一、光柵尺的測量精度是什么

光柵尺的測量精度指在任意一米長的測量范圍內，測量曲線上的極(ji)限值±F不超過精度等級±a，也就是光柵尺(chi)的(de)(de)測量結果與(yu)實際(ji)值(zhi)之間的(de)(de)差距小于所(suo)標稱的(de)(de)值(zhi)，如有效測量范(fan)圍(wei)2040mm，精(jing)度(du)3um的(de)(de)光柵尺(chi)，任(ren)意(yi)一米范(fan)圍(wei)內(nei)的(de)(de)測量結果與(yu)實際(ji)值(zhi)的(de)(de)差距小于±3um，注意(yi)，不是±1.5um。

二、光柵尺的分辨率是什么意思

分(fen)辨率(lv)是在顯示設備上(shang)（如(ru)數顯表、數控(kong)系(xi)統），其數值累加的最小單位(wei)。光柵尺的分(fen)辨率(lv)與(yu)信(xin)號(hao)類型(xing)有(you)關，如(ru)1Vpp正弦(xian)波信(xin)號(hao)可以(yi)任意倍(bei)(bei)頻，所以(yi)1Vpp信(xin)號(hao)的光柵尺其分(fen)辨率(lv)由接(jie)收端的設備（如(ru)數顯表或(huo)數控(kong)系(xi)統）確定(ding)，光柵尺信(xin)號(hao)周期(qi)20um，20倍(bei)(bei)頻后(hou)是0.001mm，如(ru)果200倍(bei)(bei)頻后(hou)分(fen)辨率(lv)就是0.0001mm。

三、光柵尺精度和分辨率區別

對于傳(chuan)感器的分辨率(lv)與(yu)精度的理解(jie)，可以拿千分尺(chi)為例，分辨率(lv)代表千分尺(chi)，最多可以讀到小數點(dian)后幾位(wei)，但精度還與(yu)尺(chi)子的加(jia)工精度，測量方(fang)法有關系(xi)。同樣的，在(zai)光柵尺(chi)的使用中，分辨率(lv)與(yu)精度是完全不同的兩個概念(nian)。

光(guang)(guang)柵尺的(de)分(fen)辨率(lv)，是指光(guang)(guang)柵尺可讀取并(bing)輸(shu)出的(de)最小長度變化(hua)，對應(ying)的(de)參數有：每(mei)毫米光(guang)(guang)柵刻線數、脈沖數、細分(fen)等。比如50線光(guang)(guang)柵和100線光(guang)(guang)柵在同等條件下分(fen)辨率(lv)就不(bu)(bu)一(yi)樣(yang)，同等的(de)50線光(guang)(guang)柵如果(guo)細分(fen)方(fang)法不(bu)(bu)一(yi)樣(yang)分(fen)辨率(lv)也會不(bu)(bu)一(yi)樣(yang)。

光(guang)柵尺(chi)的(de)精度反映了光(guang)柵尺(chi)輸(shu)出(chu)的(de)信號數(shu)據對(dui)測量的(de)真實長度的(de)準確度，可以理解為測量誤(wu)差值(zhi)，是(shi)已(yi)測定(ding)的(de)固(gu)定(ding)值(zhi)，對(dui)應的(de)參數(shu)是(shi)微米（μm）、納米（nm）。

目前國內(nei)光(guang)柵(zha)尺(chi)分辨率一般有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那么(me)(me)這些分辨率是怎么(me)(me)得來的呢？

以每毫米50線光柵為例，經過4細分，就能得到很簡單的5μm的分辨率，而不用采用電子細分，這也是目前國內機床尺的多數工藝，至于高分辨率的光柵尺，就必須采用電子細分技術，增加插補細分器才能得到。高分辨率光柵尺一般(ban)應用于儀(yi)器儀(yi)表如視頻(pin)儀(yi)、工(gong)具(ju)顯微鏡、CNC加工(gong)中(zhong)心等。