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快速退火爐的主要功能和特點有哪些 快速退火爐的應用領域介紹

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2024-03-14 評論 0
摘要:快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷,改善產品性能。接下來本文將帶來快速退火爐的主要功能和特點有哪些以及快速退火爐的應用領域介紹,感興趣的小伙伴趕緊點進來看看吧!

一、快速退火爐的主要功能和特點有哪些

快(kuai)速退火爐是(shi)用(yong)于快(kuai)速熱(re)處理、熱(re)氧化處理、高溫退火的(de)設備,采用(yong)先進(jin)的(de)微電腦(nao)控(kong)(kong)(kong)制系統(tong),采用(yong)PID閉環控(kong)(kong)(kong)制溫度(du),可以(yi)達到極高的(de)控(kong)(kong)(kong)溫精度(du)和溫度(du)均勻(yun)性(xing),并且可配置真空腔(qiang)體,也可根據用(yong)戶(hu)工藝需求配置多路氣體。

主要功能(neng)和特點:

1、可視化7寸(cun)觸摸(mo)屏(ping),設定(ding)數據(ju)和操作都是(shi)圖文(wen)界面,操作方便。

2、爐體配備高精(jing)度移(yi)動平(ping)(ping)臺,運(yun)行平(ping)(ping)穩無抖動。

3、爐管(guan)(guan)(guan)可(ke)自由移動(dong)(dong),且密封(feng)(feng)法蘭之間(jian)用搭(da)扣壓緊連接,放、取物(wu)料方便快捷(jie),避免(mian)了螺栓密封(feng)(feng)人(ren)為操(cao)作導(dao)致漏氣的(de)可(ke)能、減少了因安裝法蘭而造成(cheng)加熱管(guan)(guan)(guan)損壞的(de)可(ke)能、當爐管(guan)(guan)(guan)移出爐膛時冷(leng)確(que)風扇啟動(dong)(dong),可(ke)實現試樣的(de)迅速降溫,滿足材料驟(zou)冷(leng)驟(zou)熱的(de)實驗要(yao)求。

4、爐(lu)膛采用(yong)(yong)進(jin)(jin)口(kou)(kou)多晶纖維真空吸(xi)附制成,采用(yong)(yong)進(jin)(jin)口(kou)(kou)紅外線加熱(re)管(guan)加熱(re),使用(yong)(yong)壽命可達5000小時,升溫速度(du)快,最高溫度(du)可達1050℃。

5、預留了真空、氣路(lu)快速接(jie)口,可配合我司真空系(xi)統(tong)、混氣系(xi)統(tong)使用。

6、預留(liu)了485轉換接口,可通過(guo)我司專用軟件,與計(ji)算機互聯,可實現單臺(tai)或者多(duo)臺(tai)電爐的(de)遠程控制(zhi)、實時追蹤、歷史記(ji)錄、輸(shu)出(chu)報表等功能。

7、設(she)置超溫報警并(bing)斷電,漏(lou)電保護,操作安全可(ke)靠。

二、快速退火爐的應用領域介紹

了解了快速退火爐的功能和特點后,再來看看快速退火爐的應用領(ling)域介(jie)紹吧!

1、快(kuai)(kuai)速(su)熱(re)處理(RTP),快(kuai)(kuai)速(su)退火(RTA),快(kuai)(kuai)速(su)熱(re)氧化(RTO),快(kuai)(kuai)速(su)熱(re)氮(dan)化(RTN)。

2、離子注入/接觸(chu)退火。

3、金屬合金。

4、熱氧化處理(li)。

5、化(hua)合物(wu)合金(砷化(hua)鎵、氮化(hua)物(wu)等)。

6、多晶硅(gui)退火。

7、太陽(yang)能電池片退火。

8、高溫退火。

9、高溫擴散。

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