機(ji)油壓力(li)(li)傳(chuan)(chuan)感器(qi)原(yuan)理 汽車(che)機(ji)油壓力(li)(li)傳(chuan)(chuan)感器(qi)工(gong)作原(yuan)理

機油壓力傳感器原理——簡介

機油壓力傳感器簡稱是(MEMS)是一種微電(dian)子機械系統。它(ta)集成了微型傳感器、執行器以及(ji)信號處理和控制電(dian)路、接口電(dian)路、通信和電(dian)源(yuan)。且其(qi)體積非(fei)常小。

一(yi)(yi)般(ban)常用(yong)的(de)有(you)硅壓阻(zu)式和(he)硅電(dian)容式，兩者(zhe)(zhe)都是在硅片上(shang)生成(cheng)(cheng)的(de)微機(ji)(ji)械電(dian)子傳感(gan)器。一(yi)(yi)般(ban)情況上(shang)，我(wo)們通過(guo)機(ji)(ji)油(you)壓力(li)傳感(gan)器來(lai)檢測(ce)汽(qi)(qi)車的(de)機(ji)(ji)油(you)向內的(de)汽(qi)(qi)油(you)還有(you)多少，并將檢測(ce)到的(de)信號(hao)轉換成(cheng)(cheng)我(wo)們可(ke)以理(li)解的(de)信號(hao)，提醒(xing)我(wo)們還有(you)多少汽(qi)(qi)油(you)，或者(zhe)(zhe)還可(ke)以走多遠，甚至是提醒(xing)汽(qi)(qi)車需要加汽(qi)(qi)油(you)了。

機油壓力傳感器原理——原理

MEMS壓(ya)力(li)傳(chuan)(chuan)感(gan)器有硅壓(ya)阻式壓(ya)力(li)傳(chuan)(chuan)感(gan)器和硅電容式壓(ya)力(li)傳(chuan)(chuan)感(gan)器，兩者都是在硅片上生成的微機(ji)械(xie)電子傳(chuan)(chuan)感(gan)器。

MEMS硅(gui)壓(ya)阻(zu)式壓(ya)力傳感器采(cai)用周邊固定的圓(yuan)形(xing)應力杯硅(gui)薄膜內壁(bi)，采(cai)用MEMS技術直接(jie)將四個高精密(mi)半導體(ti)應(ying)變(bian)片刻制(zhi)在其(qi)表面應(ying)力(li)最大處(chu)，組成惠斯(si)頓測量(liang)(liang)電(dian)(dian)橋(qiao)，作為力(li)電(dian)(dian)變(bian)換測量(liang)(liang)電(dian)(dian)路(lu)，將壓力(li)這個物理量(liang)(liang)直接(jie)變(bian)換成電(dian)(dian)量(liang)(liang)，其(qi)測量(liang)(liang)精度(du)能(neng)達(da)0.01-0.03%FS。

硅壓(ya)(ya)阻式(shi)壓(ya)(ya)力(li)傳感器是采用高精密(mi)半導(dao)體電(dian)阻應(ying)變(bian)片組成(cheng)惠斯頓電(dian)橋作為(wei)力(li)電(dian)變(bian)換(huan)測量(liang)電(dian)路(lu)的(de)，具有較高的(de)測量(liang)精度、較低(di)的(de)功耗和極低(di)的(de)成(cheng)本。惠斯頓電(dian)橋的(de)壓(ya)(ya)阻式(shi)傳感器，如無壓(ya)(ya)力(li)變(bian)化(hua)，其輸出為(wei)零(ling)，幾(ji)乎不耗電(dian)。

利用MEMS技術在硅片上制造出(chu)橫(heng)隔(ge)柵狀，上下二根橫(heng)隔(ge)柵成為一組電容式壓(ya)力傳感器(qi)。

上橫隔柵受壓力作用向下位移，改變了上下二根橫隔柵的間距，也就改變了板間電容量的大小，即△壓力=△電(dian)容量(liang)。

機油壓力傳感器原理——特點

MEMS壓力傳感器可以用類似集(ji)成(cheng)電路的設計技(ji)術和制造工藝(yi)，進(jin)行高精(jing)度、低成(cheng)本的大批量生產(chan)，從(cong)而為消費電子和工業(ye)過程控制產(chan)品用低廉的成(cheng)本大量使用MEMS傳(chuan)感器(qi)打開(kai)方(fang)便(bian)之門，使(shi)壓力(li)控制變得簡單、易(yi)用和智能化。

傳統的機械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機械量彈性變形到電量轉換輸出，因此它不可能如MEMS壓(ya)力傳感器那樣(yang)，像集成(cheng)電路那么微小，而且成(cheng)本(ben)也遠遠高于MEMS壓力傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)。相對于傳(chuan)統的機械量(liang)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)，MEMS壓力傳(chuan)感器(qi)的尺寸更小，最大(da)的不超過一個厘米，相對于(yu)傳(chuan)統“機械”制造技(ji)術，其(qi)性(xing)價(jia)比大(da)幅度提高。

機油壓力傳感器原理——應用

機油壓力傳感器廣泛應用于汽車電子如TPMS、發(fa)動(dong)機(ji)機(ji)油壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)、汽車(che)剎車(che)系統空氣壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)、汽車(che)發(fa)動(dong)機(ji)進氣歧管壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)(TMAP)、柴油(you)機共(gong)軌壓力傳感(gan)器。

消(xiao)費電子(zi)如胎壓(ya)(ya)計、血(xue)壓(ya)(ya)計、櫥(chu)用秤、健康秤，洗衣機(ji)、洗碗機(ji)、電冰(bing)箱、微波爐(lu)、烤箱、吸(xi)塵器(qi)用壓(ya)(ya)力傳感器(qi)，空調壓(ya)(ya)力傳感器(qi)，洗衣機(ji)、飲(yin)水(shui)機(ji)、洗碗機(ji)、太陽能熱水(shui)器(qi)用液位控制壓(ya)(ya)力傳感器(qi)。工業電子(zi)如數(shu)字壓(ya)(ya)力表、數(shu)字流量表、工業配料稱(cheng)重等。