研究人員開發(fa)出新型飛(fei)秒激(ji)光等離子激(ji)元光刻(ke)技術(FPL),該技術可在二維薄(bo)膜(mo)材料(liao)(liao)上能夠實現大面(mian)積(ji)高質(zhi)量(liang)亞微(wei)米周(zhou)期(qi)(qi)結(jie)構的快速制(zhi)備。加(jia)工(gong)過程不易受材料(liao)(liao)表面(mian)缺陷、雜(za)質(zhi)等因素的影響,加(jia)工(gong)基(ji)(ji)底也不易受到(dao)材料(liao)(liao)種類的限制(zhi)。為相關材料(liao)(liao)周(zhou)期(qi)(qi)性(xing)微(wei)納結(jie)構的靈(ling)活制(zhi)備奠定了基(ji)(ji)礎(chu)。
中(zhong)科院長(chang)春光(guang)學精密(mi)機械與物(wu)理研(yan)(yan)究所(suo)研(yan)(yan)究人(ren)員開發了一種(zhong)新型飛秒激光(guang)等離子(zi)激元(yuan)光(guang)刻技(ji)術(FPL)。利(li)用該(gai)技(ji)術,研(yan)(yan)究人(ren)員在百納米厚的(de)硅基氧(yang)化石墨(mo)烯(xi)薄膜表(biao)面實現了高質量微(wei)納周(zhou)期結構(gou)的(de)快速(su)制(zhi)備,首(shou)次證明了FPL技(ji)術在二維薄膜材料(liao)上能夠(gou)實現大面積(ji)高質量亞微(wei)米周(zhou)期結構(gou)的(de)快速(su)制(zhi)備。
在(zai)(zai)此之前,在(zai)(zai)石(shi)墨烯上制備(bei)微納結(jie)構的技術有(you)自(zi)組裝、電子束刻(ke)蝕和極紫外光刻(ke)等,但這些技術存在(zai)(zai)著耗時長、成本(ben)高、缺乏(fa)通用(yong)性(xing)等問題(ti)。
FPL技術(shu)加工(gong)過程不易(yi)受材(cai)料(liao)表面缺陷(xian)、雜質(zhi)等(deng)因(yin)素的(de)(de)影響,加工(gong)基底也(ye)不易(yi)受到材(cai)料(liao)種類的(de)(de)限制。加工(gong)材(cai)料(liao)表現出了(le)優(you)異(yi)的(de)(de)機械性能,可以利用傳統的(de)(de)濕轉(zhuan)移法進行完整轉(zhuan)移。這為相關材(cai)料(liao)周期性微納結構的(de)(de)靈活制備奠定了(le)基礎。
2022十大激光(guang)(guang)切(qie)割機(ji)(ji)品牌排(pai)行榜、2022消(xiao)費者(zhe)喜愛(ai)激光(guang)(guang)切(qie)割機(ji)(ji)品牌,2022消(xiao)費者(zhe)關注激光(guang)(guang)...
2021-2022年最(zui)新(xin)的(de)激光切割機(ji)(ji)品牌(pai)榜發(fa)布了,激光切割機(ji)(ji)十大(da)品牌(pai)排行榜,本(ben)次發(fa)布的(de)品牌(pai)...
激光管做為激光雕刻(ke)機(ji)的(de)消耗品(pin),因此(ci)壽命成(cheng)為用(yong)戶最主要的(de)選購(gou)指(zhi)標。造(zao)成(cheng)壽命差異主要由于(yu)加(jia)工(gong)工(gong)...
濟南高新區建設專業(ye)化載(zai)體(ti)及眾(zhong)創空間,聚集大批(pi)激光(guang)企業(ye),吸引更多(duo)激光(guang)領(ling)域企業(ye)入駐,打造(zao)“濟南...