一、光柵尺的測量精度是什么

光柵尺的測量精度指在任意一米長的測量范圍內，測(ce)量曲(qu)線上的(de)極限值(zhi)±F不超過精度等級(ji)±a，也就是光柵尺的測量結果與實際值(zhi)之間的差(cha)距(ju)小于所(suo)標稱的值(zhi)，如有效測量范圍2040mm，精度3um的光柵尺，任意一米范圍內的測量結果與實際值(zhi)的差(cha)距(ju)小于±3um，注(zhu)意，不是±1.5um。

二、光柵尺的分辨率是什么意思

分(fen)辨(bian)率是(shi)在(zai)顯示(shi)設(she)備上（如數(shu)顯表、數(shu)控系(xi)統），其數(shu)值累加的最小單位(wei)。光(guang)(guang)柵(zha)尺(chi)的分(fen)辨(bian)率與信(xin)號(hao)(hao)類型有關，如1Vpp正弦波(bo)信(xin)號(hao)(hao)可以任(ren)意(yi)倍(bei)頻(pin)，所以1Vpp信(xin)號(hao)(hao)的光(guang)(guang)柵(zha)尺(chi)其分(fen)辨(bian)率由(you)接收端的設(she)備（如數(shu)顯表或數(shu)控系(xi)統）確定，光(guang)(guang)柵(zha)尺(chi)信(xin)號(hao)(hao)周(zhou)期20um，20倍(bei)頻(pin)后(hou)是(shi)0.001mm，如果200倍(bei)頻(pin)后(hou)分(fen)辨(bian)率就是(shi)0.0001mm。

三、光柵尺精度和分辨率區別

對于傳感器的分(fen)辨率與(yu)精(jing)度(du)(du)的理解(jie)，可(ke)以(yi)拿千分(fen)尺(chi)為例(li)，分(fen)辨率代表千分(fen)尺(chi)，最(zui)多(duo)可(ke)以(yi)讀到(dao)小數(shu)點后幾(ji)位(wei)，但(dan)精(jing)度(du)(du)還與(yu)尺(chi)子的加工精(jing)度(du)(du)，測量方法(fa)有關系。同(tong)樣(yang)的，在光(guang)柵尺(chi)的使(shi)用中，分(fen)辨率與(yu)精(jing)度(du)(du)是完全不(bu)同(tong)的兩個概(gai)念(nian)。

光柵(zha)(zha)(zha)尺(chi)的(de)(de)分辨(bian)率(lv)，是指光柵(zha)(zha)(zha)尺(chi)可讀取并輸出(chu)的(de)(de)最小(xiao)長度變化，對(dui)應(ying)的(de)(de)參數(shu)有：每(mei)毫米光柵(zha)(zha)(zha)刻線數(shu)、脈沖數(shu)、細(xi)分等(deng)。比如(ru)50線光柵(zha)(zha)(zha)和100線光柵(zha)(zha)(zha)在(zai)同等(deng)條件下(xia)分辨(bian)率(lv)就不(bu)一(yi)(yi)(yi)樣，同等(deng)的(de)(de)50線光柵(zha)(zha)(zha)如(ru)果細(xi)分方法不(bu)一(yi)(yi)(yi)樣分辨(bian)率(lv)也會不(bu)一(yi)(yi)(yi)樣。

光(guang)柵(zha)尺的(de)(de)精度(du)反映了光(guang)柵(zha)尺輸(shu)出的(de)(de)信號數(shu)據(ju)對(dui)測量(liang)的(de)(de)真實長(chang)度(du)的(de)(de)準(zhun)確(que)度(du)，可(ke)以理(li)解為測量(liang)誤差(cha)值，是已測定的(de)(de)固定值，對(dui)應(ying)的(de)(de)參數(shu)是微(wei)米（μm）、納米（nm）。

目前國內光柵尺(chi)分辨(bian)率(lv)一般(ban)有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那(nei)么這些(xie)分辨(bian)率(lv)是(shi)怎么得來的(de)呢？

以每毫米50線光柵為例，經過4細分，就能得到很簡單的5μm的分辨率，而不用采用電子細分，這也是目前國內機床尺的多數工藝，至于高分辨率的光柵尺，就必須采用電子細分技術，增加插補細分器才能得到。高分辨率光柵尺一般應(ying)用于儀(yi)器儀(yi)表如視頻儀(yi)、工具顯微鏡、CNC加工中心等。