探針臺

探針(zhen)(zhen)臺(tai)（Probe Station）是一種用于(yu)對(dui)半導體(ti)器(qi)件進行電(dian)性(xing)能(neng)(neng)測試(shi)(shi)的重要設備。它通常由精密的機械結構(gou)、高性(xing)能(neng)(neng)的探針(zhen)(zhen)針(zhen)(zhen)頭和電(dian)性(xing)能(neng)(neng)測試(shi)(shi)儀器(qi)組成。探針(zhen)(zhen)臺(tai)可以(yi)對(dui)半導體(ti)芯片、集成電(dian)路和其他微電(dian)子器(qi)件進行直接的電(dian)性(xing)能(neng)(neng)測試(shi)(shi)，從而為(wei)研究和生產(chan)提供有價值的信息(xi)。

二、探針臺的分類有哪些

一(yi)般根據用(yong)戶測試樣品、測試環境、應用(yong)類別、產品級別以(yi)及操作(zuo)方式(shi)分類，如下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶圓測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、LED測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、功率器件測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、MEMS測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、PCB測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、液晶面(mian)(mian)板(ban)測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、太陽能電池片(pian)測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、材(cai)料(liao)表面(mian)(mian)電阻率測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、納米器件測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高頻(pin)(pin)、射(she)頻(pin)(pin)及(ji)微波測試(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、高/低溫環(huan)(huan)境(jing)測試(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、高/低溫真空環(huan)(huan)境(jing)測試(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、低電(dian)流（fA級(ji)）測試(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、IC/IV/p-IV測試(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、高壓、大電(dian)流測試(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、特(te)殊氣體環(huan)(huan)境(jing)測試(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、磁場(chang)環(huan)(huan)境(jing)測試(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、雙面點針(zhen)(zhen)測試(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、全封閉式探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)（非(fei)真空環(huan)(huan)境(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡易型(xing)(xing)探針(zhen)(zhen)臺(tai)、標準(zhun)型(xing)(xing)探針(zhen)(zhen)臺(tai)、分(fen)析型(xing)(xing)探針(zhen)(zhen)臺(tai)、高(gao)端型(xing)(xing)探針(zhen)(zhen)臺(tai)。

4、按操作方式可分為：手動型、半(ban)自動型、全(quan)自動型。

5、按特殊應用測試分為：非標準(zhun)類結構(gou)測試(shi)探針臺。