一、光柵尺的測量精度是什么

光柵尺的測量精度指在任意一米長的測量范圍內，測量(liang)曲線上的極限值±F不超過精度等級(ji)±a，也就是光柵(zha)尺(chi)的(de)(de)測量結(jie)果與(yu)實(shi)際值之間(jian)的(de)(de)差距小于所(suo)標稱的(de)(de)值，如(ru)有效(xiao)測量范圍(wei)2040mm，精度3um的(de)(de)光柵(zha)尺(chi)，任意一米范圍(wei)內的(de)(de)測量結(jie)果與(yu)實(shi)際值的(de)(de)差距小于±3um，注(zhu)意，不(bu)是±1.5um。

二、光柵尺的分辨率是什么意思

分辨(bian)率(lv)是在顯示設(she)(she)備(bei)上(shang)（如(ru)(ru)數(shu)顯表、數(shu)控系統(tong)），其(qi)數(shu)值累加(jia)的最小單位。光(guang)柵尺(chi)的分辨(bian)率(lv)與信(xin)號(hao)(hao)類型(xing)有關，如(ru)(ru)1Vpp正(zheng)弦波信(xin)號(hao)(hao)可(ke)以(yi)任意倍頻(pin)(pin)，所以(yi)1Vpp信(xin)號(hao)(hao)的光(guang)柵尺(chi)其(qi)分辨(bian)率(lv)由接收端的設(she)(she)備(bei)（如(ru)(ru)數(shu)顯表或數(shu)控系統(tong)）確定，光(guang)柵尺(chi)信(xin)號(hao)(hao)周期20um，20倍頻(pin)(pin)后是0.001mm，如(ru)(ru)果200倍頻(pin)(pin)后分辨(bian)率(lv)就是0.0001mm。

三、光柵尺精度和分辨率區別

對于(yu)傳(chuan)感器(qi)的分辨率(lv)與(yu)精(jing)度(du)的理解，可以(yi)(yi)拿千分尺(chi)(chi)為例，分辨率(lv)代表千分尺(chi)(chi)，最(zui)多可以(yi)(yi)讀到(dao)小數(shu)點后幾位，但精(jing)度(du)還(huan)與(yu)尺(chi)(chi)子的加工精(jing)度(du)，測量(liang)方法(fa)有關(guan)系。同(tong)樣的，在光柵(zha)尺(chi)(chi)的使用中，分辨率(lv)與(yu)精(jing)度(du)是完(wan)全(quan)不同(tong)的兩個(ge)概念。

光(guang)柵(zha)尺的(de)分(fen)(fen)辨率(lv)，是(shi)指光(guang)柵(zha)尺可讀取并輸出(chu)的(de)最小長(chang)度變化，對應(ying)的(de)參數有：每毫米(mi)光(guang)柵(zha)刻線(xian)數、脈沖數、細分(fen)(fen)等。比如(ru)50線(xian)光(guang)柵(zha)和100線(xian)光(guang)柵(zha)在同等條件(jian)下(xia)分(fen)(fen)辨率(lv)就不(bu)一樣(yang)，同等的(de)50線(xian)光(guang)柵(zha)如(ru)果細分(fen)(fen)方法不(bu)一樣(yang)分(fen)(fen)辨率(lv)也會不(bu)一樣(yang)。

光柵(zha)尺(chi)的精(jing)度(du)反(fan)映了光柵(zha)尺(chi)輸(shu)出的信號數據對(dui)測量(liang)的真實長度(du)的準確度(du)，可以理解(jie)為(wei)測量(liang)誤差值(zhi)，是已(yi)測定(ding)的固定(ding)值(zhi)，對(dui)應的參數是微米(mi)（μm）、納米(mi)（nm）。

目(mu)前國內光(guang)柵尺分(fen)辨率一般有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那么這些分(fen)辨率是怎(zen)么得來的呢？

以每毫米50線光柵為例，經過4細分，就能得到很簡單的5μm的分辨率，而不用采用電子細分，這也是目前國內機床尺的多數工藝，至于高分辨率的光柵尺，就必須采用電子細分技術，增加插補細分器才能得到。高分辨率光柵尺一般(ban)應(ying)用于儀(yi)器儀(yi)表如視頻(pin)儀(yi)、工具顯微鏡(jing)、CNC加(jia)工中(zhong)心等。