一、探針的種類有哪些

在(zai)晶(jing)圓(yuan)或(huo)芯片測(ce)試(shi)(shi)的過程中，通常(chang)會使(shi)用探針(zhen)來準確(que)連接晶(jing)圓(yuan)或(huo)芯片的引腳(jiao)或(huo)錫球與測(ce)試(shi)(shi)機，以便(bian)檢測(ce)產品的導通性、電流性、功(gong)能(neng)性和(he)老化性等性能(neng)指(zhi)標。那么你(ni)知道探針(zhen)的種類(lei)有哪(na)些(xie)嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探(tan)針是一個由(you)螺(luo)旋彈簧(huang)組成的探(tan)針，其兩端連接在上(shang)下柱栓(shuan)上(shang)。螺(luo)旋彈簧(huang)的中間部(bu)分緊密纏(chan)繞在一起，以防止(zhi)產生額外的電(dian)(dian)(dian)感和附件電(dian)(dian)(dian)阻(zu)。而彈簧(huang)的兩端部(bu)分則(ze)被稀疏纏(chan)繞，以降低(di)探(tan)針對被測試物體的壓力。在檢(jian)測集成電(dian)(dian)(dian)路時，信(xin)號會從下柱栓(shuan)流向上(shang)方，形成導電(dian)(dian)(dian)路徑(jing)。

（2）懸臂式探針

懸臂(bei)探(tan)針(zhen)為探(tan)針(zhen)部提供(gong)適(shi)當的縱(zong)向(xiang)位(wei)移，用于通過(guo)(guo)橫向(xiang)懸臂(bei)接觸待測(ce)半導體產品(pin)，以避(bi)免探(tan)針(zhen)部對待測(ce)半導體產品(pin)施加過(guo)(guo)大的針(zhen)壓(ya)。

（3）垂(chui)直式探針

垂直探針(zhen)可以對應(ying)高(gao)密(mi)度信(xin)號觸點的待測半導(dao)體(ti)產品(pin)的細間(jian)距排列，針(zhen)尖接觸待測半導(dao)體(ti)產品(pin)所需的縱向位(wei)移可以通過針(zhen)體(ti)本身(shen)的彈性變形(xing)來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其(qi)中，鎢髁合金探針(zhen)具有穩定(ding)的(de)接觸電阻，兼顧(gu)硬度和柔韌(ren)性，不易發(fa)生探針(zhen)偏差。因此，鎢髁合金探針(zhen)是目前性能良好(hao)的(de)一種常(chang)見探針(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針用于(yu)對測(ce)試(shi)(shi)頻率(lv)比較敏感(gan)的(de)測(ce)試(shi)(shi)環境；普通探針用于(yu)對信(xin)號衰減不敏感(gan)的(de)測(ce)試(shi)(shi)環境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)料：選擇材(cai)質通常為316不(bu)(bu)銹鋼、金屬玻璃、石英玻璃、硅、玻璃鋼等。不(bu)(bu)同材(cai)料的探(tan)針具有不(bu)(bu)同的化學惰性和機(ji)械性能(neng)，對(dui)探(tan)測(ce)的液(ye)體(ti)和氣體(ti)有不(bu)(bu)同的適應性。

（2）形狀：選(xuan)擇(ze)探針的(de)形狀應該根(gen)據實驗需求(qiu)進行選(xuan)擇(ze)，通常探針的(de)形狀為直棒狀、U形、Z形等。考慮到實驗的(de)靈敏度問題(ti)，在選(xuan)用探針時必須與被(bei)測物(wu)相匹配。

（3）長度：探針的長度是(shi)下降液面幅度的關鍵因(yin)素。為獲得準確的下降水平，要根據實際(ji)測量需求選擇合適的長度。

（4）直徑：探(tan)針(zhen)的(de)(de)(de)粗細(xi)通常(chang)采用0.5mm至5mm之間。過粗的(de)(de)(de)探(tan)針(zhen)會影響測量的(de)(de)(de)靈敏(min)度(du)，過細(xi)的(de)(de)(de)探(tan)針(zhen)則可(ke)能會導(dao)致(zhi)探(tan)針(zhen)的(de)(de)(de)折斷(duan)。

（5）表(biao)(biao)面(mian)處(chu)(chu)理：在(zai)實驗中(zhong)，探針處(chu)(chu)于(yu)探測的(de)介質中(zhong)，探針的(de)表(biao)(biao)面(mian)形態和(he)性質會直接影響到測量結果。因(yin)此，探針的(de)表(biao)(biao)面(mian)要求經過(guo)光潔處(chu)(chu)理和(he)表(biao)(biao)面(mian)處(chu)(chu)理。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量(liang)問題：在使用過(guo)程中應定期(qi)進行(xing)質(zhi)量(liang)檢(jian)查。探針的質(zhi)量(liang)差會(hui)導致測量(liang)誤差增(zeng)大(da)，嚴(yan)重時可能會(hui)損壞實驗設(she)備。

（2）加工(gong)工(gong)藝(yi)問題：在探(tan)針的制作過程中，要保證探(tan)針的形狀(zhuang)、尺寸的精(jing)確與穩(wen)定。

（3）使(shi)(shi)用注意事項：避免在測(ce)量過程中引入空氣，勿使(shi)(shi)用有陷(xian)進、連續的(de)探針以(yi)免擾動測(ce)量，對于使(shi)(shi)用多個探針進行測(ce)量的(de)情況(kuang)要確(que)保探針之間的(de)長(chang)度和間距足夠。

（4）存(cun)儲和(he)保(bao)(bao)養問(wen)題：盡可(ke)能地保(bao)(bao)證存(cun)儲環(huan)境無除塵、避(bi)光性好；探針表面不(bu)能有刮傷等損壞，使用前應(ying)清洗干凈且(qie)消(xiao)毒處理。