一、探針的種類有哪些

在晶(jing)圓(yuan)或芯片測(ce)試的過程中，通(tong)(tong)常(chang)會使用探針(zhen)來準(zhun)確連接晶(jing)圓(yuan)或芯片的引(yin)腳或錫球與(yu)測(ce)試機(ji)，以便檢測(ce)產品的導通(tong)(tong)性(xing)、電(dian)流性(xing)、功能(neng)(neng)性(xing)和老化性(xing)等性(xing)能(neng)(neng)指(zhi)標(biao)。那么你知道探針(zhen)的種類有哪些(xie)嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探針(zhen)(zhen)是(shi)一個由螺旋(xuan)彈簧組(zu)成的(de)(de)探針(zhen)(zhen)，其兩端連(lian)接在(zai)上下(xia)柱(zhu)栓(shuan)上。螺旋(xuan)彈簧的(de)(de)中間部(bu)分(fen)緊密(mi)纏(chan)繞在(zai)一起(qi)，以(yi)(yi)防止(zhi)產生額外的(de)(de)電感和附件電阻。而(er)彈簧的(de)(de)兩端部(bu)分(fen)則(ze)被稀疏纏(chan)繞，以(yi)(yi)降(jiang)低探針(zhen)(zhen)對被測試物體的(de)(de)壓力。在(zai)檢(jian)測集成電路時(shi)，信號(hao)會(hui)從(cong)下(xia)柱(zhu)栓(shuan)流(liu)向上方，形成導電路徑。

（2）懸臂式探針

懸(xuan)臂(bei)探(tan)針(zhen)為探(tan)針(zhen)部提供適(shi)當的縱向位移，用于通(tong)過橫向懸(xuan)臂(bei)接觸待測半導(dao)體產(chan)品(pin)，以避免探(tan)針(zhen)部對待測半導(dao)體產(chan)品(pin)施加(jia)過大的針(zhen)壓。

（3）垂直式(shi)探(tan)針

垂直探(tan)針可以對應高密度信號觸點的待(dai)測半(ban)導體(ti)產(chan)品的細(xi)間距排列，針尖接觸待(dai)測半(ban)導體(ti)產(chan)品所(suo)需的縱向位移(yi)可以通過(guo)針體(ti)本身的彈性變形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢(wu)髁合金探(tan)針具有穩定的接觸電阻，兼(jian)顧(gu)硬度和柔韌性，不易(yi)發生探(tan)針偏差。因(yin)此，鎢(wu)髁合金探(tan)針是目前性能(neng)良好(hao)的一(yi)種(zhong)常見探(tan)針。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針(zhen)用于對測(ce)(ce)試(shi)頻率比較(jiao)敏(min)感的測(ce)(ce)試(shi)環(huan)境(jing)；普通探針(zhen)用于對信(xin)號衰(shuai)減不敏(min)感的測(ce)(ce)試(shi)環(huan)境(jing)。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)(cai)料：選擇(ze)材(cai)(cai)質通常為316不(bu)(bu)銹鋼(gang)、金屬玻(bo)璃(li)、石(shi)英玻(bo)璃(li)、硅、玻(bo)璃(li)鋼(gang)等。不(bu)(bu)同(tong)(tong)材(cai)(cai)料的探(tan)針具有不(bu)(bu)同(tong)(tong)的化學惰性(xing)和(he)機械性(xing)能(neng)，對探(tan)測(ce)的液體和(he)氣體有不(bu)(bu)同(tong)(tong)的適(shi)應性(xing)。

（2）形(xing)狀：選(xuan)擇(ze)探(tan)針的(de)(de)形(xing)狀應該根據實驗需求進行選(xuan)擇(ze)，通常(chang)探(tan)針的(de)(de)形(xing)狀為直棒狀、U形(xing)、Z形(xing)等。考慮到實驗的(de)(de)靈(ling)敏(min)度問(wen)題，在選(xuan)用(yong)探(tan)針時必須(xu)與被測物相匹配。

（3）長度：探針(zhen)的長度是下(xia)(xia)降(jiang)液面幅度的關(guan)鍵因(yin)素。為(wei)獲得準(zhun)確的下(xia)(xia)降(jiang)水平，要(yao)根(gen)據(ju)實際(ji)測量需求選擇合(he)適(shi)的長度。

（4）直徑：探(tan)針的(de)粗(cu)(cu)細(xi)通常(chang)采(cai)用0.5mm至5mm之(zhi)間。過粗(cu)(cu)的(de)探(tan)針會影響測量的(de)靈敏度，過細(xi)的(de)探(tan)針則可能會導(dao)致探(tan)針的(de)折(zhe)斷(duan)。

（5）表面處理：在實驗中(zhong)，探(tan)針(zhen)處于(yu)探(tan)測(ce)的(de)介質中(zhong)，探(tan)針(zhen)的(de)表面形態(tai)和(he)性質會直接影響到測(ce)量結果。因此，探(tan)針(zhen)的(de)表面要求經過光潔處理和(he)表面處理。

2、探針的要求

（1）質量問題(ti)：在使(shi)用過程中(zhong)應定期進行(xing)質量檢查。探針的質量差會(hui)導致測量誤(wu)差增大，嚴重時可(ke)能會(hui)損壞(huai)實驗設備(bei)。

（2）加工工藝問(wen)題：在(zai)探(tan)(tan)針(zhen)的(de)制作過程(cheng)中(zhong)，要保證探(tan)(tan)針(zhen)的(de)形狀、尺寸(cun)的(de)精(jing)確與(yu)穩定。

（3）使(shi)用注(zhu)意事項：避免在測(ce)量過(guo)程中(zhong)引入空氣(qi)，勿使(shi)用有陷進(jin)、連續的(de)探針(zhen)以免擾(rao)動測(ce)量，對于使(shi)用多個探針(zhen)進(jin)行測(ce)量的(de)情況要確保探針(zhen)之間(jian)的(de)長度(du)和間(jian)距(ju)足夠。

（4）存儲和保(bao)養(yang)問題：盡可能地保(bao)證存儲環境(jing)無除塵、避光性好；探針表面(mian)不能有(you)刮傷等損(sun)壞，使用前應(ying)清洗干凈且消(xiao)毒處理。