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快速退火爐的主要功能和特點有哪些 快速退火爐的應用領域介紹

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2024-03-14 評論 0
摘要:快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷,改善產品性能。接下來本文將帶來快速退火爐的主要功能和特點有哪些以及快速退火爐的應用領域介紹,感興趣的小伙伴趕緊點進來看看吧!

一、快速退火爐的主要功能和特點有哪些

快速退火(huo)爐是用(yong)于快速熱(re)處理(li)(li)、熱(re)氧(yang)化處理(li)(li)、高溫退火(huo)的(de)設備,采(cai)用(yong)先進的(de)微電腦(nao)控制系(xi)統,采(cai)用(yong)PID閉(bi)環控制溫度(du),可以達到(dao)極高的(de)控溫精度(du)和溫度(du)均勻性,并且(qie)可配置真空腔(qiang)體,也可根據用(yong)戶工藝需求配置多路氣體。

主(zhu)要功(gong)能(neng)和特點:

1、可(ke)視化7寸觸摸屏,設(she)定數據和(he)操作(zuo)都是圖文(wen)界面,操作(zuo)方便。

2、爐體配備(bei)高精度移動平臺,運行平穩無抖(dou)動。

3、爐管(guan)可(ke)自由移(yi)(yi)動(dong),且(qie)密封(feng)法(fa)蘭之(zhi)間(jian)用(yong)搭扣壓緊連接,放、取(qu)物料方便(bian)快(kuai)捷,避免了(le)螺(luo)栓(shuan)密封(feng)人為操(cao)作導致漏氣的(de)可(ke)能、減少(shao)了(le)因(yin)安裝(zhuang)法(fa)蘭而(er)造成加熱管(guan)損壞的(de)可(ke)能、當爐管(guan)移(yi)(yi)出爐膛時(shi)冷確風扇啟(qi)動(dong),可(ke)實現試樣的(de)迅(xun)速降溫,滿足材(cai)料驟冷驟熱的(de)實驗要求(qiu)。

4、爐膛采(cai)用(yong)進口多晶纖(xian)維真空吸附制成,采(cai)用(yong)進口紅外線加熱(re)管加熱(re),使用(yong)壽命可(ke)達5000小時,升溫(wen)速(su)度快,最高溫(wen)度可(ke)達1050℃。

5、預留了(le)真空(kong)、氣路(lu)快速接口,可(ke)配合我司真空(kong)系(xi)統、混氣系(xi)統使(shi)用。

6、預留(liu)了485轉換接(jie)口(kou),可通過我司(si)專用(yong)軟件,與計算(suan)機互聯,可實現單臺(tai)或者多(duo)臺(tai)電爐的(de)遠程控制、實時追(zhui)蹤(zong)、歷史記錄、輸出報表等功能(neng)。

7、設(she)置(zhi)超溫報警并斷電,漏(lou)電保護,操(cao)作(zuo)安全可(ke)靠。

二、快速退火爐的應用領域介紹

了解了快速退火爐的功能和特點后,再來看看快速退火爐的應用領域介紹吧!

1、快(kuai)(kuai)速熱(re)處理(RTP),快(kuai)(kuai)速退火(huo)(RTA),快(kuai)(kuai)速熱(re)氧化(RTO),快(kuai)(kuai)速熱(re)氮化(RTN)。

2、離(li)子注入/接觸退火。

3、金屬合金。

4、熱氧化處理。

5、化(hua)合(he)物(wu)合(he)金(砷化(hua)鎵、氮化(hua)物(wu)等)。

6、多晶硅退火。

7、太(tai)陽能電(dian)池片(pian)退火。

8、高溫退火。

9、高溫擴散。

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