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光柵尺的組成結構 光柵尺的工作原理

本文章由注冊用戶 知識雜談 上傳提供 2024-03-28 評論 0
摘要:光柵尺也稱為光柵尺傳感器、光柵尺位移傳感器,是數控機床閉環控制系統中的測量裝置,可用作直線位移或者角位移的檢測。光柵尺是利用光柵運動產生的莫爾條紋和電子電路完成位移的自動測量,由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。下面了解下光柵尺的結構及原理。

一、光柵尺的組成結構

光柵尺是由(you)標(biao)(biao)尺光(guang)柵和光(guang)柵讀數頭兩部(bu)(bu)分組成,標(biao)(biao)尺光(guang)柵一(yi)般固定在機床(chuang)活動部(bu)(bu)件上,光(guang)柵讀數頭裝(zhuang)在機床(chuang)固定部(bu)(bu)件上,指示光(guang)柵裝(zhuang)在光(guang)柵讀數頭中。

光柵(zha)檢(jian)測裝置的關鍵部分是光柵(zha)讀(du)(du)(du)數頭,它由光源(yuan)、會聚透鏡、指示光柵(zha)、光電元件及調(diao)整機構等組成。光柵(zha)讀(du)(du)(du)數頭結構形式(shi)很多,根據讀(du)(du)(du)數頭結構特(te)點和使(shi)用(yong)場合(he)分為直接(jie)接(jie)收式(shi)讀(du)(du)(du)數頭(或稱硅光電池(chi)讀(du)(du)(du)數頭、鏡像式(shi)讀(du)(du)(du)數頭、分光鏡式(shi)讀(du)(du)(du)數頭、金屬光柵(zha)反射式(shi)讀(du)(du)(du)數頭)。

二、光柵尺的工作原理

常見光柵尺的(de)(de)(de)(de)工作原理都是根據物(wu)理上(shang)莫爾(er)條紋的(de)(de)(de)(de)形(xing)成原理進行(xing)工作的(de)(de)(de)(de)。當使指示光(guang)柵上(shang)的(de)(de)(de)(de)線紋與標(biao)尺(chi)(chi)(chi)光(guang)柵上(shang)的(de)(de)(de)(de)線紋成一角度來(lai)放(fang)置兩(liang)光(guang)柵尺(chi)(chi)(chi)時,必然會造成兩(liang)光(guang)柵尺(chi)(chi)(chi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)線紋互相交(jiao)義。在光(guang)源的(de)(de)(de)(de)照(zhao)射下,交(jiao)叉點近旁的(de)(de)(de)(de)小區(qu)(qu)域(yu)(yu)內(nei)由于黑(hei)色線紋重(zhong)疊,因而遮(zhe)光(guang)面積最小,擋光(guang)效應最弱(ruo),光(guang)的(de)(de)(de)(de)累(lei)積作用(yong)使得這(zhe)個區(qu)(qu)域(yu)(yu)出(chu)現(xian)亮帶(dai)。相反,距交(jiao)叉點較(jiao)遠的(de)(de)(de)(de)區(qu)(qu)域(yu)(yu),因兩(liang)光(guang)柵尺(chi)(chi)(chi)不透(tou)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)(de)黑(hei)色線紋的(de)(de)(de)(de)重(zhong)疊部分變得越(yue)來(lai)越(yue)少(shao),不透(tou)明(ming)(ming)區(qu)(qu)域(yu)(yu)面積逐漸變大(da)(da),即遮(zhe)光(guang)面積逐漸變大(da)(da),使得擋光(guang)效應變強(qiang),只有(you)較(jiao)少(shao)的(de)(de)(de)(de)光(guang)線能通過這(zhe)個區(qu)(qu)域(yu)(yu)透(tou)過光(guang)柵,使這(zhe)個區(qu)(qu)域(yu)(yu)出(chu)現(xian)暗帶(dai)。這(zhe)些與光(guang)柵線紋幾乎垂直,相間出(chu)現(xian)的(de)(de)(de)(de)亮、暗帶(dai)就是莫爾(er)條紋。莫爾(er)條紋具有(you)以下性質:

1、當用(yong)平行光(guang)束照射光(guang)柵時,透過莫爾條紋的光(guang)強度分(fen)布近似(si)于(yu)余(yu)弦函數。

2、若用W表示莫爾(er)條(tiao)紋的(de)寬(kuan)度,d表示光(guang)(guang)柵的(de)柵距,θ表示兩光(guang)(guang)柵尺線紋的(de)夾角,則它們之間的(de)幾何關系為W-d/sin當角很小時,上式可近似(si)寫W=d/θ。

若(ruo)取d=0.01mm,θ=0.01rad,則(ze)由上式可得W=1mm。這(zhe)說明(ming),無(wu)需復雜(za)的(de)光(guang)學系(xi)統(tong)和電(dian)子(zi)系(xi)統(tong),利用(yong)光(guang)的(de)干涉現象,就(jiu)能把光(guang)柵(zha)(zha)(zha)的(de)柵(zha)(zha)(zha)距轉(zhuan)換成放(fang)大(da)100倍(bei)的(de)莫爾條紋(wen)的(de)寬度。這(zhe)種放(fang)大(da)作用(yong)是(shi)光(guang)柵(zha)(zha)(zha)的(de)一個重要(yao)特點。

3、由于莫爾條(tiao)紋是由若干條(tiao)光柵(zha)線紋共同干涉形(xing)成(cheng)的,所以(yi)莫爾條(tiao)紋對光柵(zha)個別線紋之間的柵(zha)距誤(wu)差具有(you)平(ping)均效應,能消除光柵(zha)柵(zha)距不(bu)均勻所造成(cheng)的影響(xiang)。

4、莫爾條(tiao)(tiao)紋的移(yi)(yi)動(dong)與兩(liang)(liang)光(guang)柵(zha)尺(chi)之間(jian)的相(xiang)對(dui)移(yi)(yi)動(dong)相(xiang)對(dui)應。兩(liang)(liang)光(guang)柵(zha)尺(chi)相(xiang)對(dui)移(yi)(yi)動(dong)一個柵(zha)距d,莫爾條(tiao)(tiao)紋便相(xiang)應移(yi)(yi)動(dong)一個莫爾條(tiao)(tiao)紋寬度W,其方(fang)向(xiang)與兩(liang)(liang)光(guang)柵(zha)尺(chi)相(xiang)對(dui)移(yi)(yi)動(dong)的方(fang)向(xiang)垂直,且當兩(liang)(liang)光(guang)柵(zha)尺(chi)相(xiang)對(dui)移(yi)(yi)動(dong)的方(fang)向(xiang)改變時(shi),莫爾條(tiao)(tiao)紋移(yi)(yi)動(dong)的方(fang)向(xiang)也隨之改變。

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