一、探針的種類有哪些

在(zai)晶(jing)圓或芯(xin)片(pian)測(ce)(ce)試(shi)的(de)過(guo)程中，通常會使用探針來(lai)準(zhun)確連接晶(jing)圓或芯(xin)片(pian)的(de)引(yin)腳或錫球與(yu)測(ce)(ce)試(shi)機，以便檢(jian)測(ce)(ce)產品的(de)導通性、電(dian)流(liu)性、功能性和老化性等性能指標。那(nei)么你知道探針的(de)種類有(you)哪些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探針(zhen)是(shi)一個由螺旋彈簧組成的探針(zhen)，其兩(liang)(liang)端連接在上(shang)下柱栓(shuan)上(shang)。螺旋彈簧的中(zhong)間部(bu)分緊密纏繞在一起，以防止產生額(e)外(wai)的電感和(he)附件電阻。而彈簧的兩(liang)(liang)端部(bu)分則被(bei)稀疏纏繞，以降低探針(zhen)對被(bei)測(ce)試物體的壓力。在檢(jian)測(ce)集成電路時，信號(hao)會從(cong)下柱栓(shuan)流向上(shang)方，形成導(dao)電路徑。

（2）懸臂式探針

懸臂(bei)(bei)探針為探針部(bu)提供適當(dang)的縱(zong)向(xiang)(xiang)位移，用(yong)于通過橫(heng)向(xiang)(xiang)懸臂(bei)(bei)接觸待測(ce)半(ban)導體產(chan)品，以避免探針部(bu)對待測(ce)半(ban)導體產(chan)品施(shi)加過大(da)的針壓。

（3）垂直(zhi)式探針

垂(chui)直探針可以對應(ying)高密度信號觸點的(de)待(dai)測半導體產品(pin)的(de)細間距排列，針尖接觸待(dai)測半導體產品(pin)所需的(de)縱向位移可以通(tong)過針體本(ben)身的(de)彈性變形來提(ti)供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢(wu)髁(ke)合(he)金探(tan)(tan)針具有穩定的接觸電阻，兼(jian)顧硬度和(he)柔(rou)韌(ren)性，不易發生探(tan)(tan)針偏差。因(yin)此，鎢(wu)髁(ke)合(he)金探(tan)(tan)針是目前性能良好的一(yi)種常見探(tan)(tan)針。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針用(yong)于(yu)對測(ce)試(shi)頻率比較敏感(gan)的測(ce)試(shi)環境(jing)；普通探針用(yong)于(yu)對信號衰減不敏感(gan)的測(ce)試(shi)環境(jing)。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料(liao)：選擇材質通常為316不銹鋼(gang)、金屬玻璃(li)、石(shi)英(ying)玻璃(li)、硅(gui)、玻璃(li)鋼(gang)等。不同材料(liao)的(de)探針具有不同的(de)化(hua)學惰性和(he)機械性能，對探測的(de)液體和(he)氣體有不同的(de)適應性。

（2）形狀(zhuang)：選擇探針(zhen)(zhen)(zhen)的形狀(zhuang)應(ying)該根據實(shi)驗需求進行選擇，通常(chang)探針(zhen)(zhen)(zhen)的形狀(zhuang)為直棒(bang)狀(zhuang)、U形、Z形等。考(kao)慮到實(shi)驗的靈敏度問題，在選用探針(zhen)(zhen)(zhen)時(shi)必須與被測物相匹配。

（3）長度：探針(zhen)的長度是下降(jiang)液面幅度的關鍵因素。為獲得準確的下降(jiang)水平(ping)，要根據(ju)實際測量需求選擇合適的長度。

（4）直(zhi)徑(jing)：探(tan)針(zhen)(zhen)的(de)粗(cu)細(xi)(xi)通常采用0.5mm至5mm之(zhi)間(jian)。過(guo)粗(cu)的(de)探(tan)針(zhen)(zhen)會影響測量的(de)靈敏度，過(guo)細(xi)(xi)的(de)探(tan)針(zhen)(zhen)則可能會導致探(tan)針(zhen)(zhen)的(de)折(zhe)斷。

（5）表(biao)面處理(li)(li)：在(zai)實驗(yan)中，探針(zhen)處于探測(ce)(ce)的(de)介(jie)質(zhi)中，探針(zhen)的(de)表(biao)面形態和(he)性質(zhi)會直接影響到(dao)測(ce)(ce)量結果。因此，探針(zhen)的(de)表(biao)面要(yao)求(qiu)經過光潔處理(li)(li)和(he)表(biao)面處理(li)(li)。

2、探針的要求

（1）質(zhi)(zhi)量問題(ti)：在使用(yong)過程(cheng)中(zhong)應定期(qi)進行質(zhi)(zhi)量檢查(cha)。探(tan)針的質(zhi)(zhi)量差會導(dao)致測量誤(wu)差增大，嚴重時可能會損壞(huai)實(shi)驗設備。

（2）加工(gong)工(gong)藝問題：在探(tan)針(zhen)的制作過程中，要保(bao)證探(tan)針(zhen)的形狀、尺寸的精確與穩(wen)定。

（3）使(shi)用注意事項：避免(mian)在測(ce)(ce)量(liang)過(guo)程中引入(ru)空氣，勿使(shi)用有陷(xian)進(jin)、連續的(de)探(tan)針(zhen)以免(mian)擾動測(ce)(ce)量(liang)，對于(yu)使(shi)用多個探(tan)針(zhen)進(jin)行測(ce)(ce)量(liang)的(de)情(qing)況要確保探(tan)針(zhen)之間的(de)長度(du)和間距足夠。

（4）存(cun)儲和保(bao)養問題：盡可能地保(bao)證存(cun)儲環境(jing)無除塵、避光(guang)性好；探針(zhen)表面(mian)不能有刮傷等損壞，使(shi)用前應清洗干凈且消毒處理。