中科院(yuan)長春光(guang)(guang)學精密機(ji)械與物理研(yan)(yan)究(jiu)(jiu)所(suo)研(yan)(yan)究(jiu)(jiu)人員開(kai)發了(le)一種新型(xing)飛秒激光(guang)(guang)等離子(zi)激元光(guang)(guang)刻技(ji)術（FPL）。利(li)用該技(ji)術，研(yan)(yan)究(jiu)(jiu)人員在(zai)百納米(mi)厚的硅基氧化石墨烯薄膜(mo)表面實現了(le)高質量(liang)微納周(zhou)期結構的快速(su)制(zhi)備，首次證明了(le)FPL技(ji)術在(zai)二(er)維薄膜(mo)材料上(shang)能夠實現大(da)面積高質量(liang)亞微米(mi)周(zhou)期結構的快速(su)制(zhi)備。

在(zai)此之前(qian)，在(zai)石墨烯上制備微(wei)納結構的技術(shu)有自組裝(zhuang)、電子束刻蝕和(he)極紫外光刻等，但這(zhe)些(xie)技術(shu)存(cun)在(zai)著(zhu)耗時(shi)長、成本高、缺乏通(tong)用(yong)性等問(wen)題(ti)。

FPL技(ji)術加工過程(cheng)不易受(shou)材(cai)料(liao)(liao)表(biao)面缺陷、雜質等因素的(de)(de)影響，加工基(ji)底(di)也不易受(shou)到材(cai)料(liao)(liao)種類的(de)(de)限制。加工材(cai)料(liao)(liao)表(biao)現出了優(you)異的(de)(de)機(ji)械性能，可以利用傳統的(de)(de)濕轉(zhuan)(zhuan)移法(fa)進行完整轉(zhuan)(zhuan)移。這(zhe)為相關材(cai)料(liao)(liao)周期性微納(na)結構的(de)(de)靈活制備(bei)奠定(ding)了基(ji)礎。