一、探針的種類有哪些

在晶圓或芯片測(ce)(ce)試(shi)的過程中，通(tong)常會使用(yong)探針來準確連接晶圓或芯片的引(yin)腳或錫(xi)球與測(ce)(ce)試(shi)機，以便檢測(ce)(ce)產品的導通(tong)性(xing)(xing)、電流性(xing)(xing)、功能(neng)性(xing)(xing)和老(lao)化(hua)性(xing)(xing)等性(xing)(xing)能(neng)指標。那么你知道探針的種類有哪些嗎(ma)？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探(tan)針是(shi)一個由螺旋彈簧組(zu)成(cheng)(cheng)(cheng)的(de)探(tan)針，其兩端連接(jie)在(zai)上(shang)下柱(zhu)栓(shuan)上(shang)。螺旋彈簧的(de)中間部分緊密(mi)纏(chan)繞在(zai)一起，以(yi)防止產生額外(wai)的(de)電感和(he)附件電阻(zu)。而彈簧的(de)兩端部分則被稀(xi)疏纏(chan)繞，以(yi)降低(di)探(tan)針對(dui)被測試物體的(de)壓力。在(zai)檢測集(ji)成(cheng)(cheng)(cheng)電路(lu)時，信號會從(cong)下柱(zhu)栓(shuan)流(liu)向上(shang)方，形成(cheng)(cheng)(cheng)導電路(lu)徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探針(zhen)為探針(zhen)部(bu)提供適當的縱(zong)向位移，用于通(tong)過橫向懸臂接觸待測(ce)半導(dao)體產品，以避免探針(zhen)部(bu)對待測(ce)半導(dao)體產品施加過大(da)的針(zhen)壓。

（3）垂(chui)直式探針

垂(chui)直探針可(ke)以對應高密度信(xin)號觸點的(de)(de)待測半(ban)導(dao)體產(chan)品的(de)(de)細間(jian)距排列，針尖(jian)接觸待測半(ban)導(dao)體產(chan)品所(suo)需的(de)(de)縱(zong)向位移可(ke)以通過針體本身的(de)(de)彈性變(bian)形來提(ti)供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁合(he)金探針具有穩定的(de)接觸電阻，兼顧硬度和柔(rou)韌性(xing)，不易發生探針偏差(cha)。因此(ci)，鎢髁合(he)金探針是目(mu)前性(xing)能良好(hao)的(de)一種常(chang)見探針。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針用于對測試(shi)頻率比較敏感的(de)測試(shi)環境；普通探針用于對信號(hao)衰減不(bu)敏感的(de)測試(shi)環境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料：選擇材質通(tong)常為316不(bu)銹鋼、金屬玻(bo)璃、石英(ying)玻(bo)璃、硅、玻(bo)璃鋼等。不(bu)同材料的探針具有不(bu)同的化學惰性(xing)和機械性(xing)能，對探測(ce)的液體和氣(qi)體有不(bu)同的適應(ying)性(xing)。

（2）形(xing)(xing)狀：選擇(ze)探針(zhen)的形(xing)(xing)狀應(ying)該根據實驗(yan)需求進(jin)行(xing)選擇(ze)，通(tong)常探針(zhen)的形(xing)(xing)狀為(wei)直棒狀、U形(xing)(xing)、Z形(xing)(xing)等。考(kao)慮到實驗(yan)的靈敏度(du)問題(ti)，在選用探針(zhen)時必須(xu)與(yu)被測物(wu)相匹配(pei)。

（3）長度：探針(zhen)的(de)長度是下降(jiang)液面幅(fu)度的(de)關鍵因(yin)素(su)。為獲得準確(que)的(de)下降(jiang)水平，要根據實際測量(liang)需(xu)求(qiu)選(xuan)擇合適的(de)長度。

（4）直徑：探(tan)(tan)針(zhen)的粗細(xi)通常采用0.5mm至5mm之間。過粗的探(tan)(tan)針(zhen)會影響測(ce)量的靈敏度，過細(xi)的探(tan)(tan)針(zhen)則可能會導致探(tan)(tan)針(zhen)的折(zhe)斷。

（5）表(biao)面(mian)處理：在實驗中(zhong)，探針(zhen)處于探測的(de)介質中(zhong)，探針(zhen)的(de)表(biao)面(mian)形態和性質會直(zhi)接影響到測量結果。因此(ci)，探針(zhen)的(de)表(biao)面(mian)要(yao)求經過光潔處理和表(biao)面(mian)處理。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量(liang)(liang)問題：在使用過程中應定期進(jin)行質(zhi)量(liang)(liang)檢查。探針(zhen)的質(zhi)量(liang)(liang)差會導致測量(liang)(liang)誤差增大，嚴重時可能(neng)會損壞實(shi)驗(yan)設備。

（2）加工(gong)工(gong)藝(yi)問題(ti)：在探針的制作過(guo)程中，要保證探針的形狀、尺(chi)寸的精確與(yu)穩定。

（3）使用(yong)注意事項：避免(mian)在測量過程中引入(ru)空(kong)氣，勿使用(yong)有(you)陷(xian)進(jin)、連續的探針(zhen)以免(mian)擾(rao)動測量，對(dui)于使用(yong)多(duo)個(ge)探針(zhen)進(jin)行(xing)測量的情(qing)況要確(que)保探針(zhen)之間(jian)的長度和間(jian)距足夠。

（4）存(cun)儲和保養問題：盡可能地保證存(cun)儲環境(jing)無(wu)除塵、避光性好；探(tan)針表面不能有(you)刮(gua)傷(shang)等損壞，使用前應清洗干凈且消毒處(chu)理。