一、光柵尺的測量精度是什么
光柵尺的測量精度指在任意一米長的測量范圍內,測(ce)量曲(qu)線上的極(ji)限值±F不超(chao)過精度等級(ji)±a,也就是光柵尺的測量(liang)結(jie)果與實際(ji)值之間的差距(ju)(ju)小于所標(biao)稱的值,如有效測量(liang)范(fan)圍(wei)2040mm,精度(du)3um的光柵尺,任意一米范(fan)圍(wei)內的測量(liang)結(jie)果與實際(ji)值的差距(ju)(ju)小于±3um,注(zhu)意,不是±1.5um。
二、光柵尺的分辨率是什么意思
分辨率(lv)是(shi)在顯示設(she)備上(如數顯表、數控(kong)(kong)系(xi)統),其數值累加的(de)(de)最小(xiao)單位。光(guang)柵尺的(de)(de)分辨率(lv)與信號類型有關,如1Vpp正弦(xian)波信號可以任意(yi)倍頻,所以1Vpp信號的(de)(de)光(guang)柵尺其分辨率(lv)由接收端(duan)的(de)(de)設(she)備(如數顯表或數控(kong)(kong)系(xi)統)確(que)定,光(guang)柵尺信號周期20um,20倍頻后(hou)是(shi)0.001mm,如果200倍頻后(hou)分辨率(lv)就是(shi)0.0001mm。
三、光柵尺精度和分辨率區別
對于傳(chuan)感器的(de)分辨率與精(jing)(jing)度的(de)理解,可(ke)以拿(na)千(qian)分尺(chi)為例(li),分辨率代表千(qian)分尺(chi),最多可(ke)以讀到小數點后幾位,但精(jing)(jing)度還與尺(chi)子的(de)加工(gong)精(jing)(jing)度,測量方法有關系(xi)。同樣的(de),在(zai)光柵尺(chi)的(de)使用中(zhong),分辨率與精(jing)(jing)度是(shi)完全(quan)不同的(de)兩個概念。
光(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺(chi)的(de)(de)(de)分(fen)辨率,是指光(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺(chi)可(ke)讀取并輸出的(de)(de)(de)最小長度變化,對應的(de)(de)(de)參(can)數(shu)有:每毫米(mi)光(guang)(guang)柵(zha)(zha)刻(ke)線數(shu)、脈沖數(shu)、細分(fen)等。比如50線光(guang)(guang)柵(zha)(zha)和100線光(guang)(guang)柵(zha)(zha)在同(tong)等條件下分(fen)辨率就不一樣,同(tong)等的(de)(de)(de)50線光(guang)(guang)柵(zha)(zha)如果細分(fen)方法不一樣分(fen)辨率也會不一樣。
光柵尺的(de)精(jing)度(du)反(fan)映了(le)光柵尺輸出的(de)信號數(shu)據對(dui)測量(liang)的(de)真實長(chang)度(du)的(de)準(zhun)確度(du),可以理(li)解為測量(liang)誤差(cha)值,是(shi)已測定的(de)固定值,對(dui)應的(de)參(can)數(shu)是(shi)微(wei)米(μm)、納米(nm)。
目(mu)前國內光柵尺分辨(bian)率(lv)一(yi)般(ban)有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那么這些(xie)分辨(bian)率(lv)是怎(zen)么得來的呢?
以每毫米50線光柵為例,經過4細分,就能得到很簡單的5μm的分辨率,而不用采用電子細分,這也是目前國內機床尺的多數工藝,至于高分辨率的光柵尺,就必須采用電子細分技術,增加插補細分器才能得到。高分辨率光柵尺一般應(ying)用于儀器儀表(biao)如視頻(pin)儀、工(gong)具顯微鏡、CNC加工(gong)中心等(deng)。