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快速退火爐的主要功能和特點有哪些 快速退火爐的應用領域介紹

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2024-03-14 評論 0
摘要:快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷,改善產品性能。接下來本文將帶來快速退火爐的主要功能和特點有哪些以及快速退火爐的應用領域介紹,感興趣的小伙伴趕緊點進來看看吧!

一、快速退火爐的主要功能和特點有哪些

快速退火(huo)爐是用于(yu)快速熱(re)處理、熱(re)氧化處理、高溫退火(huo)的(de)設備,采用先進的(de)微(wei)電腦控制系(xi)統,采用PID閉環控制溫度,可以達到極高的(de)控溫精度和溫度均勻性,并且可配置真(zhen)空腔體,也可根據用戶工藝(yi)需求配置多路氣體。

主要(yao)功能和特點(dian):

1、可視化7寸觸摸屏,設定數(shu)據(ju)和操作都是圖文界面,操作方(fang)便。

2、爐體配備高精度移動(dong)平(ping)臺,運行平(ping)穩無抖(dou)動(dong)。

3、爐管可(ke)自由(you)移(yi)動(dong),且(qie)密封(feng)法(fa)蘭之間用搭扣(kou)壓緊(jin)連接,放、取(qu)物料(liao)方便快捷,避免了螺(luo)栓密封(feng)人為(wei)操作導致漏氣的(de)(de)可(ke)能、減少了因(yin)安裝法(fa)蘭而造(zao)成加熱(re)管損壞的(de)(de)可(ke)能、當爐管移(yi)出爐膛(tang)時冷(leng)(leng)確風扇(shan)啟動(dong),可(ke)實現試樣的(de)(de)迅(xun)速(su)降溫,滿足材料(liao)驟(zou)冷(leng)(leng)驟(zou)熱(re)的(de)(de)實驗要求(qiu)。

4、爐膛采(cai)用(yong)進口(kou)(kou)多晶(jing)纖維真空吸附制成,采(cai)用(yong)進口(kou)(kou)紅外(wai)線加(jia)熱(re)管(guan)加(jia)熱(re),使用(yong)壽命可達(da)5000小(xiao)時,升溫(wen)(wen)速度(du)快,最高溫(wen)(wen)度(du)可達(da)1050℃。

5、預留了(le)真(zhen)空(kong)(kong)、氣路快速(su)接口,可(ke)配合我(wo)司真(zhen)空(kong)(kong)系統、混氣系統使用。

6、預留了485轉換接口,可(ke)通過(guo)我司專用軟件,與計算(suan)機互聯(lian),可(ke)實現單臺(tai)或者(zhe)多臺(tai)電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史(shi)記錄(lu)、輸出報表等功能。

7、設置超溫報警并斷電(dian),漏電(dian)保護,操作(zuo)安全可靠(kao)。

二、快速退火爐的應用領域介紹

了解了快速退火爐的功能和特點后,再來看看快速退火爐的應用領(ling)域介紹吧!

1、快(kuai)速熱(re)(re)處理(RTP),快(kuai)速退火(huo)(RTA),快(kuai)速熱(re)(re)氧(yang)化(RTO),快(kuai)速熱(re)(re)氮化(RTN)。

2、離子注入/接觸退火。

3、金屬合金。

4、熱氧化(hua)處理(li)。

5、化合物(wu)(wu)合金(砷化鎵、氮(dan)化物(wu)(wu)等)。

6、多晶硅退火。

7、太陽能電(dian)池片退(tui)火(huo)。

8、高溫退火。

9、高溫擴散。

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