中科院(yuan)長春(chun)光學精密機械與(yu)物理研(yan)究(jiu)所研(yan)究(jiu)人員(yuan)開發了一種(zhong)新(xin)型(xing)飛秒激(ji)光等離子激(ji)元光刻技(ji)術(shu)（FPL）。利用該(gai)技(ji)術(shu)，研(yan)究(jiu)人員(yuan)在(zai)百(bai)納(na)米(mi)厚的硅基氧化石墨(mo)烯薄膜表面實(shi)現(xian)了高質量微(wei)納(na)周期(qi)結構(gou)的快速(su)制備(bei)，首(shou)次(ci)證明了FPL技(ji)術(shu)在(zai)二(er)維薄膜材料(liao)上能夠實(shi)現(xian)大面積高質量亞微(wei)米(mi)周期(qi)結構(gou)的快速(su)制備(bei)。

在(zai)此之前(qian)，在(zai)石墨烯上(shang)制備微納結構的(de)技(ji)術有自組裝、電子(zi)束(shu)刻蝕和極(ji)紫外(wai)光刻等，但這些技(ji)術存(cun)在(zai)著(zhu)耗(hao)時(shi)長(chang)、成(cheng)本高、缺乏通用性等問(wen)題。

FPL技術加工過程不易(yi)(yi)受材(cai)料(liao)表(biao)面缺陷、雜質等因素的影響，加工基底(di)也不易(yi)(yi)受到材(cai)料(liao)種類的限(xian)制(zhi)。加工材(cai)料(liao)表(biao)現出了優異的機(ji)械性能，可以利用(yong)傳統(tong)的濕轉移法(fa)進行完整(zheng)轉移。這為(wei)相關(guan)材(cai)料(liao)周期(qi)性微納結構的靈(ling)活制(zhi)備奠定了基礎。