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快速退火爐的主要功能和特點有哪些 快速退火爐的應用領域介紹

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2024-03-14 評論 0
摘要:快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷,改善產品性能。接下來本文將帶來快速退火爐的主要功能和特點有哪些以及快速退火爐的應用領域介紹,感興趣的小伙伴趕緊點進來看看吧!

一、快速退火爐的主要功能和特點有哪些

快速(su)退火爐是(shi)用(yong)于快速(su)熱(re)處理(li)、熱(re)氧化(hua)處理(li)、高(gao)溫(wen)退火的設備,采用(yong)先進的微電(dian)腦控(kong)制系統(tong),采用(yong)PID閉(bi)環(huan)控(kong)制溫(wen)度,可(ke)以(yi)達到極高(gao)的控(kong)溫(wen)精(jing)度和(he)溫(wen)度均勻性,并(bing)且可(ke)配置(zhi)真空腔體(ti)(ti),也可(ke)根據用(yong)戶工藝需求配置(zhi)多路氣體(ti)(ti)。

主要功能和特點:

1、可視化7寸觸摸屏,設定數據(ju)和操作(zuo)(zuo)都是圖文(wen)界(jie)面,操作(zuo)(zuo)方便。

2、爐體配備高精度移動平(ping)臺,運(yun)行(xing)平(ping)穩無抖動。

3、爐(lu)管可自由移動,且密封(feng)法蘭(lan)之間(jian)用搭扣壓緊(jin)連接,放、取物料(liao)(liao)方便快捷,避免(mian)了螺(luo)栓密封(feng)人為操作導致漏氣的(de)(de)可能、減少了因(yin)安(an)裝法蘭(lan)而造(zao)成(cheng)加熱管損壞的(de)(de)可能、當爐(lu)管移出爐(lu)膛時(shi)冷確風扇啟動,可實(shi)現試樣(yang)的(de)(de)迅(xun)速降(jiang)溫,滿(man)足材(cai)料(liao)(liao)驟(zou)冷驟(zou)熱的(de)(de)實(shi)驗要求(qiu)。

4、爐膛采(cai)用進口多(duo)晶(jing)纖維真(zhen)空吸附制成,采(cai)用進口紅(hong)外線加(jia)熱(re)管加(jia)熱(re),使用壽命(ming)可達5000小時,升(sheng)溫速度快,最(zui)高溫度可達1050℃。

5、預留了真空(kong)、氣(qi)路快速接口,可配合(he)我司真空(kong)系(xi)統、混(hun)氣(qi)系(xi)統使用。

6、預留了485轉換(huan)接口,可(ke)(ke)通過(guo)我司專(zhuan)用軟件,與計算(suan)機互聯,可(ke)(ke)實(shi)現單臺(tai)或(huo)者多臺(tai)電爐的遠(yuan)程(cheng)控制、實(shi)時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。

7、設(she)置超(chao)溫報警并斷電,漏電保護(hu),操作安(an)全可靠。

二、快速退火爐的應用領域介紹

了解了快速退火爐的功能和特點后,再來看看快速退火爐的(de)應用領域介紹吧(ba)!

1、快(kuai)速熱(re)(re)處(chu)理(RTP),快(kuai)速退火(RTA),快(kuai)速熱(re)(re)氧(yang)化(RTO),快(kuai)速熱(re)(re)氮化(RTN)。

2、離子注入/接觸退(tui)火。

3、金屬合金。

4、熱(re)氧化(hua)處理。

5、化合物合金(砷化鎵、氮化物等(deng))。

6、多(duo)晶硅退火。

7、太陽能電池片退火(huo)。

8、高溫退火。

9、高溫擴散。

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