一、探針的種類有哪些

在晶圓或芯(xin)片測(ce)試的(de)過程中，通常會使用(yong)探(tan)(tan)針來準確連(lian)接(jie)晶圓或芯(xin)片的(de)引腳或錫(xi)球與測(ce)試機，以便檢測(ce)產品的(de)導通性(xing)(xing)、電流(liu)性(xing)(xing)、功能性(xing)(xing)和老化性(xing)(xing)等(deng)性(xing)(xing)能指標。那(nei)么你知道探(tan)(tan)針的(de)種類有哪(na)些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈(dan)性(xing)探(tan)針是一(yi)個由螺旋彈(dan)簧組成的(de)探(tan)針，其(qi)兩端連接在(zai)(zai)上(shang)(shang)下柱栓上(shang)(shang)。螺旋彈(dan)簧的(de)中間部(bu)分緊密纏繞在(zai)(zai)一(yi)起，以防止產生額(e)外(wai)的(de)電(dian)感和附件電(dian)阻。而彈(dan)簧的(de)兩端部(bu)分則被(bei)稀(xi)疏纏繞，以降低探(tan)針對被(bei)測試物體的(de)壓(ya)力。在(zai)(zai)檢測集成電(dian)路時(shi)，信號會從下柱栓流向上(shang)(shang)方，形(xing)成導電(dian)路徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探(tan)(tan)針(zhen)為(wei)探(tan)(tan)針(zhen)部(bu)提供適(shi)當的縱向位移(yi)，用于通過橫(heng)向懸臂接觸待(dai)測(ce)(ce)半導體產(chan)品，以避免探(tan)(tan)針(zhen)部(bu)對待(dai)測(ce)(ce)半導體產(chan)品施加過大的針(zhen)壓。

（3）垂直式探針

垂直探針可以對應高密度信(xin)號(hao)觸點的待測(ce)半(ban)導(dao)體產(chan)品的細(xi)間(jian)距排列，針尖接觸待測(ce)半(ban)導(dao)體產(chan)品所(suo)需的縱向位移可以通過針體本身(shen)的彈性變形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢(wu)髁合金探(tan)(tan)針(zhen)具有穩定(ding)的接(jie)觸(chu)電阻，兼顧(gu)硬(ying)度和柔韌性，不易發生探(tan)(tan)針(zhen)偏差。因(yin)此，鎢(wu)髁合金探(tan)(tan)針(zhen)是目前性能良好的一種(zhong)常(chang)見探(tan)(tan)針(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同(tong)軸探針用于(yu)對(dui)測試(shi)(shi)頻率比較敏感(gan)的測試(shi)(shi)環(huan)境(jing)；普通探針用于(yu)對(dui)信號衰減不敏感(gan)的測試(shi)(shi)環(huan)境(jing)。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料：選擇材質通常為316不(bu)銹鋼、金屬玻璃、石英玻璃、硅、玻璃鋼等。不(bu)同(tong)材料的(de)探針具(ju)有不(bu)同(tong)的(de)化學惰(duo)性和機械(xie)性能(neng)，對探測的(de)液體(ti)和氣體(ti)有不(bu)同(tong)的(de)適應性。

（2）形(xing)狀(zhuang)：選擇(ze)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)的形(xing)狀(zhuang)應該根(gen)據實(shi)驗需求進行(xing)選擇(ze)，通常探(tan)(tan)(tan)針(zhen)的形(xing)狀(zhuang)為直(zhi)棒(bang)狀(zhuang)、U形(xing)、Z形(xing)等。考(kao)慮到實(shi)驗的靈敏度(du)問題，在(zai)選用探(tan)(tan)(tan)針(zhen)時必須與被(bei)測物相匹配(pei)。

（3）長(chang)度(du)：探針的(de)(de)長(chang)度(du)是(shi)下降液面幅度(du)的(de)(de)關鍵因素。為獲(huo)得準確(que)的(de)(de)下降水(shui)平，要根據實際測量需求選擇(ze)合適(shi)的(de)(de)長(chang)度(du)。

（4）直徑：探針的粗細通(tong)常采用0.5mm至(zhi)5mm之間。過粗的探針會(hui)影響測量的靈敏(min)度，過細的探針則可能會(hui)導致探針的折(zhe)斷。

（5）表面處(chu)理：在實驗中，探針處(chu)于探測(ce)的介質(zhi)中，探針的表面形態和性質(zhi)會直(zhi)接影響到測(ce)量結(jie)果。因此，探針的表面要求經過光潔處(chu)理和表面處(chu)理。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量問(wen)題：在使(shi)用過程中應定期進(jin)行質(zhi)量檢查。探針的(de)質(zhi)量差會(hui)導致測量誤(wu)差增大，嚴重時可能會(hui)損壞(huai)實驗(yan)設備。

（2）加工(gong)工(gong)藝問題(ti)：在探針的制作(zuo)過程中，要保證探針的形狀、尺寸的精確(que)與(yu)穩定。

（3）使用(yong)注意事項：避免在(zai)測(ce)量(liang)過(guo)程(cheng)中引入空氣，勿使用(yong)有陷(xian)進(jin)(jin)、連續的探(tan)(tan)針以免擾動測(ce)量(liang)，對(dui)于(yu)使用(yong)多(duo)個(ge)探(tan)(tan)針進(jin)(jin)行測(ce)量(liang)的情況要確保探(tan)(tan)針之間的長(chang)度(du)和間距足夠(gou)。

（4）存儲和保養問題：盡可能地保證(zheng)存儲環境(jing)無除塵、避光(guang)性好；探針(zhen)表面不(bu)能有刮傷等損(sun)壞，使用前應清洗干凈且(qie)消毒處理。