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快速退火爐的主要功能和特點有哪些 快速退火爐的應用領域介紹

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2024-03-14 評論 0
摘要:快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷,改善產品性能。接下來本文將帶來快速退火爐的主要功能和特點有哪些以及快速退火爐的應用領域介紹,感興趣的小伙伴趕緊點進來看看吧!

一、快速退火爐的主要功能和特點有哪些

快速退火(huo)爐(lu)是用(yong)于(yu)快速熱處理、熱氧化(hua)處理、高溫(wen)退火(huo)的設備,采(cai)用(yong)先進的微電腦(nao)控制系統(tong),采(cai)用(yong)PID閉環控制溫(wen)度(du),可以達到極(ji)高的控溫(wen)精(jing)度(du)和溫(wen)度(du)均勻性,并且(qie)可配置(zhi)真空腔體(ti)(ti),也(ye)可根據用(yong)戶工藝(yi)需求配置(zhi)多(duo)路氣體(ti)(ti)。

主要功能和特點(dian):

1、可視(shi)化7寸(cun)觸摸(mo)屏,設(she)定數據(ju)和操(cao)作(zuo)都是圖文界面,操(cao)作(zuo)方便。

2、爐體配備(bei)高精(jing)度移動平(ping)臺,運行平(ping)穩無(wu)抖動。

3、爐(lu)(lu)管(guan)可(ke)(ke)自由移動,且密封(feng)法(fa)蘭(lan)(lan)之間用搭扣壓緊連接(jie),放、取物料方便快捷(jie),避免了螺(luo)栓密封(feng)人為操(cao)作導致漏氣的可(ke)(ke)能(neng)、減(jian)少了因安(an)裝法(fa)蘭(lan)(lan)而造成加熱管(guan)損壞(huai)的可(ke)(ke)能(neng)、當(dang)爐(lu)(lu)管(guan)移出爐(lu)(lu)膛(tang)時冷(leng)確風扇啟動,可(ke)(ke)實現試樣的迅速降溫,滿足材料驟冷(leng)驟熱的實驗(yan)要求(qiu)。

4、爐膛采用(yong)進(jin)口(kou)多晶(jing)纖維真空吸附制成(cheng),采用(yong)進(jin)口(kou)紅外線加熱(re)管加熱(re),使用(yong)壽命可達5000小時,升(sheng)溫(wen)速(su)度快,最高(gao)溫(wen)度可達1050℃。

5、預(yu)留了真空、氣(qi)路快速接口,可配合我司真空系統(tong)、混氣(qi)系統(tong)使用(yong)。

6、預留了485轉換(huan)接口,可(ke)(ke)通過(guo)我司專用軟件,與計算機互聯,可(ke)(ke)實(shi)現單臺或(huo)者多(duo)臺電爐的遠程控制、實(shi)時(shi)追蹤(zong)、歷史記(ji)錄、輸出報(bao)表等功能。

7、設置超溫(wen)報警并斷電,漏電保護,操作(zuo)安全可靠。

二、快速退火爐的應用領域介紹

了解了快速退火爐的功能和特點后,再來看看快速退火爐的應用領域介紹吧!

1、快速熱(re)處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱(re)氧化(RTO),快速熱(re)氮化(RTN)。

2、離子注(zhu)入(ru)/接(jie)觸退火。

3、金屬合金。

4、熱氧化處理。

5、化(hua)(hua)合(he)物(wu)合(he)金(砷化(hua)(hua)鎵、氮化(hua)(hua)物(wu)等(deng))。

6、多晶硅退火。

7、太陽能(neng)電池片(pian)退火。

8、高溫退火。

9、高溫擴散。

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