一、快速退火爐的主要功能和特點有哪些
快速退火(huo)爐是用于(yu)快速熱(re)處理、熱(re)氧化處理、高溫退火(huo)的(de)設備,采用先進的(de)微(wei)電腦控制系(xi)統,采用PID閉環控制溫度,可以達到極高的(de)控溫精度和溫度均勻性,并且可配置真(zhen)空腔體,也可根據用戶工藝(yi)需求配置多路氣體。
主要(yao)功能和特點(dian):
1、可視化7寸觸摸屏,設定數(shu)據(ju)和操作都是圖文界面,操作方(fang)便。
2、爐體配備高精度移動(dong)平(ping)臺,運行平(ping)穩無抖(dou)動(dong)。
3、爐管可(ke)自由(you)移(yi)動(dong),且(qie)密封(feng)法(fa)蘭之間用搭扣(kou)壓緊(jin)連接,放、取(qu)物料(liao)方便快捷,避免了螺(luo)栓密封(feng)人為(wei)操作導致漏氣的(de)(de)可(ke)能、減少了因(yin)安裝法(fa)蘭而造(zao)成加熱(re)管損壞的(de)(de)可(ke)能、當爐管移(yi)出爐膛(tang)時冷(leng)(leng)確風扇(shan)啟動(dong),可(ke)實現試樣的(de)(de)迅(xun)速(su)降溫,滿足材料(liao)驟(zou)冷(leng)(leng)驟(zou)熱(re)的(de)(de)實驗要求(qiu)。
4、爐膛采(cai)用(yong)進口(kou)(kou)多晶(jing)纖維真空吸附制成,采(cai)用(yong)進口(kou)(kou)紅外(wai)線加(jia)熱(re)管(guan)加(jia)熱(re),使用(yong)壽命可達(da)5000小(xiao)時,升溫(wen)(wen)速度(du)快,最高溫(wen)(wen)度(du)可達(da)1050℃。
5、預留了(le)真(zhen)空(kong)(kong)、氣路快速(su)接口,可(ke)配合我(wo)司真(zhen)空(kong)(kong)系統、混氣系統使用。
6、預留了485轉換接口,可(ke)通過(guo)我司專用軟件,與計算(suan)機互聯(lian),可(ke)實現單臺(tai)或者(zhe)多臺(tai)電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史(shi)記錄(lu)、輸出報表等功能。
7、設置超溫報警并斷電(dian),漏電(dian)保護,操作(zuo)安全可靠(kao)。
二、快速退火爐的應用領域介紹
了解了快速退火爐的功能和特點后,再來看看快速退火爐的應用領(ling)域介紹吧!
1、快(kuai)速熱(re)(re)處理(RTP),快(kuai)速退火(huo)(RTA),快(kuai)速熱(re)(re)氧(yang)化(RTO),快(kuai)速熱(re)(re)氮化(RTN)。
2、離子注入/接觸退火。
3、金屬合金。
4、熱氧化(hua)處理(li)。
5、化合物(wu)(wu)合金(砷化鎵、氮(dan)化物(wu)(wu)等)。
6、多晶硅退火。
7、太陽能電(dian)池片退(tui)火(huo)。
8、高溫退火。
9、高溫擴散。