一、振鏡1和振鏡2是什么意思

1、振鏡1（或者叫振鏡X）

振鏡1的(de)(de)寬(kuan)度是由(you)光束的(de)(de)直徑所決定的(de)(de)。完整(zheng)光束直徑在這(zhe)里(li)是比較容易討論的(de)(de)，完整(zheng)的(de)(de)光束直徑在一定程(cheng)度上是任(ren)意的(de)(de)。

例如，一個系統設(she)計(ji)師可(ke)能(neng)(neng)將DF界(jie)定(ding)為(wei)(wei)激光射在(zai)有機玻璃留下的(de)燒焦的(de)光束直徑。另(ling)外DF可(ke)能(neng)(neng)被定(ding)為(wei)(wei)一個能(neng)(neng)量為(wei)(wei)99%的(de)標準能(neng)(neng)量點，或者是限定(ding)在(zai)某個范圍內，如1.4D–1.6D。

考慮到鏡片的誤差，振鏡的寬(kuan)W1要略微大于所選擇的DF的值(zhi)。鏡片上的最(zui)大入射角imax決定(ding)了振鏡的長度。讓(rang)a=(90°-imax)。當(dang)振鏡的長度是L1，這里L1=W1/sina。

2、振鏡2（或者叫振鏡y）

振(zhen)鏡2的寬度應(ying)該等于振(zhen)鏡1的長度。振(zhen)鏡2的長度就是(shi)光(guang)束打在(zai)第二個振(zhen)鏡上時同S1的距離，和最(zui)大入(ru)射角(jiao)q。這些鏡片被(bei)(bei)制作并被(bei)(bei)鍍上的特(te)定(ding)的膜層，從(cong)而決定(ding)用于CO2激(ji)光(guang)還(huan)是(shi)YAG激(ji)光(guang)。他們有很高(gao)的激(ji)光(guang)損傷值，1000w/mm的情況下光(guang)束直徑是(shi)1/e2（D）。

我(wo)(wo)們將(jiang)鏡頭(tou)描(miao)(miao)述為F-theta鏡頭(tou)，或(huo)者‘Fq’。設計的(de)方法是要(yao)(yao)產(chan)生一個離軸點的(de)位(wei)置成正比(bi)的(de)掃描(miao)(miao)角度。依次，就是要(yao)(yao)產(chan)生成正比(bi)的(de)電(dian)壓，已適用(yong)于掃描(miao)(miao)器(qi)馬達。由于失真(zhen)是來自(zi)于兩個振(zhen)鏡，所以我(wo)(wo)們兩個軸上的(de)掃描(miao)(miao)器(qi)要(yao)(yao)有能夠轉動F-theta的(de)特征。

二、振鏡1和振鏡2怎么調比例

為了使軟件(jian)坐標與實際運行(xing)距離場地(di)對(dui)應(ying)及輸出(chu)軌跡(ji)不失真，則(ze)需(xu)要需(xu)要實時的(de)對(dui)每一個數據(ju)點(dian)進行(xing)校正，通常采用查找表分段(duan)線性插值(zhi)的(de)方(fang)法進行(xing)位置校正，校正點(dian)越多實際輸出(chu)位置越精準。

正(zheng)運(yun)動SCAN控(kong)制(zhi)(zhi)器提供了(le)BOX校正(zheng)、多點校正(zheng)等方(fang)法，不管是(shi)(shi)系(xi)數(shu)校正(zheng)還是(shi)(shi)多點校正(zheng)，校正(zheng)點參(can)數(shu)都是(shi)(shi)寫到(dao)控(kong)制(zhi)(zhi)器內部(bu)系(xi)統數(shu)組TABLE寄存器的(de)。因(yin)此在程(cheng)序(xu)中有其他功能應(ying)用(yong)到(dao)TABLE寄存器時需(xu)要注(zhu)意地(di)址(zhi)的(de)合(he)理分配。

1、Box系數校正

系數校正指(zhi)的是根據振鏡(jing)輸出圖形(xing)枕/桶形(xing)失(shi)真、平行四邊形(xing)失(shi)真、梯形(xing)失(shi)真、比例縮放幾種(zhong)情況進(jin)行系數調(diao)整(zheng)校正。

通(tong)過調用ZScan_CorrectFactor進(jin)行系(xi)數(shu)(shu)校(xiao)正(zheng)。先控(kong)制(zhi)振鏡繪制(zhi)出一個正(zheng)方(fang)形校(xiao)正(zheng)圖(tu)形，根據校(xiao)正(zheng)圖(tu)形的失真按(an)下圖(tu)情況調整對應的系(xi)數(shu)(shu)參數(shu)(shu)，根據標刻長(chang)度(du)與測量(liang)長(chang)度(du)調整縮放(fang)系(xi)數(shu)(shu)，直到(dao)實(shi)際標刻的尺(chi)寸與設置一致(zhi)時(shi)認為校(xiao)正(zheng)成功，校(xiao)正(zheng)系(xi)以是填寫(xie)的變化(hua)量(liang)，通(tong)常(chang)以0值為參考(kao)基準變化(hua)。

2、9點校正

9點校正指的是根據(ju)在工作范圍內標刻3*3的表(biao)格，根據(ju)每個點的理論位置與實際位置來進行振(zhen)鏡校正。

先(xian)控制振鏡預繪制出(chu)一個3*3校(xiao)正(zheng)表格圖形，按下(xia)圖所示P1-P9的順序填入X坐(zuo)標(biao)與(yu)Y坐(zuo)標(biao)實際測(ce)量值(zhi)，填入P1點的理(li)論標(biao)刻與(yu)P9點的理(li)論坐(zuo)標(biao)，通過調用ZScan_Correct9進行(xing)9點校(xiao)正(zheng)。需重新標(biao)刻測(ce)試，直到實際標(biao)刻與(yu)理(li)論值(zhi)達到預期精度范圍。

3、25點校正

25點校(xiao)正指的(de)是(shi)根據(ju)在工作范(fan)圍內(nei)標刻5*5的(de)表格，校(xiao)正過(guo)程與9點校(xiao)正相同(tong)，通過(guo)調用ZScan_Correct25進(jin)行25點校(xiao)正。校(xiao)正點數越(yue)多校(xiao)正精(jing)度也越(yue)高。