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快速退火爐的主要功能和特點有哪些 快速退火爐的應用領域介紹

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2024-03-14 評論 0
摘要:快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷,改善產品性能。接下來本文將帶來快速退火爐的主要功能和特點有哪些以及快速退火爐的應用領域介紹,感興趣的小伙伴趕緊點進來看看吧!

一、快速退火爐的主要功能和特點有哪些

快速(su)(su)退(tui)火(huo)爐(lu)是用(yong)(yong)于快速(su)(su)熱處理、熱氧(yang)化(hua)處理、高溫退(tui)火(huo)的設備,采用(yong)(yong)先進的微電腦控(kong)制(zhi)系統,采用(yong)(yong)PID閉環控(kong)制(zhi)溫度,可以(yi)達到(dao)極高的控(kong)溫精度和溫度均勻性,并(bing)且可配置(zhi)真空腔體(ti),也(ye)可根據用(yong)(yong)戶工(gong)藝(yi)需求配置(zhi)多路氣體(ti)。

主要(yao)功能和特點:

1、可(ke)視化7寸觸摸屏(ping),設定數據和操作(zuo)都是圖(tu)文界(jie)面,操作(zuo)方(fang)便。

2、爐(lu)體配備高精度移動平(ping)臺,運行平(ping)穩無抖(dou)動。

3、爐(lu)管(guan)可(ke)自由(you)移動(dong)(dong),且密封法(fa)蘭之間用搭扣(kou)壓緊連接,放、取物(wu)料方(fang)便快捷,避免了螺栓(shuan)密封人為操作(zuo)導致漏氣的(de)可(ke)能(neng)、減少(shao)了因安裝法(fa)蘭而造成(cheng)加熱(re)管(guan)損壞的(de)可(ke)能(neng)、當爐(lu)管(guan)移出爐(lu)膛(tang)時冷確(que)風扇啟動(dong)(dong),可(ke)實現試樣的(de)迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱(re)的(de)實驗要求。

4、爐膛(tang)采用(yong)進(jin)口(kou)多晶纖維(wei)真空吸附制(zhi)成,采用(yong)進(jin)口(kou)紅外線加熱管加熱,使用(yong)壽命可達(da)5000小時,升溫速度(du)快(kuai),最高(gao)溫度(du)可達(da)1050℃。

5、預留了(le)真(zhen)空、氣(qi)路快速接口,可配(pei)合我司真(zhen)空系統、混氣(qi)系統使用。

6、預留了485轉換接口,可通(tong)過我司專(zhuan)用軟件(jian),與計算機互聯(lian),可實(shi)現單臺(tai)或者多(duo)臺(tai)電爐(lu)的(de)遠(yuan)程控制、實(shi)時(shi)追蹤、歷史記(ji)錄、輸出報表等功(gong)能。

7、設置超溫報(bao)警并斷電,漏電保護(hu),操作安全(quan)可靠。

二、快速退火爐的應用領域介紹

了解了快速退火爐的功能和特點后,再來看看快速退火爐的應(ying)用領(ling)域介紹吧!

1、快(kuai)(kuai)速(su)熱(re)處理(li)(RTP),快(kuai)(kuai)速(su)退火(RTA),快(kuai)(kuai)速(su)熱(re)氧(yang)化(RTO),快(kuai)(kuai)速(su)熱(re)氮化(RTN)。

2、離(li)子注入/接觸退火。

3、金屬合金。

4、熱(re)氧(yang)化處理。

5、化合物合金(jin)(砷化鎵、氮化物等(deng))。

6、多晶硅退火。

7、太陽能(neng)電池片退火(huo)。

8、高溫退火。

9、高溫擴散。

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