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光柵尺的組成結構 光柵尺的工作原理

本文章由注冊用戶 知識雜談 上傳提供 2024-03-28 評論 0
摘要:光柵尺也稱為光柵尺傳感器、光柵尺位移傳感器,是數控機床閉環控制系統中的測量裝置,可用作直線位移或者角位移的檢測。光柵尺是利用光柵運動產生的莫爾條紋和電子電路完成位移的自動測量,由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。下面了解下光柵尺的結構及原理。

一、光柵尺的組成結構

光柵尺是(shi)由標尺(chi)光(guang)(guang)(guang)柵(zha)和(he)光(guang)(guang)(guang)柵(zha)讀數頭(tou)兩部(bu)分(fen)組成,標尺(chi)光(guang)(guang)(guang)柵(zha)一(yi)般固定在(zai)機床(chuang)活(huo)動部(bu)件(jian)上,光(guang)(guang)(guang)柵(zha)讀數頭(tou)裝在(zai)機床(chuang)固定部(bu)件(jian)上,指(zhi)示光(guang)(guang)(guang)柵(zha)裝在(zai)光(guang)(guang)(guang)柵(zha)讀數頭(tou)中(zhong)。

光(guang)柵(zha)(zha)檢測裝置(zhi)的關鍵部分是光(guang)柵(zha)(zha)讀(du)(du)數(shu)頭(tou)(tou),它由光(guang)源、會聚透鏡(jing)、指示光(guang)柵(zha)(zha)、光(guang)電(dian)(dian)元件及調整(zheng)機構等組成(cheng)。光(guang)柵(zha)(zha)讀(du)(du)數(shu)頭(tou)(tou)結構形式(shi)很多,根(gen)據讀(du)(du)數(shu)頭(tou)(tou)結構特點和使用(yong)場合分為(wei)直(zhi)接接收式(shi)讀(du)(du)數(shu)頭(tou)(tou)(或稱(cheng)硅光(guang)電(dian)(dian)池讀(du)(du)數(shu)頭(tou)(tou)、鏡(jing)像式(shi)讀(du)(du)數(shu)頭(tou)(tou)、分光(guang)鏡(jing)式(shi)讀(du)(du)數(shu)頭(tou)(tou)、金屬光(guang)柵(zha)(zha)反(fan)射式(shi)讀(du)(du)數(shu)頭(tou)(tou))。

二、光柵尺的工作原理

常見光柵尺的(de)(de)(de)工作(zuo)原(yuan)(yuan)理都是根據物理上(shang)莫爾(er)條(tiao)紋(wen)的(de)(de)(de)形成原(yuan)(yuan)理進行工作(zuo)的(de)(de)(de)。當使(shi)(shi)指示光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)上(shang)的(de)(de)(de)線紋(wen)與標尺光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)上(shang)的(de)(de)(de)線紋(wen)成一(yi)角(jiao)度來放(fang)置兩(liang)光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)尺時,必然(ran)會(hui)造成兩(liang)光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)尺上(shang)的(de)(de)(de)線紋(wen)互相(xiang)交(jiao)義。在光(guang)(guang)(guang)(guang)源的(de)(de)(de)照射下(xia)(xia),交(jiao)叉點近旁(pang)的(de)(de)(de)小(xiao)區(qu)域內由于黑(hei)色(se)線紋(wen)重疊(die),因而遮(zhe)光(guang)(guang)(guang)(guang)面積(ji)最(zui)小(xiao),擋(dang)光(guang)(guang)(guang)(guang)效(xiao)應(ying)最(zui)弱,光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)累(lei)積(ji)作(zuo)用(yong)使(shi)(shi)得(de)這個區(qu)域出現(xian)亮帶。相(xiang)反,距(ju)交(jiao)叉點較遠的(de)(de)(de)區(qu)域,因兩(liang)光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)尺不(bu)透明的(de)(de)(de)黑(hei)色(se)線紋(wen)的(de)(de)(de)重疊(die)部分變得(de)越(yue)來越(yue)少(shao),不(bu)透明區(qu)域面積(ji)逐漸變大,即(ji)遮(zhe)光(guang)(guang)(guang)(guang)面積(ji)逐漸變大,使(shi)(shi)得(de)擋(dang)光(guang)(guang)(guang)(guang)效(xiao)應(ying)變強,只有較少(shao)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)線能通過這個區(qu)域透過光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha),使(shi)(shi)這個區(qu)域出現(xian)暗帶。這些與光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)線紋(wen)幾乎垂直,相(xiang)間出現(xian)的(de)(de)(de)亮、暗帶就(jiu)是莫爾(er)條(tiao)紋(wen)。莫爾(er)條(tiao)紋(wen)具(ju)有以下(xia)(xia)性質:

1、當用平行光束(shu)照射光柵時(shi),透過莫爾條紋的光強度分布近似于余弦函(han)數。

2、若(ruo)用W表(biao)(biao)示(shi)莫(mo)爾條紋的寬度,d表(biao)(biao)示(shi)光(guang)柵的柵距,θ表(biao)(biao)示(shi)兩光(guang)柵尺線紋的夾角(jiao),則它(ta)們之間(jian)的幾何關(guan)系為W-d/sin當(dang)角(jiao)很小時,上式可近(jin)似(si)寫W=d/θ。

若取d=0.01mm,θ=0.01rad,則由(you)上式可得W=1mm。這說明,無需復雜的(de)光學系統和電子系統,利用光的(de)干涉(she)現象,就能把光柵(zha)的(de)柵(zha)距轉換成放大100倍的(de)莫爾條(tiao)紋的(de)寬度。這種放大作(zuo)用是光柵(zha)的(de)一個(ge)重要特點。

3、由(you)于莫(mo)爾條紋(wen)(wen)是由(you)若(ruo)干(gan)條光(guang)柵(zha)線紋(wen)(wen)共同(tong)干(gan)涉形成(cheng)的,所以(yi)莫(mo)爾條紋(wen)(wen)對(dui)光(guang)柵(zha)個(ge)別(bie)線紋(wen)(wen)之間(jian)的柵(zha)距(ju)誤差具有平均效應,能消(xiao)除(chu)光(guang)柵(zha)柵(zha)距(ju)不均勻(yun)所造成(cheng)的影響。

4、莫(mo)爾(er)條(tiao)(tiao)紋的(de)(de)移(yi)動(dong)與(yu)兩(liang)光(guang)柵(zha)尺(chi)(chi)之間的(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)移(yi)動(dong)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)應。兩(liang)光(guang)柵(zha)尺(chi)(chi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)移(yi)動(dong)一個(ge)柵(zha)距d,莫(mo)爾(er)條(tiao)(tiao)紋便(bian)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)應移(yi)動(dong)一個(ge)莫(mo)爾(er)條(tiao)(tiao)紋寬(kuan)度W,其方(fang)向與(yu)兩(liang)光(guang)柵(zha)尺(chi)(chi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)移(yi)動(dong)的(de)(de)方(fang)向垂直,且當兩(liang)光(guang)柵(zha)尺(chi)(chi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)移(yi)動(dong)的(de)(de)方(fang)向改變(bian)時,莫(mo)爾(er)條(tiao)(tiao)紋移(yi)動(dong)的(de)(de)方(fang)向也隨之改變(bian)。

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