一、金剛線母線是什么東西
金(jin)剛線(xian)母(mu)(mu)線(xian)的(de)制造金(jin)剛線(xian)的(de)原材料(liao)之一,又稱胚線(xian)或基線(xian),金(jin)剛石微粉顆粒就是附著(zhu)在(zai)母(mu)(mu)線(xian)上的(de)。
一般來說,金剛線母線(xian)(xian)(xian)的直徑及研磨介質粒(li)度與硅片切(qie)割質量及切(qie)削損(sun)耗量相關,較小的線(xian)(xian)(xian)徑和(he)介質粒(li)度有(you)利于提高(gao)產品(pin)質量、降低切(qie)削損(sun)耗和(he)生產成(cheng)本(ben)。但同時(shi),母線(xian)(xian)(xian)線(xian)(xian)(xian)徑變細(xi)后對母線(xian)(xian)(xian)破斷(duan)力、切(qie)片設(she)備(bei)穩(wen)定(ding)性(xing)提出更(geng)高(gao)要求。以目前(qian)的技術水平測算,50微(wei)米為金剛線(xian)(xian)(xian)母線(xian)(xian)(xian)線(xian)(xian)(xian)徑的價值平衡(heng)點(dian),實驗室金剛線(xian)(xian)(xian)母線(xian)(xian)(xian)直徑已降至35微(wei)米左右。
二、金剛線母線是什么材質的
金剛線的母線材質主要有(you)兩種,高碳鋼絲(si)和鎢絲(si)。
早期的金剛線基本(ben)(ben)上都是用高碳(tan)鋼絲(si)作為母線,具備強度高、硬度大、切削(xue)性好等特點,不過(guo)它的線徑(jing)規格(ge)較粗,出于硅片(pian)降本(ben)(ben)而催生的薄片(pian)化需求,鎢絲(si)作為母線的金剛線逐(zhu)漸(jian)越來越多(duo)。
經過多年發展,硅片切割使用的高碳鋼絲金剛線的(de)(de)線(xian)徑(jing)逐(zhu)漸細化,目(mu)前(qian)已(yi)經到35μm,接近物(wu)理(li)極限。在業內看來,若(ruo)要向(xiang)35μm以下的(de)(de)線(xian)徑(jing)規格方向(xiang)演進,則需要替換金(jin)剛線(xian)母線(xian)材料。而(er)鎢絲憑借(jie)具(ju)備(bei)耐磨(mo)損、高強度、斷線(xian)率低等(deng)優勢,具(ju)備(bei)更大的(de)(de)細線(xian)化空(kong)間。因此,金(jin)剛線(xian)母線(xian)材料開始(shi)朝著鎢絲方向(xiang)滲透。
此外,對于硅(gui)(gui)片企業而言,若金剛線越細,切割(ge)硅(gui)(gui)棒(bang)時產生的(de)多晶硅(gui)(gui)損耗就越少,越有利(li)于節省成本。另(ling)外,在(zai)硅(gui)(gui)片向大尺寸(cun)化、薄片化方向發(fa)展的(de)趨(qu)(qu)勢下,疊加(jia)N型(xing)硅(gui)(gui)片發(fa)展趨(qu)(qu)勢,更細的(de)鎢絲有利(li)于減少對硅(gui)(gui)片損傷,提高(gao)切割(ge)效(xiao)率。