一、振鏡1和振鏡2是什么意思

1、振鏡1（或者叫振鏡X）

振鏡(jing)1的寬度是由光束(shu)(shu)的直徑(jing)所決定的。完(wan)(wan)整光束(shu)(shu)直徑(jing)在這里是比較容易討論的，完(wan)(wan)整的光束(shu)(shu)直徑(jing)在一定程(cheng)度上(shang)是任(ren)意的。

例如，一個系統設計師可(ke)能(neng)將DF界定為激光射在(zai)有機(ji)玻璃留下的(de)(de)燒焦(jiao)的(de)(de)光束直徑。另外(wai)DF可(ke)能(neng)被定為一個能(neng)量(liang)為99%的(de)(de)標準能(neng)量(liang)點，或者是限定在(zai)某個范(fan)圍(wei)內，如1.4D–1.6D。

考(kao)慮(lv)到鏡(jing)片的誤差，振鏡(jing)的寬W1要(yao)略微大于所選擇的DF的值。鏡(jing)片上的最大入射角imax決定了(le)振鏡(jing)的長度(du)。讓a=(90°-imax)。當振鏡(jing)的長度(du)是L1，這里L1=W1/sina。

2、振鏡2（或者叫振鏡y）

振(zhen)鏡(jing)2的(de)(de)寬度應該等于振(zhen)鏡(jing)1的(de)(de)長度。振(zhen)鏡(jing)2的(de)(de)長度就是(shi)光束打(da)在第二個振(zhen)鏡(jing)上(shang)時同S1的(de)(de)距離，和最大入射角q。這些(xie)鏡(jing)片被(bei)制(zhi)作(zuo)并被(bei)鍍上(shang)的(de)(de)特定的(de)(de)膜層，從(cong)而決定用于CO2激光還是(shi)YAG激光。他們有很(hen)高的(de)(de)激光損傷值，1000w/mm的(de)(de)情況下光束直徑是(shi)1/e2（D）。

我(wo)們將鏡(jing)頭描述為F-theta鏡(jing)頭，或者(zhe)‘Fq’。設計的方法是要產生一個(ge)離軸點的位(wei)置成正比(bi)的掃(sao)描角度。依次，就是要產生成正比(bi)的電壓(ya)，已適用于(yu)掃(sao)描器(qi)馬達。由于(yu)失真是來自(zi)于(yu)兩個(ge)振鏡(jing)，所(suo)以我(wo)們兩個(ge)軸上的掃(sao)描器(qi)要有能夠轉(zhuan)動F-theta的特征。

二、振鏡1和振鏡2怎么調比例

為(wei)了(le)使(shi)軟(ruan)件坐標(biao)與實際(ji)運(yun)行距(ju)離場地對(dui)應及輸出軌跡不失真，則需要需要實時的對(dui)每一(yi)個數據點(dian)進(jin)行校正，通(tong)常采用(yong)查找表(biao)分段線性插值的方(fang)法進(jin)行位置校正，校正點(dian)越(yue)多實際(ji)輸出位置越(yue)精(jing)準。

正運動(dong)SCAN控制器提(ti)供了BOX校正、多點(dian)校正等方法(fa)，不管是系數(shu)(shu)校正還是多點(dian)校正，校正點(dian)參(can)數(shu)(shu)都是寫到(dao)控制器內部(bu)系統數(shu)(shu)組TABLE寄(ji)存(cun)器的。因此在(zai)程序中有其他功能應用到(dao)TABLE寄(ji)存(cun)器時需要注意地址的合(he)理分配。

1、Box系數校正

系數校正指的(de)是根據(ju)振鏡輸(shu)出圖(tu)形枕/桶形失真(zhen)、平行四(si)邊形失真(zhen)、梯形失真(zhen)、比例縮(suo)放幾種(zhong)情(qing)況進行系數調整校正。

通(tong)過調(diao)用(yong)ZScan_CorrectFactor進行系數(shu)校(xiao)正(zheng)。先控制(zhi)振(zhen)鏡繪(hui)制(zhi)出一個(ge)正(zheng)方形(xing)校(xiao)正(zheng)圖(tu)(tu)形(xing)，根據校(xiao)正(zheng)圖(tu)(tu)形(xing)的失真按下圖(tu)(tu)情況調(diao)整對應的系數(shu)參數(shu)，根據標刻長度與測量長度調(diao)整縮放系數(shu)，直到實際標刻的尺寸與設置一致(zhi)時認為(wei)校(xiao)正(zheng)成功，校(xiao)正(zheng)系以是填寫的變化量，通(tong)常以0值為(wei)參考基準(zhun)變化。

2、9點校正

9點校正指(zhi)的(de)是(shi)根據(ju)在工作范圍內(nei)標刻3*3的(de)表格，根據(ju)每個點的(de)理論位(wei)置與實際位(wei)置來進(jin)行振鏡(jing)校正。

先控(kong)制(zhi)振(zhen)鏡預(yu)繪制(zhi)出一個3*3校正(zheng)表格圖(tu)形，按下圖(tu)所(suo)示P1-P9的順(shun)序填入X坐標(biao)(biao)與Y坐標(biao)(biao)實際(ji)測量值，填入P1點的理論(lun)標(biao)(biao)刻與P9點的理論(lun)坐標(biao)(biao)，通過調用ZScan_Correct9進行9點校正(zheng)。需重新標(biao)(biao)刻測試(shi)，直到(dao)實際(ji)標(biao)(biao)刻與理論(lun)值達到(dao)預(yu)期精度(du)范圍。

3、25點校正

25點(dian)校(xiao)正(zheng)指的是根據在工作范圍內標刻5*5的表(biao)格，校(xiao)正(zheng)過程(cheng)與9點(dian)校(xiao)正(zheng)相同，通過調(diao)用ZScan_Correct25進(jin)行25點(dian)校(xiao)正(zheng)。校(xiao)正(zheng)點(dian)數越多校(xiao)正(zheng)精度也越高。