一、金剛線母線是什么東西
金(jin)剛線母線的制造金(jin)剛線的原材料(liao)之(zhi)一,又稱(cheng)胚線或基線,金(jin)剛石微(wei)粉(fen)顆(ke)粒(li)就是附(fu)著在母線上的。
一般來說,金剛線母線(xian)(xian)的(de)直(zhi)徑(jing)及(ji)(ji)研磨介質粒度與硅片(pian)切(qie)割質量及(ji)(ji)切(qie)削損耗(hao)量相關,較小(xiao)的(de)線(xian)(xian)徑(jing)和(he)介質粒度有利于(yu)提高產品質量、降低切(qie)削損耗(hao)和(he)生產成本。但(dan)同時,母線(xian)(xian)線(xian)(xian)徑(jing)變細(xi)后對母線(xian)(xian)破斷(duan)力、切(qie)片(pian)設備穩定性提出更高要求。以目前的(de)技術水平測算(suan),50微(wei)米(mi)為金剛(gang)線(xian)(xian)母線(xian)(xian)線(xian)(xian)徑(jing)的(de)價值平衡(heng)點(dian),實驗室金剛(gang)線(xian)(xian)母線(xian)(xian)直(zhi)徑(jing)已降至35微(wei)米(mi)左右。
二、金剛線母線是什么材質的
金剛線(xian)的母線(xian)材質主要(yao)有兩種,高碳鋼絲(si)和鎢(wu)絲(si)。
早期(qi)的金剛線基本上都是(shi)用高碳鋼(gang)絲作為母線,具備(bei)強度(du)高、硬度(du)大、切削(xue)性好等特點,不過它的線徑規格(ge)較粗,出于硅(gui)片降本而催生的薄片化需求,鎢(wu)絲作為母線的金剛線逐漸越來越多(duo)。
經過多年發展,硅片切割使用的高碳鋼絲金剛線的(de)線徑逐漸細化,目前已經到35μm,接近物理極(ji)限(xian)。在業內看來,若要向(xiang)35μm以下的(de)線徑規格方向(xiang)演進,則需(xu)要替換(huan)金剛線母線材料。而鎢(wu)絲憑借具(ju)(ju)備耐(nai)磨損、高強(qiang)度、斷線率(lv)低等優勢,具(ju)(ju)備更大的(de)細線化空間。因(yin)此(ci),金剛線母線材料開始朝著鎢(wu)絲方向(xiang)滲透。
此(ci)外(wai),對于硅(gui)(gui)片(pian)(pian)企業而言,若金剛線越細,切割硅(gui)(gui)棒時產生的多晶硅(gui)(gui)損耗就越少,越有利于節(jie)省成(cheng)本。另外(wai),在硅(gui)(gui)片(pian)(pian)向(xiang)大尺寸(cun)化(hua)、薄片(pian)(pian)化(hua)方(fang)向(xiang)發展的趨勢(shi)下,疊加(jia)N型(xing)硅(gui)(gui)片(pian)(pian)發展趨勢(shi),更(geng)細的鎢絲有利于減(jian)少對硅(gui)(gui)片(pian)(pian)損傷,提高(gao)切割效率(lv)。