一、光柵尺的測量精度是什么

光柵尺的測量精度指在任意一米長的測量范圍內，測量(liang)曲線(xian)上的極限(xian)值±F不超(chao)過精度(du)等(deng)級±a，也就是光柵尺的(de)測(ce)(ce)量結(jie)果與實際(ji)值之間的(de)差距(ju)小(xiao)(xiao)于所(suo)標稱的(de)值，如有效測(ce)(ce)量范圍2040mm，精(jing)度3um的(de)光柵尺，任(ren)意(yi)一米范圍內的(de)測(ce)(ce)量結(jie)果與實際(ji)值的(de)差距(ju)小(xiao)(xiao)于±3um，注意(yi)，不是(shi)±1.5um。

二、光柵尺的分辨率是什么意思

分(fen)辨(bian)率(lv)是在顯示設(she)備(bei)上（如(ru)數(shu)顯表、數(shu)控系統(tong)），其(qi)數(shu)值累加(jia)的(de)最小單位。光柵(zha)尺的(de)分(fen)辨(bian)率(lv)與信號類型有關，如(ru)1Vpp正弦波信號可以(yi)任意倍(bei)頻，所以(yi)1Vpp信號的(de)光柵(zha)尺其(qi)分(fen)辨(bian)率(lv)由接收(shou)端的(de)設(she)備(bei)（如(ru)數(shu)顯表或數(shu)控系統(tong)）確(que)定，光柵(zha)尺信號周期20um，20倍(bei)頻后是0.001mm，如(ru)果200倍(bei)頻后分(fen)辨(bian)率(lv)就是0.0001mm。

三、光柵尺精度和分辨率區別

對于(yu)傳感器的(de)(de)分(fen)辨率與精(jing)(jing)度的(de)(de)理解，可以(yi)拿千(qian)分(fen)尺(chi)(chi)(chi)為例，分(fen)辨率代表千(qian)分(fen)尺(chi)(chi)(chi)，最多可以(yi)讀到小數(shu)點后(hou)幾位，但精(jing)(jing)度還與尺(chi)(chi)(chi)子的(de)(de)加工精(jing)(jing)度，測量方法有(you)關系。同樣的(de)(de)，在光柵(zha)尺(chi)(chi)(chi)的(de)(de)使(shi)用中，分(fen)辨率與精(jing)(jing)度是完全不同的(de)(de)兩個概念。

光(guang)柵(zha)(zha)尺的(de)(de)分辨率(lv)，是指光(guang)柵(zha)(zha)尺可讀取并輸出的(de)(de)最小長度變化，對應的(de)(de)參數(shu)有：每毫米光(guang)柵(zha)(zha)刻線(xian)數(shu)、脈沖數(shu)、細(xi)(xi)分等。比如50線(xian)光(guang)柵(zha)(zha)和100線(xian)光(guang)柵(zha)(zha)在同等條件下分辨率(lv)就(jiu)不一樣(yang)，同等的(de)(de)50線(xian)光(guang)柵(zha)(zha)如果細(xi)(xi)分方法不一樣(yang)分辨率(lv)也會不一樣(yang)。

光(guang)柵尺的(de)精度(du)反映了光(guang)柵尺輸出的(de)信號數據對測(ce)量(liang)的(de)真實長(chang)度(du)的(de)準確度(du)，可以理解為測(ce)量(liang)誤差值(zhi)，是(shi)已(yi)測(ce)定(ding)的(de)固定(ding)值(zhi)，對應的(de)參數是(shi)微米(mi)（μm）、納米(mi)（nm）。

目前國內光(guang)柵尺分(fen)(fen)辨(bian)率一般有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那(nei)么這(zhe)些分(fen)(fen)辨(bian)率是(shi)怎(zen)么得來的呢？

以每毫米50線光柵為例，經過4細分，就能得到很簡單的5μm的分辨率，而不用采用電子細分，這也是目前國內機床尺的多數工藝，至于高分辨率的光柵尺，就必須采用電子細分技術，增加插補細分器才能得到。高分辨率光柵尺一般應用(yong)于儀器儀表如(ru)視(shi)頻儀、工具顯微鏡、CNC加工中心等。